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本实用新型提供一种红外线视窗自动切换的长晶炉，涉及半导体设备技术领域。红外线视窗自动切换的长晶炉包括真空工艺腔体、坩埚、红外线温度传感器、驱动机构、透光盘和遮挡板，驱动机构安装在真空工艺腔体的侧壁上；透光盘安装在真空工艺腔体的内部、且连接在...
该专利属于通威微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通威微电子有限公司授权不得商用。

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