【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学装置及加工装置
[0001]本专利技术涉及一种光学装置及加工装置。
技术介绍
[0002]在对金属板等被加工物照射光来对被加工物进行加工的加工装置中，提出了在比使激光会聚于被加工物的聚焦光学系统更靠近光源侧，包括用以调整光对被加工物的射入位置及射入角度的光束定位系统的装置(专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2016/206943号
技术实现思路
[0006]根据第1形态，光学装置包括：第1光学系统，将第1面上的第1区域的光引导至第2面，并且将上述第2面设为与上述第1面相对的瞳面；第2光学系统，配置于上述第2面与第3面之间，且将上述第2面设为与上述第3面相对的瞳面；第1反射构件，设置于上述第1光学系统的射入侧的第1光程上，且具有摇动自如地设置的第1反射面；以及第2反射构件，设置于上述第1光学系统与上述第2光学系统之间的第2光程上，且具有摇动自如地设置的第2反射面。
[0007]根据第2形态，光学装置包括：第1反射...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学装置，包括：第1光学系统，将第1面上的第1区域的光引导至第2面，并且将所述第2面设为与所述第1面相对的瞳面；第2光学系统，配置于所述第2面与第3面之间，且将所述第2面设为与所述第3面相对的瞳面；第1反射构件，设置于所述第1光学系统的射入侧的第1光程上，且具有摇动自如地设置的第1反射面；第2反射构件，设置于所述第1光学系统与所述第2光学系统之间的第2光程上，且具有摇动自如地设置的第2反射面。2.根据权利要求1所述的光学装置，其中所述第1光学系统与所述第2光学系统在所述第3面上的第2区域形成第1区域的图像。3.根据权利要求1或2所述的光学装置，其中所述第1反射面沿着所述第1光程，配置于较第1中间位置更靠近所述射入侧，所述第1中间位置为所述第1光学系统中所包含的光学构件中配置为最接近所述第1面的光学构件与所述第1面的中间位置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学装置，其中所述第2反射面沿着所述第2光程，配置于较第2中间位置更靠近所述第2面侧，且较第3中间位置更靠近所述第2面侧，所述第2中间位置为所述第1光学系统中所包含的光学构件中配置为最接近所述第2面的光学构件与所述第2面的中间位置，且所述第3中间位置为所述第2光学系统中所包含的光学构件中配置为最接近所述第2面的光学构件与所述第2面的中间位置。5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学装置，其中在所述第1反射面中，将所述第1光程所占的区域的短半径设为且将从沿着所述第1光程的所述第1面至所述第1反射面的距离设为d时，满足的条件。6.根据权利要求5所述的光学装置，其中满足的条件。7.根据权利要求1至6中任一项所述的光学装置，其中从所述第1面至所述第1光学系统中所包含的光学构件中配置为最接近所述第1面的光学构件的距离为40mm以上、且500mm以下。8.根据权利要求1至7中任一项所述的光学装置，其中所述第1光学系统与所述第2光学系统的合成光学系统具有缩小倍率。9.根据权利要求1至7中任一项所述的光学装置，其中所述第1光学系统与所述第2光学系统的合成光学系统的倍率的绝对值为0.1倍以上、
且1倍以下。10.根据权利要求1至9中任一项所述的光学装置，其中还包括第3光学系统，将来自光源的光聚光于所述第1面上的所述第1区域。11.根据权利要求10所述的光学装置，其中所述第1光学系统与所述第3光学系统的合成光学系统具有放大倍率。12.根据权利要求10所述的光学装置，其中所述第1光学系统与所述第3光学系统的合成光学系统的倍率的绝对值为1倍以上、且20倍以下。13.根据权利要求10至12中任一项所述的光学装置，其中所述第3光学系统包括变焦光学系统，将聚光于所述第1面上的所述光的数值孔径进行变更。14.根据权利要求10至13中任一项所述的光学装置，其中所述第3光学系统包括整形光学系统，将聚光于所述第1面上的所述光的强度分布进行变更。15.根据权利要求10至14中任一项所述的光学装置，其中将由所述第1光学系统及所述第2光学系统所得的从所述第1面向所述第3面的成像倍率的绝对值设为β时，利用所述第3光学系统来聚光于所述第1面上的光...
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