一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及氟气制备技术领域，且公开了一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，包括管道，所述管道一端设置有输送器，所述管道同一水平面上设置有抽样检测组件、气体转移组件，随着圆盘的转动，抽样柱腔体会间接被连接杆向外扩仓内腔的方向拉动，直至长口完全位于外扩仓内腔中，此时抽样柱腔体位于管道内腔的一端因没有长口的存在，气体便不会再次进入到抽样柱腔体内腔中，此时外扩仓中设置的气体检测设备便会对由抽样柱腔体转移到外扩仓中的气体进行检测，以此确定被输送器输送的气体中是否存在杂质，这种将检测气体转移到外扩仓中，进行稳定检测的方式区别于现有的气体在管道输送中流速相对较快不能稳定检测的情况。道输送中流速相对较快不能稳定检测的情况。道输送中流速相对较快不能稳定检测的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置


[0001]本专利技术涉及氟气制备
，具体为一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置。

技术介绍

[0002]氟气可以通过将含有氟化氢的电解液进行电解来合成，即电解合成。
[0003]现有技术中，在氟气制造过程中是较为复杂的，一般是将原料氟化氢进行电解，电解时会产生氢气和氟气，但电解所得的气体的纯度无法到达使用要求，需要后续提纯工序进行进一步的提纯工作，提纯过后的气体一般需要检测合格后才能最终投入后续使用，但气体在管道输送中流速相对较快，现有的检测设备在这一方面无法有效做到较为精确的检测，略有不足；再者，现有设备即使检测到气体中存在杂质，也不能及时阻止位于输送管中的气体被继续转移，那些含有杂质的气体一般还是会被输送出所在检测位置的管道，在一定程度上影响所需气体的纯度。
[0004]故而我们提出了一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，来解决以上的问题。

技术实现思路

[0005]（一）解决的技术问题有鉴于此，针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种用于电子级本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，其特征在于：包括管道（1），所述管道（1）一端设置有输送器（2），所述管道（1）同一水平面上设置有抽样检测组件（3）、气体转移组件（5），所述抽样检测组件（3）一侧设置有控制器（4）；所述抽样检测组件（3）包括有外扩仓（301），外扩仓（301）内腔中固定连接有支撑架（302），所述支撑架（302）上转动连接有转轴（303），所述转轴（303）上设置有圆盘（304）。2.根据权利要求1所述的一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，其特征在于：所述圆盘（304）上固定连接有柱块（305），所述圆盘（304）一侧设置有竖槽体（306），所述竖槽体（306）一侧固定连接有连接杆（307）。3.根据权利要求2所述的一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，其特征在于：所述连接杆（307）远离竖槽体（306）的一端固定连接有抽样柱腔体（308），所述抽样柱腔体（308）上开设有长口（309）。4.根据权利要求1所述的一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，其特征在于：所述管道（1）内腔中设置有气体检测设备（310）。5.根据权利要求1所述的一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，其特征在于：所述管道（1）外表面上方设置有第一驱动螺杆（501），所述第一驱动螺杆（501）下方且位于管道（1）上固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗浩，张琛，肖珏英，张家铭，陈碧灵，
申请(专利权)人：福建省巨颖高能新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：