偏光板及其制造方法、以及光学装置制造方法及图纸

技术编号:37144630 阅读:35 留言:0更新日期:2023-04-06 21:54
本发明专利技术涉及偏光板及其制造方法、以及光学装置。偏光板(100)是具有线栅结构的偏光板,具备:透明基板(10);复数个凸部(20),形成于透明基板(10)的第一面(10a),以短于所使用的带宽的光的波长的间距排列并在第一方向延伸;以及防反射层(30),形成于透明基板(10)的第二面(10b),第二面(10b)为第一面(10a)的相反侧;复数个凸部(20)各自的表面(20a)、以及防反射层(30)的表面(30a)分别被由第二介电质构成的保护膜(40A)、(40B)所披覆。护膜(40A)、(40B)所披覆。护膜(40A)、(40B)所披覆。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】偏光板及其制造方法、以及光学装置


[0001]本专利技术是关于偏光板及其制造方法、以及光学装置。
[0002]本申请基于2020年5月12日于日本提出申请的特愿2020

083839号主张优先权,并在此援用其内容。

技术介绍

[0003]偏光板是一种光学元件,会吸收一个方向的偏光,并使正交于所述方向的方向的偏光透射。液晶显示装置中,就原理而言需要偏光板。特别是在如透射型液晶投影机这般,使用光量大的光源的液晶显示装置中,由于偏光板受到强烈的辐射线,因此在需要优异的耐热性、耐光性的同时,也被要求约几cm程度的大小、高消光比以及反射率特性的控制。为了因应这些要求,线栅型的无机偏光板被提出。
[0004]线栅型的偏光板具有配置为以下的结构:在基板上,以窄于所使用的光的波长带宽的间距(数十nm~数百nm),排列复数个在一个方向延伸的导体的栅线。若光入射到所述偏光板,平行于栅线的延伸方向的偏光(TE波(S波))便无法透射,垂直于栅线的延伸方向的偏光(TM波(P波))则可就此透射。
[0005]线栅型的偏光板,耐热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种偏光板,具有线栅结构,并具备:透明基板;复数个凸部,形成于所述透明基板的第一面,在第一方向延伸,以短于所使用的带宽的光的波长的间距互相分离,并周期性地排列;以及防反射层,形成于所述透明基板的第二面,所述第二面为所述第一面的相反侧;所述复数个凸部各自从所述透明基板一侧起依序具有反射层、由第一介电质构成的介电质层、以及吸收层;所述凸部的表面及所述防反射层的表面被由第二介电质构成的保护膜所披覆。2.如权利要求1所述的偏光板,其中,所述保护膜的膜厚小于或等于2.5nm。3.如权利要求1所述的偏光板,其中,所述保护膜的膜厚大于或等于2.5nm。4.如权利要求1

3任一项所述的偏光板,其中,所述由第一介电质构成的介电质层是由SiO2构成,所述由第二介电质构成的保护膜是由Al2O3构成。5.如权利要求4所述的偏光板,其中,所述由第二介电质构成的保护膜是ALD膜。6.如权利要求1

5任一项所述的偏光板,其中,所述防反射层是高折射率膜与低折射率膜的交互叠层体。7.如权利要求6所述的偏光板,其中,所述防反射层是离子束辅助蒸镀膜或离子束溅镀膜。8.如权利要求6或7所述的偏光板,其中,所述高折射率膜是由TiO2构成,所述低折射率膜是由SiO2构成。9.如权利要求1

8任一项所述的偏光板,其中,所述透明基板相对于所使用的带宽的光的波长为透明,且是由选自以玻璃、水晶、石英、以及蓝宝石构成的群组中的任意的材料构成。10.如权利要求1

9任一项所述的偏光板,其中,所述由第一介电质构成的介电质层是由选自以...

【专利技术属性】
技术研发人员:武田吐梦
申请(专利权)人:迪睿合株式会社
类型:发明
国别省市:

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