吸附移载装置及多晶硅装袋系统制造方法及图纸

技术编号:37132193 阅读:15 留言:0更新日期:2023-04-06 21:30
本实用新型专利技术揭示了吸附移载装置及多晶硅装袋系统,其中吸附移载装置包括底座,所述底座上设置第一旋转机构,所述第一旋转机构连接直线移动机构并驱动所述直线移动机构绕第一轴转动,所述直线移动机构的移动件的一端连接第二旋转机构,所述第二旋转机构连接真空吸附组件,所述第二旋转机构驱动所述真空吸附组件绕第二轴转动,所述第一轴与第二轴垂直,所述直线移动机构的移动件的移动方向与所述第二轴的延伸方向平行。本实用新型专利技术的结构能够有效满足使用需要,且用户可以采用更低成本的部件来组装得到吸附移载装置,自行组装相对于采购成品设备的成本大大降低,同时,整体结构简单,易于组装实现,紧凑的结构所需的安装空间更小,更便于使用。更便于使用。更便于使用。

【技术实现步骤摘要】
吸附移载装置及多晶硅装袋系统


[0001]本技术涉及多晶硅加工设备领域,尤其是吸附移载装置及多晶硅装袋系统。

技术介绍

[0002]在多晶硅自动加工系统中,需要将扁平的塑料袋移动到开袋机构处进行塑料袋的打开。在不同的开袋装置中,塑料袋开袋时需要保持水平状态或者竖直状态以便实现开袋。为了适应不同的开袋装置,需要使塑料袋移载装置满足如下两种功能:
[0003](1)能够将供料位置堆叠的塑料袋逐一切换为竖直状态并放置到开袋机构处。
[0004](2)能够将供料位置堆叠的塑料袋逐一以水平状态放置到输送机构上。
[0005]为了使塑料袋移载装置能够满足上述要求,通常采用吸附组件来进行平整的塑料袋吸附并通过一个的移动机构来实现吸附组件的移动,例如授权公告号为CN208344644U的中国技术专利中,采用六轴机器人来驱动吸附组件移动。
[0006]这些结构中,六轴机器人的设备成本很高,同时,它占用的安装空间较大。

