一种水封结构及自动化装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及密封技术领域，具体公开了一种水封结构及自动化装置，包括：箱体，箱体上设有顶部开口的加工腔，加工腔的开口周侧设有用于存放液体的储液槽；开合盖，开合盖铰接于箱体顶部，用于开启或者闭合加工腔的顶部开口；开合盖周侧设有与储液槽相匹配的连接部；其中，当开合盖开启加工腔的顶部开口时，连接部与储液槽分离；当开合盖闭合加工腔的顶部开口时，连接部伸入储液槽内。由于连接部置于储液槽内的液体处，进而就能够实现连接部与储液槽的连接处通过液体进行水封处理，而无需再使用密封圈，以避免密封圈在使用过程中腐蚀损坏而造成密封效果降低的风险及避免了对密封圈进行更换等作业，从而能够保持较佳的密封效果，并方便使用。便使用。便使用。

【技术实现步骤摘要】
一种水封结构及自动化装置


[0001]本专利技术涉及密封
，尤其涉及一种水封结构及自动化装置。

技术介绍

[0002]自动化装置上通常都会设置可视窗，以便于及时查看、了解其内部的加工状况；同时为了便于实现装置的封闭性能，通常还需在可视窗处设置开合盖；如蚀刻设备就需要在其蚀刻箱顶部设置开合盖，且由于蚀刻箱内的药水具有强腐蚀性、并在受热后容易气化，所以通常还需要在开合盖与蚀刻箱顶部的连接处设置密封结构，以避免气化后的药水散发至外部环境中，从而保证蚀刻箱外部具有较洁净的空气。
[0003]现有技术中，开合盖与蚀刻箱顶部通常都是通过密封圈结构来对其连接处进行密封的；但是由于密封圈为塑胶材质、并容易被强腐蚀性物质腐蚀而产生损坏，所以开合盖与蚀刻箱之间的密封效果较差，还需要常常对密封圈进行更换，使用较为不便。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本专利技术提供一种水封结构，解决现有技术中开合盖与蚀刻箱之间的密封效果较差，不方便使用的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供以下的技术方案：
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水封结构，其特征在于，包括：箱体(2)，所述箱体(2)上设有顶部开口的加工腔(21)，所述加工腔(21)的开口周侧设有用于存放液体的储液槽(22)；开合盖(3)，所述开合盖(3)铰接于所述箱体(2)顶部，用于开启或者闭合所述加工腔(21)的顶部开口；所述开合盖(3)周侧设有与所述储液槽(22)相匹配的连接部(31)；其中，当所述开合盖(3)开启所述加工腔(21)的顶部开口时，所述连接部(31)与所述储液槽(22)分离；当所述开合盖(3)闭合所述加工腔(21)的顶部开口时，所述连接部(31)伸入所述储液槽(22)内。2.根据权利要求1所述的水封结构，其特征在于，还包括第一单向阀(4)，所述箱体(2)顶部还设有连通所述储液槽(22)与所述箱体(2)外壁的排液通道(23)；所述第一单向阀(4)固设于所述排液通道(23)内。3.根据权利要求2所述的水封结构，其特征在于，还包括感应器(5)，所述感应器(5)上设有检测部，所述检测部置于所述储液槽(22)内，以用于检测储液槽(22)内液体的液位、浓度和温度中的至少一项。4.根据权利要求3所述的水封结构，其特征在于，还包括注液器(6)，所述注液器(6)上设有与所述储液槽(22)连通的注液通道(61)，以用于将所述液体注入所述储液槽(22)内，所述注液通道(61)内固设有第二单向阀。5.根据权利要求4所述的水封结构，其特征在于，还包括控制器(7...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志浩，赵喜华，孟昭光，
申请(专利权)人：东莞市威力固电路板设备有限公司，
类型：发明
国别省市：