下载光学装置及加工装置的技术资料

文档序号:37146701

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光学装置包括:第1光学系统,将第1面上的第1区域的光引导至第2面,并且将第2面设为与第1面相对的瞳面;第2光学系统,配置于第2面与第3面之间,且将第2面设为与第3面相对的瞳面;第1反射构件,设置于第1光学系统的射入侧的第1光程上,且具有摇动...
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