红外线视窗自动切换的长晶炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种红外线视窗自动切换的长晶炉，涉及半导体设备技术领域。红外线视窗自动切换的长晶炉包括真空工艺腔体、坩埚、红外线温度传感器、驱动机构、透光盘和遮挡板，驱动机构安装在真空工艺腔体的侧壁上；透光盘安装在真空工艺腔体的内部、且连接在驱动机构上，透光盘位于真空视窗靠近坩埚的一侧，驱动机构用于带动透光盘上的不同透光区域依次遮挡真空视窗，避免坩埚中渗出的气体污染真空视窗；遮挡板安装在透光盘靠近坩埚的一侧，遮挡板上开设有通孔，通孔位于红外线的照射路径上。红外线视窗自动切换的长晶炉能够避免坩埚内渗出的气体直接污染真空工艺腔体上的真空视窗，保证红外线温度传感器对坩埚温度的检测精度。精度。精度。

【技术实现步骤摘要】
红外线视窗自动切换的长晶炉


[0001]本技术涉及半导体设备
，具体而言，涉及一种红外线视窗自动切换的长晶炉。

技术介绍

[0002]碳化硅长晶炉的温度监控是由红外线温度传感器发出红外线，红外线透过真空视窗玻璃照射到石墨坩埚的表面，从而实现对石墨坩埚的温度监控。
[0003]但是，随着碳化硅粉末不断升华长晶，持续时间高达120小时，微粒的气相碳化硅将透过石墨坩埚扩散至工艺腔内，导致气相的碳化硅会污染真空视窗玻璃，严重影响红外线温度传感器的红外线穿过真空视窗玻璃，从而影响红外线温度传感器的检测准确度。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种红外线视窗自动切换的长晶炉，其能够避免坩埚内渗出的气体直接污染真空工艺腔体上的真空视窗，保证红外线温度传感器对坩埚温度的检测精度。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]本技术提供一种红外线视窗自动切换的长晶炉，红外线视窗自动切换的长晶炉包括：
[0007]真空工艺腔体，设置有真空视窗；
[0008]坩埚，安装在真空工艺腔体内部；
[0009]红外线温度传感器，安装在真空工艺腔体的外部，红外线温度传感器发出的红外线透过真空视窗、照射到坩埚的表面；
[0010]驱动机构，安装在真空工艺腔体的侧壁上；
[0011]透光盘，安装在真空工艺腔体的内部、且连接在驱动机构上，透光盘位于真空视窗靠近坩埚的一侧，驱动机构用于带动透光盘上的不同透光区域依次遮挡真空视窗，避免坩埚中渗出的气体污染真空视窗；
[0012]遮挡板，安装在透光盘靠近坩埚的一侧，遮挡板上开设有通孔，通孔位于红外线的照射路径上。
[0013]本技术实施例提供的红外线视窗自动切换的长晶炉的有益效果包括：
[0014]遮挡板上的通孔只漏出透光盘的一小部分，透光盘的这一小部分为透光区域，红外线温度传感器发出的红外线依次穿过真空视窗、透光区域和通孔照射到坩埚的表面，实现对坩埚的温度检测，同时，坩埚渗出的气体只会穿过通孔直接污染透光盘上的一个透光区域，在这个透光区域被污染到影响红外线温度传感器的测量精度时，驱动机构带动透光盘运动，使透光盘上的另一个透光区域移动至真空视窗的下方、用于透过红外线，从而使真空视窗下面始终有透光区域的遮挡，避免真空视窗直接受到气体的污染，保证红外线温度传感器的检测精度。
[0015]其中，遮挡板可以遮挡透光盘的大部分面积免遭气体的直接污染，也只有透光盘上正对通孔的一部分会被气体污染，这样，透光盘上的透光区域轮流承受气体的污染，直到透光盘上的所有透光区域均被污染，再更换透光盘，可以保证真空视窗长期免遭气体污染，红外线温度传感器的检测精度长期稳定。
[0016]在可选的实施方式中，透光盘为整块透光玻璃。
[0017]这样，透光盘的结构形式简单，制造方便。
[0018]在可选的实施方式中，透光盘包括：
[0019]装载盘；
[0020]多个透光玻璃，安装在装载盘上，透光玻璃形成透光区域，驱动机构用于带动装载盘，从而带动多个透光玻璃依次遮挡真空视窗。
[0021]这样，可以只在透光盘上用作透光区域的位置设置透光玻璃，降低透光盘的成本。
[0022]在可选的实施方式中，红外线温度传感器、真空视窗、透光盘上的一个透光玻璃以及通孔同轴设置。
[0023]这样，可以简化结构设计，减小真空视窗、透光盘上透光区域以及通孔的面积，降低生产成本。
[0024]在可选的实施方式中，驱动机构为旋转驱动机构，多个透光玻璃在透光盘上沿圆周形式间隔布置。
[0025]这样，旋转驱动机构的驱动形式简单，只要每次驱动透光盘转动预设角度，就可以切换透光区域。
[0026]在可选的实施方式中，驱动机构包括：
[0027]电机，安装在真空工艺腔体的外部；
[0028]旋转轴，连接在电机的输出轴上，旋转轴插入真空工艺腔体的内部，透光盘的中心位置连接在旋转轴上。