技术实现思路

[0007]本技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题,提供一种吸附移载装置及多晶硅装袋系统。
[0008]本技术的目的通过以下技术方案来实现:
[0009]吸附移载装置,包括底座,所述底座上设置第一旋转机构,所述第一旋转机构连接直线移动机构并驱动所述直线移动机构绕第一轴转动,所述直线移动机构的移动件的一端连接第二旋转机构,所述第二旋转机构连接真空吸附组件,所述第二旋转机构驱动所述真空吸附组件绕第二轴转动,所述第一轴与第二轴垂直,所述直线移动机构的移动件的移动方向与所述第二轴的延伸方向平行。
[0010]优选的,所述吸附移载装置中,所述第一旋转机构包括固定在所述底座上的支座,所述支座上设置有第一电机,所述第一电机的输出轴通过齿轮传动机构连接所述第一轴,所述第一轴可自转地设置在轴座上,所述第一轴远离所述第一电机的一端连接所述直线移动机构。
[0011]优选的,所述吸附移载装置中,所述轴座固定在所述支座上且其与支座围合成收纳腔,所述齿轮传动机构及连接所述轴座和第一轴的轴承位于所述收纳腔中。
[0012]优选的,所述吸附移载装置中,所述直线移动机构包括连接座,所述连接座上设置导向座,所述导向座上滑动设置有齿条,所述齿条与第一齿轮啮合,所述第一齿轮连接驱动其自转的第二电机,所述第二电机固定在所述连接座上。
[0013]优选的,所述吸附移载装置中,所述第二电机为自锁减速电机。
[0014]优选的,所述吸附移载装置中,所述齿条的侧部设置有第一触发件和第二触发件,所述连接座上设置有与所述第一触发件和第二触发件配合限制所述齿条的移动行程的第一传感器和第二传感器。
[0015]优选的,所述吸附移载装置中,所述齿条设置在导轨上,所述导轨滑动设置在所述导向座上,所述导向座上设置有第三触发件,所述第三触发件位于所述齿条靠近所述真空吸附组件的一端外侧,所述底座上还设置有第三传感器,所述齿条处于竖直状态时,所述第三传感器位于所述第一齿轮的下方,所述第一传感器及第二传感器位于所述第一齿轮的上方。
[0016]优选的,所述吸附移载装置中,所述第二旋转机构包括转台及由所述转台驱动自转的转动盘,所述转动盘连接所述真空吸附组件,所述转动盘的侧部设置有呈90
°
夹角的第一凸部和第二凸部,所述转台上还设置有两个与所述第一凸部和第二凸部配合限制所述转动盘的转动角度的接近传感器,它们平行设置在所述转动盘的两侧。
[0017]优选的,所述吸附移载装置中,所述真空吸附组件包括载板,所述载板上垂直设置有一组真空吸头,所述载板上形成有一穿孔,所述载板上设置用于检测穿孔对应位置是否有物料的检测传感器。
[0018]多晶硅装袋系统,包括上述任一所述的吸附移载装置。
[0019]本技术技术方案的优点主要体现在:
[0020]本技术的结构能够有效满足使用需要,且用户可以采用更低成本的部件来组装得到吸附移载装置,自行组装相对于采购成品设备的成本大大降低,同时,整体结构简单,易于组装实现,紧凑的结构所需的安装空间更小,更便于使用。
[0021]本技术的轴承、齿轮传动机构均位于轴座和支座围合的收容腔中,能够更好地对它们进行保护。
[0022]本技术的移载装置只有2轴的旋转运动和一轴的平移运动,移载装置更容易控制。
[0023]本技术的直线移动机构采用自锁减速电机驱动齿轮、齿条,能够有效保证齿条移动到位后的位置稳定性,从而保证真空吸附组件的位置精度。
[0024]本技术的直线移载机构通过设置多个触发件及多个传感器,能够更准确地进行第二电机的控制,避免齿条过渡移动导致与齿轮脱离的情况出现,有效提高了控制的准确性和使用的稳定性。
[0025]本技术的转盘上设置成90
°
夹角的第一凸部和第二凸部,它们能够与两个接近传感器配合实现转盘转动角度的精确,快速控制,同时结构简单、紧凑。
[0026]本技术的吸附组件上集成有检测组件,可以识别出真空吸头下方是否有塑料袋以及确定移载过程中塑料袋是否有掉落情况,能够及时发现异常情况,有利于减少无效做功,提高作业效率。
附图说明
[0027]图1是本技术的吸附移载装置的第一视角立体图;
[0028]图2是本技术的吸附移载装置的剖视图;
[0029]图3是本技术的吸附移载装置的第二视角立体图;
[0030]图4是本技术的吸附移载装置的第三视角立体图。
具体实施方式
[0031]本技术的目的、优点和特点,将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本技术技术方案的典型范例,凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案,均落在本技术要求保护的范围之内。
[0032]在方案的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0033]下面结合附图对本技术揭示的吸附移载装置进行阐述,如附图1、附图2所示,其包括底座100,所述底座100上设置第一旋转机构300,所述第一旋转机构300连接直线移动机构500并驱动所述直线移动机构500绕第一轴330转动,所述直线移动机构500的移动件的一端连接第二旋转机构700,所述第二旋转机构700连接真空吸附组件900,所述第二旋转机构700驱动所述真空吸附组件900绕第二轴转动,所述第一轴330与第二轴垂直,所述直线移动机构500的移动件的移动方向与所述第二轴的延伸方向平行。
[0034本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.吸附移载装置,包括底座,其特征在于:所述底座上设置第一旋转机构,所述第一旋转机构连接直线移动机构并驱动所述直线移动机构绕第一轴转动,所述直线移动机构的移动件的一端连接第二旋转机构,所述第二旋转机构连接真空吸附组件,所述第二旋转机构驱动所述真空吸附组件绕第二轴转动,所述第一轴与第二轴垂直,所述直线移动机构的移动件的移动方向与所述第二轴的延伸方向平行。2.根据权利要求1所述的吸附移载装置,其特征在于:所述第一旋转机构包括固定在所述底座上的支座,所述支座上设置有第一电机,所述第一电机的输出轴通过齿轮传动机构连接所述第一轴,所述第一轴可自转地设置在轴座上,所述第一轴远离所述第一电机的一端连接所述直线移动机构。3.根据权利要求2所述的吸附移载装置,其特征在于:所述轴座固定在所述支座上且其与支座围合成收纳腔,所述齿轮传动机构及连接所述轴座和第一轴的轴承位于所述收纳腔中。4.根据权利要求1所述的吸附移载装置,其特征在于:所述直线移动机构包括连接座,所述连接座上设置导向座,所述导向座上滑动设置有齿条,所述齿条与第一齿轮啮合,所述第一齿轮连接驱动其自转的第二电机,所述第二电机固定在所述连接座上。5.根据权利要求4所述的吸附移载装置,其特征在于:所述第二电机为自锁减速电机。6.根据权利要求4所述的吸附移载装置,其特征在于:所述齿条的侧部设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈建宝洪梦梦
申请(专利权)人:苏州鸿博斯特超净科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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