一种红外长波高反膜、制备方法和应用技术

本发明专利技术公开了一种红外长波高反膜、制备方法和应用，涉及红外光学薄膜技术领域，所述高反膜的膜系结构依次为：基底/金/硫化锌/锗/硫化锌/锗/空气，其膜系结构具体厚度为：基底/金为170～190nm/硫化锌为1155～1195nm/锗为642～682nm/硫化锌为1178～1218nm/锗为642～682nm/空气。本发明专利技术采用金膜加介质膜的堆叠，能够在红外8～12μm波段实现更高的反射率，平均反射率大于99.7％，且本发明专利技术膜系结构总厚度小于4μm，厚度更薄，降低了膜层应力，能够避免纯介质膜层过厚引起的脱膜风险，本发明专利技术在降低膜层厚度的同时兼顾膜层的高反射率。膜层厚度的同时兼顾膜层的高反射率。膜层厚度的同时兼顾膜层的高反射率。

【技术实现步骤摘要】
一种红外长波高反膜、制备方法和应用


[0001]本专利技术涉及红外光学薄膜
，具体涉及一种红外长波高反膜、制备方法和应用。

技术介绍

[0002]红外高反膜作为光学薄膜应用于很多红外光学系统中，如红外激光系统、太阳能电池等，常规传统红外高反膜的镀制方法一般采用单一金属镀膜或纯介质镀膜，金属膜的反射率一般在98％左右，无法达到高反射的要求，而纯介质镀膜虽然能够达到99％以上的反射率，但是膜层过厚，一般均在十几甚至几十微米，过厚的膜层导致膜层内应力巨增，脱膜的风险也巨增。
[0003]现有专利如中国专利公开号为：CN206281994U，该专利的名称为“可见光近红外透射中长波红外反射的宽光谱分色片”，该专利在光学基片1的一侧依次制备匹配膜层2和诱导透射膜层3，宽光谱分色片的膜系结构为：基片1/匹配膜层2/诱导透射膜层3/空气，所述的匹配膜层2为高、低折射率材料交叠的多层介质膜层，其膜系结构为：当匹配膜层2的膜层数为奇数时，膜系为：a1Ha2La3H
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种红外长波高反膜，其特征在于：所述高反膜的膜系结构依次为：基底/金/硫化锌/锗/硫化锌/锗/空气，其膜系结构具体厚度为：基底/金为170～190nm/硫化锌为1155～1195nm/锗为642～682nm/硫化锌为1178～1218nm/锗为642～682nm/空气。2.根据权利要求1所述的一种红外长波高反膜，其特征在于，所述膜系结构具体厚度为：基底/金为180nm/硫化锌为1175nm/锗为662nm/硫化锌为1198nm/锗为662nm/空气。3.根据权利要求1所述的一种红外长波高反膜，其特征在于，所述基底为铜、硅或钼中的任意一种。4.根据权利要求1所述的一种红外长波高反膜，其特征在于，所述高反膜采用真空蒸发镀膜制得。5.根据权利要求1～4中任意一项所述的一种红外长波高反膜的制备方法，其特征在于：具体包括以下步骤：S01：对基底材料进行清洗；S02：将镀膜机真空抽至1.5*10
‑3Pa以下压力，加热至150～1...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴辉，尹士平，刘克武，郭晨光，王奎，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：