一种环保型乳化精磨液及其制备方法技术

本发明专利技术属于化工加工技术领域，具体涉及一种环保型乳化精磨液及其制备方法。所述精磨液的原料包括如下重量份数的组分：精磨粉2

【技术实现步骤摘要】
一种环保型乳化精磨液及其制备方法


[0001]本专利技术属于化工加工
，具体涉及一种环保型乳化精磨液及其制备方法。

技术介绍

[0002]SiC作为第三代宽禁带半导体材料，与Si和GaAs相比，它具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和迁移率等优点，应用于航空航天、汽车电子等多精细领域。
[0003]生产器件要求晶片是抛光面，其表面的好坏，如缺陷、损伤等都直接影响器件的性能，有些缺陷是致命的，从而造成后道工序的成品率低。随着SiC材料的发展及高精尖领域的广泛应用，SiC材料加工精度要求也越来越高。对于抛光来说，SiC的硬度比较大，其莫氏硬度为9.2，常温下几乎不跟其他物质反应，其品体硬而脆，抛光困难。
[0004]目前晶体、芯片等的加工需要经过粗磨、精磨、精抛等多道抛光工序，采用的研磨液或抛光液主要分为油性液和水基液。油性抛光液浸润、黏附、润滑，但效率低，不易清洗，对后续工序造成影响。水基液相容性好，但是抛光效果有待提高。
[0005]中国专利技术专利申请CN102212412A公开了一种磨料经过表面活性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种环保型乳化精磨液，其特征在于，所述精磨液的原料包括如下重量份数的组分：精磨粉2
‑
10份、油性剂1
‑
5份、水溶性丙烯酸树脂1
‑
5份、西黄蓍胶1
‑
5份、乳化剂1
‑
5份和水80
‑
100份；其中精磨粉由质量比为1:3
‑
5的纳米金刚石和氧化铈粉复配而成。2.根据权利要求1所述的乳化精磨液，其特征在于，所述油性剂选自矿物油和植物油，其中矿物油选自碳原子数为15～45的链式饱和烃或不饱和烃，进一步优选为液体石蜡、角鲨烯、角鲨烷或鲨肝油烷。3.根据权利要求1所述的乳化精磨液，其特征在于，所述纳米金刚石由65
‑
75％的粒径为20nm的多晶金刚石与25
‑
35％的粒径为5nm的单晶金刚石组成，所述氧化铈粉的粒径为20
‑
100nm。4.根据权利要求1所述的乳化精磨液，其特征在于，所述油性剂由鲨肝油烷、薄荷油和蓖麻油以质量比5
‑
10:1
‑
3:1复配而成。5.根据权利要求1所述的乳化精磨液，其特征在于，所述水溶性丙烯酸树脂为水溶性自交联丙烯酸树脂，粘度为800
‑
3000mpa
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s，优选为型号TUY
‑
TY773、HK
‑
356或AL
‑<...

【专利技术属性】
技术研发人员：于长江，王兆敏，路朋，
申请(专利权)人：山东麦丰新材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：