一种防漏硅埚托制造技术

技术编号:37115756 阅读:19 留言:0更新日期:2023-04-01 05:11
本实用新型专利技术公开了一种防漏硅埚托,具体涉及单晶炉锅托技术领域,包括由碳碳复合材料制成的锅托主体,所述锅托主体上设置有上止口防护边,所述锅托主体的外侧设置有加强外圈环,所述锅托主体的底部设置有用于对锅托主体进行支撑的支撑托底座,所述支撑托底座的顶部且位于锅托主体的底部设置有层叠设置用于支撑的第一支撑弧托和第二支撑弧托。本实用新型专利技术通过各个结构的相应配合使用,整体设计简单,结构合理,通过限位凹槽的内壁最先对炉体进行支撑以及限位,确保炉体安装的稳定性,提高了锅托主体在对炉体进行支撑的稳定性,使得锅托主体能够通过上止口防护边包裹炉体,同时也避免了上止口防护边受到腐蚀与埚邦配合出现间隙后造成漏硅事故。后造成漏硅事故。后造成漏硅事故。

【技术实现步骤摘要】
一种防漏硅埚托


[0001]本技术涉及单晶炉锅托
,更具体地说,本技术涉及一种防漏硅埚托。

技术介绍

[0002]在拉晶过程中,承装硅液的石英坩埚在发生破裂或其它原因时,会导致硅液泄漏,而传统的防漏硅护盘在硅液泄露方面基本没有好的保护,泄露的硅液会烧坏防漏硅护盘并流向炉体底部,而聚集在炉体底部的高温硅液会瞬间烧穿炉体底部的炉体底部锅托,对炉体部件造成损坏,严重的话会引起重大设备事故,甚至人身安全。
[0003]专利申请号CN201822075740.8的技术专利公开了一种防漏硅护盘,包括第一金属板和第二金属板,第一金属板和第二金属板叠层设置,第一金属板靠近单晶炉炉体内的炉体底部。第二金属板设置在第一金属板上,并位于单晶炉炉体内的坩埚的下方,第一金属板和第二金属板上还分别设置有与炉体底部上的安装孔位置相对应的多个安装孔。第二金属板为用于防止单晶炉内的硅液烧穿的金属板;
[0004]该结构在使用时,仅仅通过第一金属板和第二金属板通过安装孔与炉体底部紧固连接,来对炉体底部进行防护,防止硅液烧坏炉体底部,但是当单晶炉内的硅液烧穿金属板时,导致第一金属板和第二金属板对炉体的支撑性能降低,不方便使用。

