动态载频干涉条纹的自动调零方法技术

一种动态载频干涉条纹发自动调零方法，包括步骤1)调零前预处理；寻找最新采集的干涉条纹图的二维离散傅里叶变换频谱图中的零频位置；计算频谱图中正或负一级频谱位置跟零频位置之间的相对偏移量；根据相对偏离量分别计算在夹具的绝对偏摆和俯仰方向上调节的相对位移量，并控制相应电机进行调节；采集移动结束后的载频干涉条纹进行二维离散傅里叶变换；判断此时频谱图中是否满足零频状态即只剩零频或者当正或负一级频谱位置与零频位置偏差在误差允许范围内，直至达零条纹状态，调节结束。本发明专利技术具备更加智能、准确和高效的特点。准确和高效的特点。准确和高效的特点。

【技术实现步骤摘要】
动态载频干涉条纹的自动调零方法


[0001]本专利技术涉及光学干涉检测领域，具体涉及一种动态载频干涉条纹的自动调零方法。

技术介绍

[0002]光学干涉检测是一种非接触式的测量方法，具有快速、无损和可在线测量等优点，不仅在波前检测以及光学元件表面形貌检测上有了广泛的应用，而且在光学元器件超精密加工和光刻机研发制造中发挥着重要的作用。
[0003]光学干涉检测法是利用光学干涉原理，其利用相互干涉的两束光产生干涉条纹，当两束光间的相位差发生改变时，干涉条纹也会发生改变，通过记录和分析干涉条纹将待测的物理量的相位信息解算出来。通常干涉条纹图采用阵列图像传感器记录，具有空间载频的干涉条纹可以用以下公式进行描述：
[0004][0005]式中I(x，y)是阵列图像传感器记录的光强信息，A(x，y)是背景光强，B(x，y)是调制函数，和分别是x和y方向上的离散空间载频，M和N分别是x和y方向上的空间采样点数，φx，y为待测波前或者元件的相位信息。
[0006]干涉条纹的空间载频变化是由两束光之间的相位差发生了改变，引起相位差改变的原本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种动态载频干涉条纹的自动调零方法，其特征在于，包括以下二个阶段：第一阶段，调零前的预处理阶段，获取电机在偏摆的位移系数因子k
x
和俯仰的位移系数因子；第二阶段，自动调零阶段，具体包括：S2.1寻找最新采集的载频干涉条纹图，通过二维离散傅里叶变换得到频谱图，并在频谱图找到零频位置(x
′0,y
′0)；S2.2计算频谱图中正或负一级频谱位置(x
′
,y
′
)跟零频位置(x
′0,y
′0)之间的相对偏移量Δx
′
和Δy
′
；S2.3根据相对偏离量，在夹具的绝对偏摆和俯仰方向上调节相对位移量ΔX＝k
x
Δx
′
，ΔY＝k
y
Δy
′
，并控制相应电机进行调节；S2.4采集移动结束后的载频干涉条纹进行二维离散傅里叶变换；S2.5判断此时频谱图中是否满足零频状态，如果是，则到达零条纹状态，调节结束；如果不是，则返回步骤S2.2...

【专利技术属性】
技术研发人员：张徐，刘世杰，鲁棋，徐天柱，公维超，孙莹，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：