红外线视窗自动切换的长晶炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种红外线视窗自动切换的长晶炉，涉及半导体设备技术领域。红外线视窗自动切换的长晶炉包括真空工艺腔体、坩埚、红外线温度传感器、驱动机构、透光盘和遮挡板，驱动机构安装在真空工艺腔体的侧壁上；透光盘安装在真空工艺腔体的内部、且连接在驱动机构上，透光盘位于真空视窗靠近坩埚的一侧，驱动机构用于带动透光盘上的不同透光区域依次遮挡真空视窗，避免坩埚中渗出的气体污染真空视窗；遮挡板安装在透光盘靠近坩埚的一侧，遮挡板上开设有通孔，通孔位于红外线的照射路径上。红外线视窗自动切换的长晶炉能够避免坩埚内渗出的气体直接污染真空工艺腔体上的真空视窗，保证红外线温度传感器对坩埚温度的检测精度。精度。精度。

【技术实现步骤摘要】
红外线视窗自动切换的长晶炉


[0001]本技术涉及半导体设备
，具体而言，涉及一种红外线视窗自动切换的长晶炉。

技术介绍

[0002]碳化硅长晶炉的温度监控是由红外线温度传感器发出红外线，红外线透过真空视窗玻璃照射到石墨坩埚的表面，从而实现对石墨坩埚的温度监控。
[0003]但是，随着碳化硅粉末不断升华长晶，持续时间高达120小时，微粒的气相碳化硅将透过石墨坩埚扩散至工艺腔内，导致气相的碳化硅会污染真空视窗玻璃，严重影响红外线温度传感器的红外线穿过真空视窗玻璃，从而影响红外线温度传感器的检测准确度。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种红外线视窗自动切换的长晶炉，其能够避免坩埚内渗出的气体直接污染真空工艺腔体上的真空视窗，保证红外线温度传感器对坩埚温度的检测精度。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]本技术提供一种红外线视窗自动切换的长晶炉，红外线视窗自动切换的长晶炉包括：
[0007]真空工艺腔体，设置有真空视窗；
[0008]坩埚，安装在真空工艺腔体内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种红外线视窗自动切换的长晶炉，其特征在于，所述红外线视窗自动切换的长晶炉包括：真空工艺腔体(1)，设置有真空视窗(11)；坩埚(2)，安装在所述真空工艺腔体(1)内部；红外线温度传感器(4)，安装在所述真空工艺腔体(1)的外部，所述红外线温度传感器(4)发出的红外线(41)透过所述真空视窗(11)、照射到所述坩埚(2)的表面；驱动机构(5)，安装在所述真空工艺腔体(1)的侧壁上；透光盘(6)，安装在所述真空工艺腔体(1)的内部、且连接在所述驱动机构(5)上，所述透光盘(6)位于所述真空视窗(11)靠近所述坩埚(2)的一侧，所述驱动机构(5)用于带动所述透光盘(6)上的不同透光区域依次遮挡所述真空视窗(11)，避免所述坩埚(2)中渗出的气体污染所述真空视窗(11)；遮挡板(7)，安装在所述透光盘(6)靠近所述坩埚(2)的一侧，所述遮挡板(7)上开设有通孔(71)，所述通孔(71)位于所述红外线(41)的照射路径上。2.根据权利要求1所述的红外线视窗自动切换的长晶炉，其特征在于，所述透光盘(6)为整块透光玻璃(62)。3.根据权利要求1所述的红外线视窗自动切换的长晶炉，其特征在于，所述透光盘(6)包括：装载盘(61)；多个透光玻璃(62)，安装在所述装载盘(61)上，所述透光玻璃(62)形成所述透光区域，所述驱动机构(5)用于带动所述装载盘(61)，从而带动多个所述透光玻璃(62)依次遮挡所述真空视窗(11)。4.根据权利要求3所述的红外线...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁刚俊，苏兆鸣，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：