温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种可变焦超透镜及其制备方法和调控方法，包括两层重叠的亚波长结构阵列，每层的亚波长结构阵列分别设置在不同的静电梳状式致动器上；其中，静电梳状式致动器包括固定岛、可动梳齿、固定梳齿、可动光栅及弹簧，可动光栅的单个光栅之间通过弹簧连...
该专利属于深圳市穗晶半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市穗晶半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。