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光学装置及加工装置制造方法及图纸
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文档序号:37146701
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光学装置包括:第1光学系统,将第1面上的第1区域的光引导至第2面,并且将第2面设为与第1面相对的瞳面;第2光学系统,配置于第2面与第3面之间,且将第2面设为与第3面相对的瞳面;第1反射构件,设置于第1光学系统的射入侧的第1光程上,且具有摇动...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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