一种可变焦超透镜及其制备方法和调控方法技术

本发明专利技术公开了一种可变焦超透镜及其制备方法和调控方法，包括两层重叠的亚波长结构阵列，每层的亚波长结构阵列分别设置在不同的静电梳状式致动器上；其中，静电梳状式致动器包括固定岛、可动梳齿、固定梳齿、可动光栅及弹簧，可动光栅的单个光栅之间通过弹簧连接，可动光栅中间位置的目标光栅与固定岛连接，可动光栅的外侧光栅与可动梳齿连接，固定梳齿设置在可动梳齿的外侧，可动梳齿、可动光栅及弹簧组成悬浮结构，亚波长结构按照预设周期设置在可动光栅的单个光栅上形成亚波长结构阵列。本发明专利技术实施例可以减小透镜的体积、复杂度和加工难度，调控方便，可广泛应用于光学器件技术领域。域。域。

【技术实现步骤摘要】
一种可变焦超透镜及其制备方法和调控方法


[0001]本专利技术涉及光学器件
，尤其涉及一种可变焦超透镜及其制备方法和调控方法。

技术介绍

[0002]超材料是一种人工设计出来的具有超常光学特性的复合材料，随着微加工技术的不断发展，微型化成为现代光学器件的一大发展方向。超表面作为二维超材料，具有厚度薄、易加工、与半导体工艺兼容、易于集成化等优点，能满足现代光学系统小型化的需求。超表面通过对亚波长纳米结构的独立设计，实现对电磁波波前的调控，能精确控制电磁波的相位、振幅、传播方向、偏振态等，可用于透镜聚焦、全息成像、光学隐身等领域。
[0003]传统透镜利用光波在通过一定厚度的介质时会产生相位累积，实现对光波波前的整形和操纵，但是传统透镜存在光学系统复杂、精密加工难度高等缺点，传统透镜通过移动镜头中的某些片组来改变镜头焦距，增加了系统体积。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术实施例的目的是提供一种可变焦超透镜及其制备方法和调控方法，可以减小透镜的体积、复杂度和加工难度，调控方便。
[0005]第一方面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可变焦超透镜，其特征在于，包括两层重叠的亚波长结构阵列，每层的亚波长结构阵列分别设置在不同的静电梳状式致动器上；其中，所述静电梳状式致动器包括固定岛、可动梳齿、固定梳齿、可动光栅及弹簧，所述可动光栅的单个光栅之间通过所述弹簧连接，所述可动光栅中间位置的目标光栅与所述固定岛连接，所述可动光栅的外侧光栅与所述可动梳齿连接，所述固定梳齿设置在所述可动梳齿的外侧，所述可动梳齿、所述可动光栅及所述弹簧组成悬浮结构，亚波长结构按照预设周期设置在所述可动光栅的单个光栅上形成亚波长结构阵列。2.根据权利要求1所述的可变焦超透镜，其特征在于，所述亚波长结构的形状包括圆柱形、方柱形、圆环管柱形、方环管柱形、十字状柱形、圆孔掏空形或方孔掏空形中的任意一种。3.根据权利要求1所述的可变焦超透镜，其特征在于，所述亚波长结构的材料包括硅胶、亚克力、聚碳酸酯、玻璃、氮化硅、氮化镓、二氧化钛、硅、氧化铝或氧化锌的任意一种。4.根据权利要求1所述的可变焦超透镜，其特征在于，两层重叠的亚波长结构的形状相同。5.根据权利要求1所述的可变焦超透镜，其特征在于，两层重叠的亚波长结构的尺寸小于入射光波长。6.根据权利要求1所述的可变焦超透镜，其特征在于，两层重叠的亚波长结构阵列的中心位置重合。7.一种可变焦超透镜的制备方法，其特征在于，应用于权利要求1
‑
6任一项所述的可变焦超透镜，包括：提供基片，并在所述基片的第一侧刻蚀得到凹槽；在所述基片的第二侧涂覆第一光刻...

【专利技术属性】
技术研发人员：林杰，林佑昇，姜涛，郑汉武，郑林，
申请(专利权)人：深圳市穗晶半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：