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本发明涉及氟气制备技术领域，且公开了一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，包括管道，所述管道一端设置有输送器，所述管道同一水平面上设置有抽样检测组件、气体转移组件，随着圆盘的转动，抽样柱腔体会间接被连接杆向外扩仓内腔的方向拉动，直至长...
该专利属于福建省巨颖高能新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建省巨颖高能新材料有限公司授权不得商用。

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