有机电致发光型显示装置制造方法及图纸

作为顶面发射型的有机电致发光型显示装置中得到亮图像的手段，有具备高功函数值与高光反射率的阳极来增大发光效率的方法。可考虑将光反射率高的Ａｌ合金膜与透光性导电氧化膜层叠的方法，但因为在它们的界面上形成绝缘性氧化物反应层，存在反而降低发光效率的问题。为此，本发明专利技术的有机电致发光型显示装置为顶面发射型，其特征在于：在衬底上的显示区域的各像素上，形成ＴＦＴ和至少依次层叠阳极（１６）、电场发光层（１８）及阴极（１９）的有机ＥＬ元件，同时阳极（１６）是Ａｌ中作为杂质至少包含一种以上Ⅷ族３ｄ过渡金属的Ａｌ合金膜（１６ａ）和在其顶层层叠透光性导电氧化膜即非晶质ＩＴＯ膜（１６ｂ）的至少二层膜构成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电光显示装置，尤其涉及在形成有TFT的有源矩阵型衬底上作为电光元件在像素区域形成有机电致发光型(ElectroluminescenceEL)元件(以下称为有机EL元件)的有机电致发光型显示装置。
技术介绍
近年，作为电光元件使用如有机EL元件那样的发光体的有机电致发光型显示装置通常作为显示屏之一加以利用。有机EL元件的基本结构采用阳电极(也称为阳极)和阴电极(也称为阴极)之间夹有包含有机EL层的电场发光层的结构，通过对阳极与阴极之间施加电压，从阳极侧注入孔穴、并从阴极侧注入电子，从而使有机EL层发光。(例如，参照专利文献1)。采用这种有机EL元件的显示装置即有机电致发光型显示装置具有如下结构在作为开关元件配置了薄膜晶体管(以下称为TFT)的TFT有源矩阵衬底上，依次层叠了阳极、电场发光层然后阴极的有机EL元件，在显示屏区域的各像素上形成。一直以来，一般的有机电致发光型显示装置被称为底面发光型(底面发射型)，在玻璃那样透明绝缘性衬底上预先形成TFT或有机EL元件，为使从有机EL元件的有机EL层发生的光向透明绝缘性衬底中未形成TFT的背面侧发射，阳极由氧化铟In2O3+本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种顶面发射型的有机电致发光型显示装置，其特征在于：在衬底上的显示区域的各像素上，形成薄膜晶体管，由有机树脂构成的平坦化膜，以及在该平坦化膜上至少依次层叠阳极、电场发光层及阴极的有机ＥＬ元件，同时所述阳极是铝中作为杂质至少添加一种以上Ⅷ族３ｄ过渡金属的Ａｌ合金膜和在其顶层层叠透光性导电氧化膜的至少二层膜构成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：长山显祐，石贺展昭，井上和式，竹口彻，渕上宏幸，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]