一种像素发声单元及其制造方法、数字发声芯片技术

本发明专利技术公开一种像素发声单元及其制造方法、数字发声芯片，应用于数字发声芯片技术领域，以解决扬声器振膜工作频率低的问题。所述像素发声单元包括振动板、电极板以及空气后腔，振动板上划分有多个子振动区域，每个子振动区域分别刻蚀有子振膜，振动板、电极板和空气后腔依次设置，多个子振动区域共享一个电极板与空气后腔。所述数字发声芯片包括上述方案所提的像素发声单元。所述像素发声单元的制造方法采用上述方案所提的像素发声单元。方法采用上述方案所提的像素发声单元。方法采用上述方案所提的像素发声单元。

【技术实现步骤摘要】
一种像素发声单元及其制造方法、数字发声芯片


[0001]本专利技术涉及数字发声芯片
，尤其涉及一种像素发声单元及其制造方法、数字发声芯片。

技术介绍

[0002]扬声器是一种能够把电信号转换为声信号的换能器件。扬声器是制作音响、声学有源降噪设备等的基础，因此，扬声器的性能对声学设备的制作具有关键性的影响。MEMS扬声器(Micro Electro Mechanical System)，即微电机系统扬声器，其相对传统的音圈式扬声器具有一致性好、功耗低、尺寸小、价格低等优势。
[0003]目前常用的MEMS扬声器都是通过振膜运动推动空气实现模拟发声的，通常，MEMS扬声器内的振膜为一整块的膜结构，采用这种结构时，可以通过一整块的振膜运动实现发声，但是，这种结构的振膜谐振频率较低，工作效率较差。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种像素发声单元及其制造方法、数字发声芯片，以提高振膜的谐振频率和工作效率。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种像素发声本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种像素发声单元，其特征在于，包括：振动板，所述振动板上划分有多个子振动区域，每个所述子振动区域分别刻蚀有子振膜；电极板；空气后腔，所述振动板、电极板和空气后腔依次设置，多个所述子振动区域共享一个所述电极板与所述空气后腔。2.根据权利要求1所述的像素发声单元，其特征在于，所述振动板由至少两个等面积的子振动区域组成，多个所述子振动区域呈阵列布置，每个所述子振动区域上的所述子振膜尺寸相同。3.根据权利要求1所述的像素发声单元，其特征在于，还包括基底，所述基底、电极板和振动板依次层叠设置，所述基底具有开口，所述振动板的子振膜朝向所述电极板的一侧至所述开口的底部之间的结构形成所述空气后腔；所述基底内设置有用于支撑所述电极板的支撑柱。4.根据权利要求1所述的像素发声单元，其特征在于，每个所述子振动区域上均开设有围设排布的至少两条子分割槽，相邻两条所述子分割槽中，其中一条的端部与另一条的端部沿由所述子振动区域的中心点向外延伸的射线方向依次设置，以在围设排布的方向上形成交叠，交叠的所述子分割槽之间形成子振膜悬臂结构；所述子分割槽将所述子振动区域分割为位于所述子分割槽的围设区域内的子振膜以及位于所述子分割槽的围设区域外的子固定部；所述子振膜和所述子固定部通过所述子振膜悬臂结构弹性连接，且所述子振膜、所述子固定部和所述子振膜悬臂结构为一体化结构。5.根据权利要求4所述的像素发声单元，其特征在于，所述振动板上开设有多条第一分割槽、多条第二分割槽以及多条连接分割槽；每个所述子振动区域上均开设有四条呈环形分布的第一分割槽，四...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘长华，金翼泽，袁飞洋，
申请(专利权)人：地球山苏州微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：