一种纳米氧化铝抛光粉的生产工艺制造技术

本发明专利技术提供一种纳米氧化铝抛光粉的生产工艺，属于无机材料抛光粉的生产技术领域。本发明专利技术选用氯化铝、硝酸铝或硫酸铝为原料，选用氨水或四甲基氢氧化铵为共沉淀助剂，采用聚乙二醇400和聚乙二醇6000的混合物作为高分子分散剂，采用烷基胺作为小分子分散剂，制备得到粒径更小的超细氧化铝抛光粉，同时对超细氧化铝抛光粉进行表面改性，制备得到颗粒极细、分布很窄、分散性和相容性优异的纳米氧化铝抛光粉。粉。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米氧化铝抛光粉的生产工艺


[0001]本专利技术属于无机材料抛光粉的生产
，具体涉及一种纳米氧化铝抛光粉的生产工艺。

技术介绍

[0002]α氧化铝凭借其高硬度、稳定性好等优点，已被广泛应用于集成电路、半导体硅片、第三代化合物半导体、激光晶体等芯片和元器件的表面抛光。氧化铝原料易得、价格低廉，提纯难度小，所以开发出氧化铝抛光粉具有非常大的经济效益。近年来，国内对α
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氧化铝的需求日益旺盛，尤其是新能源汽车产业带动的第三代半导体芯片的力发展，带动整个碳化硅晶源的快速发展，由此刺激了国内对高纯纳米氧化铝抛光粉的研究与开发。
[0003]专利(CN101391788A)提供了一种抛光液用氧化铝粉的制备方法，采用液相沉淀法制备抛光液用抛光粉用的球形氧化铝粉，在0.2
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0.4M硫酸铝铵溶液加入尿素和共沉淀助剂在60
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80℃温度下反应至沉淀出现后，进行陈化，然后过滤、洗涤、干燥得到氧化铝粉前驱体，将氧化铝粉前驱体在1200
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1600℃焙烧2
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...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米氧化铝抛光粉的生产工艺，其特征在于，包括如下步骤：1)将铝盐按质量分数配成10％
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50％的水溶液，倒入容器中快速搅拌并加入分散剂；2)溶液混合均匀后缓慢滴加共沉淀助剂，直至pH值达到9.2
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11；3)将生成的氢氧化铝沉淀过滤，洗涤三次后得到氢氧化铝前驱体；4)将氢氧化铝前驱体在520℃
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700℃煅烧2
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5小时后进行粉碎，粉碎后的前驱体在1000℃
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1400℃下再次煅烧4
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8小时得到氧化铝团聚体；5)对煅烧后的氧化铝团聚体进行粉碎；6)对粉碎后的氧化铝粉末进行表面改性，即得纳米氧化铝抛光粉；其中，步骤1)中的分散剂为聚乙二醇和烷基胺的混合物；其中，聚乙二醇为聚乙二醇400和聚乙二醇6000的混合物，二者摩尔比为1：2
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4，烷基胺为乙二胺、正庚胺、十二胺、十六胺中的一种或多种。2.如权利要求1所述的生产工艺，其特征在于，步骤1)中的铝盐为氯化铝、硝酸铝或者硫酸铝中的一种，铝盐水溶液的...

【专利技术属性】
技术研发人员：于长江，高维亚，陈贞彬，王兆敏，亚历山大，
申请(专利权)人：山东麦丰新材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：