[0029]在可选的实施方式中，驱动机构为横向驱动机构，透光盘为矩形盘，多个透光玻璃沿直线间隔布置在透光盘上，驱动机构用于驱动透光盘沿直线往复运动。
[0030]在可选的实施方式中，横向驱动机构为气缸或螺杆组件。
[0031]在可选的实施方式中，遮挡板用于遮挡除通孔对应的其它所有透光玻璃。
[0032]这样，除了通孔正上方的那个透光玻璃会直接遭受气体污染，其它透光玻璃都能得到遮挡板的保护。
[0033]在可选的实施方式中，遮挡板连接在真空工艺腔体的侧壁上。
附图说明
[0034]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0035]图1为本技术实施例提供的红外线视窗自动切换的长晶炉的结构示意图；
[0036]图2为透光盘的结构示意图；
[0037]图3为遮挡板的结构示意图。
[0038]图标：100
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红外线视窗自动切换的长晶炉；1
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真空工艺腔体；11
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真空视窗；2
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坩埚；3
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支架；4
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红外线温度传感器；41
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红外线；5
‑
驱动机构；51
‑
电机；52
‑
旋转轴；6
‑
透光盘；61
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装载盘；62
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透光玻璃；7
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遮挡板；71
‑
通孔。
具体实施方式
[0039]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0040]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0041]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0042]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种红外线视窗自动切换的长晶炉，其特征在于，所述红外线视窗自动切换的长晶炉包括：真空工艺腔体(1)，设置有真空视窗(11)；坩埚(2)，安装在所述真空工艺腔体(1)内部；红外线温度传感器(4)，安装在所述真空工艺腔体(1)的外部，所述红外线温度传感器(4)发出的红外线(41)透过所述真空视窗(11)、照射到所述坩埚(2)的表面；驱动机构(5)，安装在所述真空工艺腔体(1)的侧壁上；透光盘(6)，安装在所述真空工艺腔体(1)的内部、且连接在所述驱动机构(5)上，所述透光盘(6)位于所述真空视窗(11)靠近所述坩埚(2)的一侧，所述驱动机构(5)用于带动所述透光盘(6)上的不同透光区域依次遮挡所述真空视窗(11)，避免所述坩埚(2)中渗出的气体污染所述真空视窗(11)；遮挡板(7)，安装在所述透光盘(6)靠近所述坩埚(2)的一侧，所述遮挡板(7)上开设有通孔(71)，所述通孔(71)位于所述红外线(41)的照射路径上。2.根据权利要求1所述的红外线视窗自动切换的长晶炉，其特征在于，所述透光盘(6)为整块透光玻璃(62)。3.根据权利要求1所述的红外线视窗自动切换的长晶炉，其特征在于，所述透光盘(6)包括：装载盘(61)；多个透光玻璃(62)，安装在所述装载盘(61)上，所述透光玻璃(62)形成所述透光区域，所述驱动机构(5)用于带动所述装载盘(61)，从而带动多个所述透光玻璃(62)依次遮挡所述真空视窗(11)。4.根据权利要求3所述的红外线...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁刚俊，苏兆鸣，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：