一种摆动式真空矩形阀门的装配工装制造技术

本发明专利技术公开了一种摆动式真空矩形阀门的装配工装，包括弹簧压缩保持工装、传动轴组件不扭转工装、活塞杆长度保持工装和矩形阀门的腔体设置板；所述弹簧压缩保持工装包括支撑轴、第一转接板、连接板和螺杆。本发明专利技术通过设计弹簧压缩保持工装，大大提高了弹簧安装效率及安全性，从而为后续装配提供良好的装配环境与基础，此外本发明专利技术结构简单，操作方便；通过设计传动轴组件不扭转工装，确保了运动部件装配的准确性与精度，保证了装配过程各个部件的相互配合关系；通过设计活塞杆长度保持工装，设计特定长度的结构件，确保两个活塞杆在最长行程时进行装配，保证了阀门的稳定关闭与打开，同时降低了初始装配后机构的内部受力情况。时降低了初始装配后机构的内部受力情况。时降低了初始装配后机构的内部受力情况。

【技术实现步骤摘要】
一种摆动式真空矩形阀门的装配工装


[0001]本专利技术涉及真空矩形阀门装配
，具体为一种摆动式真空矩形阀门的装配工装。

技术介绍

[0002]半导体行业中，摆动式真空矩形阀门占据一定的比重，其主要用于连接传输腔室与反应腔室。通过气动或电动为动力源实现阀门的打开与关闭，适用于半导体行业的真空矩形阀门具有低振动性、运动准确性、密封性及高寿命性等特点。而由于阀门一般由多零件装配组成，且组件中一般包含波纹管及弹簧等可压缩零件，装配时需要一定的压缩量。因此确保装配准确性对保证阀门的关键特性具有非常重要的意义。
[0003]但是现有技术在实际使用时，阀门在装配过程中，由于对双气缸的装配同轴度、弹簧压缩量受力以及阀板传动轴装配准确性要求均有较高的要求，难以保证阀门装配整体的可靠性及装配精度。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种摆动式真空矩形阀门的装配工装，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：包括弹簧压缩保持工装、传动轴组件不扭转工装、活塞杆长度保本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种摆动式真空矩形阀门的装配工装，其特征在于：包括弹簧压缩保持工装、传动轴组件不扭转工装、活塞杆长度保持工装和矩形阀门的腔体设置板；所述弹簧压缩保持工装包括支撑轴(1)、第一转接板(2)、连接板(3)、螺杆(4)、锁紧螺母(5)、垫片(6)、压缩螺母(7)、活塞杆连接板(8)、凸轮槽(9)、弹簧(10)、限位槽(11)、轴承(12)和限位块(13)，所述支撑轴(1)固定设置在第一转接板(2)的底部，所述连接板(3)固定设置在支撑轴(1)的底部，所述锁紧螺母(5)固定设置在连接板(3)的中部，且锁紧螺母(5)的内壁与螺杆(4)的表面螺纹设置，所述压缩螺母(7)螺纹设置在螺杆(4)表面的顶部，所述垫片(6)活动设置在压缩螺母(7)的顶部，且活塞杆连接板(8)活动设置在垫片(6)的顶部，所述弹簧(10)活动设置在活塞杆连接板(8)的顶部，且凸轮槽(9)固定设置在活塞杆连接板(8)的顶部；所述传动轴组件不扭转工装包括一体化轴承(31)、传动轴座(32)、固定螺钉(33)和导向板(34)，所述传动轴座(32)固定设置在限位槽(11)的内壁，所述一体化轴承(31)固定设置在传动轴座(32)的表面，所述导向板(34)通过固定螺钉(33)螺纹设置在矩形阀门的腔体设置板的表面；所述活塞杆长度保持工装包括第二转接板(21)、支撑杆(22)、气动组件(23)和活塞杆(24)，所述气动组件(23)固定设置在矩形阀门的腔体设置板的底部，所述第二转接板(21)通过螺栓与气动组件(23...

【专利技术属性】
技术研发人员：李加平，姜小蛟，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：