【技术实现步骤摘要】
一种利用ITO废靶回收制备装置及工艺
[0001]本专利技术属于ITO废靶处理
,涉及一种利用ITO废靶回收制备装置及工艺。
技术介绍
[0002]ITO靶材属于铟锡复合氧化物陶瓷,是一种重要的光电功能材料,常作为磁控溅射靶材在玻璃、塑料等基板材料上制备透明导电膜,用于生产液晶显示器、触摸屏等平板显示设备。。ITO靶材应用于平板显示领域时,其溅射镀膜的利用率一般仅为30~40%,其余的60~70%为废靶。ITO废靶的回收利用是ITO产业链中举足轻重的环节,能极大提高ITO靶材产品的市场竞争力。
[0003]经检索,公告号为CN107129277B的专利技术中一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法,以气化回收ITO粉为原料,加入不小于原料质量0.5%的氧化锡和/或氧化铟粉末作为烧结活性增强剂,并使其分布于ITO粉中;将混合后的粉末加水、分散剂球磨后喷雾干燥,然后放入模具中以分阶段逐步加压,每次升压后保持一定时间的方式压制成初坯,然后再以分阶段逐步升压,每次升压后保持一定时间的方式经冷等静压制成坯体,制成的坯体 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种利用ITO废靶回收制备装置,包括输送机(1),其特征在于,所述输送机(1)的两侧均固定连接有多个第一支撑板(6),多个所述第一支撑板(6)的相对一侧固定连接有同一个第一连接板(7),所述第一连接板(7)的顶部固定连接有两个第二支撑板(8),两个所述第二支撑板(8)的相对一侧转动连接有第一转动环(9),所述第一转动环(9)的内壁转动连接有料筒(10),所述料筒(10)的外壁转动套设有第二转动环(11);所述料筒(10)的外壁开设有进料口,所述料筒(10)的外壁铰接有与进料口配合使用的密封盖(27),所述密封盖(27)的另一端通过卡扣(28)与料筒(10)扣接,所述第一连接板(7)的一侧设有两个连接块(12),两个所述连接块(12)均与第二转动环(11)固定连接,所述料筒(10)的外壁固定套设有外齿环(31),所述第一转动环(9)的顶部固定连接有电机(29),所述电机(29)的输出轴固定套设有与外齿环(31)相啮合的第二齿轮(30);所述输送机(1)上设有多个模具(3),所述第一连接板(7)的底部贯穿固定连接有两个第二电动推杆(45),所述第二电动推杆(45)的输出端固定连接有压板(20),所述压板(20)的顶部固定连接有第一滑动杆(21),所述第一滑动杆(21)与第一连接板(7)贯穿滑动连接;震动组件,设置在第一转动环(9)上用于对料筒(10)震动;转动组件,设置在第二支撑板(8)上用于对料筒(10)进行调节角度。2.根据权利要求1所述的一种利用ITO废靶回收制备装置,其特征在于,所述震动组件包括固定连接在第一转动环(9)一侧的第一支撑块(22),所述第二转动环(11)的一侧固定连接有第二支撑块(23),所述第一支撑块(22)和第二支撑块(23)的相对一侧贯穿同一个第一转动轴(24),所述第二支撑块(23)的顶部贯穿滑动连接有滑动柱(36),所述滑动柱(36)的顶部固定连接有第二连接板(39)。3.根据权利要求2所述的一种利用ITO废靶回收制备装置,其特征在于,所述震动组件还包括第一转动轴(24)的一端固定连接的与第二连接板(39)配合使用的凸轮(25),所述滑动柱(36)的外壁固定套设有限位块(37),所述滑动柱(36)的外壁套设有第一弹簧(38),所述第一弹簧(38)的两端分别与第二支撑块(23)和限位块(37)的相对一侧固定连接,所述第一转动轴(24)的外壁固定套设有与第二齿轮(30)相啮合的第一齿轮(26)。4.根据权利要求3所述的一种利用ITO废靶回收制备装置,其特征在于,所述转动组件包括转动连接在第一连接板(7)一侧的两个第二连杆(14),所述第二连杆(14)的另一端转动连接有第一连杆(13),所述第一连杆(13)与连接块(12)转动连接,所述第二支撑板(8)的一侧转动连接有第一电动推杆(17),所述第一电动推杆(17)的输出端与第一连杆(13)和第二连杆(14)的转动点转动连接。5.根据权利要求4所述的一种利用ITO废靶回收制备装置,其特征在于,所述第一连接板(7)的顶部固定连接有立板(15),所述立板(15)的一侧固定连接有两个拉板(16),两个所述拉板(16)的相对一侧固定连接有同一个弧形块(40),所述弧形块(40)的内部开设有镂空槽(41),所述镂空槽(41)的内壁滑动连接有滑块(42),所述滑块(42)的一侧贯穿滑动连接有第二滑动杆(43),所述第二滑动杆(43)与第一转动轴(24)的另一端转动连接,所述第二滑动杆(43)的外壁套设有第二弹簧(44),所述第二弹簧(44)的两端分别与滑块(42)和第二滑动杆(43)的相对一侧固定连接。6.根据权利要求1所述的一种利用ITO废靶回收制备装置,其特征在于,所述料筒(10)的一侧贯穿转动连接有第二转动轴(33),所述料筒(10)的内壁固定连接有过滤板(34),所
述过滤板(3...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐安泰,唐智勇,
申请(专利权)人:株洲火炬安泰新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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