技术实现思路

[0005]本技术技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题,提供了显著不同于现有技术的解决方案。为了克服现有技术的上述缺陷,本技术提供一种防漏硅埚托,旨在解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种防漏硅埚托,包括由碳碳复合材料制成的锅托主体,所述锅托主体上设置有上止口防护边,所述锅托主体的外侧设置有加强外圈环,所述锅托主体的底部设置有用于对锅托主体进行支撑的支撑托底座;
[0007]所述支撑托底座的顶部且位于锅托主体的底部设置有层叠设置用于支撑的第一支撑弧托和第二支撑弧托;
[0008]所述加强外圈环的内部且位于第二支撑弧托的外侧设置有用于防护的外环延护边;
[0009]所述锅托主体的开设有用于限位的限位凹槽;
[0010]所述第一支撑弧托设置在第二支撑弧托的底部,所述第一支撑弧托和第二支撑弧托的外侧均设置为弧形;
[0011]所述限位凹槽的竖截面形状设置为弧形,且限位凹槽的顶部和上止口防护边之间形成有夹角。
[0012]本技术的技术效果和优点:
[0013]通过各个结构的相应配合使用,与现有技术相比,整体设计简单,结构合理,通过
限位凹槽的内壁最先对炉体进行支撑以及限位,确保炉体安装的稳定性,提高了锅托主体在对炉体进行支撑的稳定性,使得锅托主体能够通过上止口防护边包裹炉体,同时也避免了上止口防护边受到腐蚀与埚邦配合出现间隙后造成漏硅事故;
[0014]同时再通过第二支撑弧托、第一支撑弧托和支撑托底座的设置,由加强外圈环最先对锅托主体的外侧进行支撑,而支撑托底座则是对锅托主体的底部进行支撑,实现对锅托主体的双重性能,同时当支撑托底座受力时,会将力传递至第一支撑弧托和第二支撑弧托上,对受力点进行分散,提高本技术的支撑性能,方便使用的同时具有良好的实用性。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本公开中的技术方案,下面将对本公开一些实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例的附图,对于本领域普通技术人员来讲,还可以根据这些附图获得其他的附图。此外,以下描述中的附图可以视作示意图,并非对本公开实施例所涉及的产品的实际尺寸、方法的实际流程、信号的实际时序等的限制。
[0016]图1为本技术锅托主体、上止口防护边、加强外圈环和限位凹槽的主视图。
[0017]图2为本技术锅托主体、支撑托底座、第一支撑弧托和第二支撑弧托的俯视图。
[0018]图3为本技术锅托主体、加强外圈环、支撑托底座、第一支撑弧托和第二支撑弧托的剖视结构侧视图。
[0019]附图标记为:1、锅托主体;2、上止口防护边;3、加强外圈环;4、支撑托底座;5、第一支撑弧托;6、第二支撑弧托;7、外环延护边;8、限位凹槽。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]在实施例中,如附图1

3所示的一种防漏硅埚托,通过锅托主体1、上止口防护边2、加强外圈环3、支撑托底座4、第一支撑弧托5、第二支撑弧托6和外环延护边7等各个结构的相应配合使用,可以有效的避免上止口防护边2受到腐蚀与埚邦配合出现间隙后造成漏硅事故,同时对炉体的支撑性能好,且各个结构具体设置如下;
[0022]包括由碳碳复合材料制成的锅托主体1,锅托主体1上设置有上止口防护边2,锅托主体1的外侧设置有加强外圈环3,锅托主体1的底部设置有用于对锅托主体1进行支撑的支撑托底座4;
[0023]支撑托底座4的顶部且位于锅托主体1的底部设置有层叠设置用于支撑的第一支撑弧托5和第二支撑弧托6;
[0024]加强外圈环3的内部且位于第二支撑弧托6的外侧设置有用于防护的外环延护边7;
[0025]锅托主体1的开设有用于限位的限位凹槽8;
[0026]第一支撑弧托5设置在第二支撑弧托6的底部,第一支撑弧托5和第二支撑弧托6的外侧均设置为弧形;
[0027]限位凹槽8的竖截面形状设置为弧形,且限位凹槽8的顶部和上止口防护边2之间形成有夹角。
[0028]根据上述结构在使用时,本技术所制得的锅托主体1在使用时,工作人员将本技术安装在指定的位置处,在将炉体(图中未示出)安装在锅托主体1上,通过限位凹槽8的内壁最先对炉体进行支撑以及限位,确保炉体安装的稳定性,提高了锅托主体1在对炉体进行支撑的稳定性;
[0029]并且当炉体安装在锅托主体1上时,通过上止口防护边2对炉体的外侧限位,使得锅托主体1能够通过上止口防护边2包裹炉体,同时也避免了上止口防护边2受到腐蚀与埚邦配合出现间隙后造成漏硅事故;
[0030]同时再通过第二支撑弧托6、第一支撑弧托5和支撑托底座4的设置,由加强外圈环3最先对锅托主体1的外侧进行支撑,而支撑托底座4则是对锅托主体1的底部进行支撑,实现对锅托主体1的双重性能,同时当支撑托底座4受力时,会将力传递至第一支撑弧托5和第二支撑弧托6上,对受力点进行分散,提高本技术的支撑性能。
[0031]区别于现有技术的情况,本申请公开了一种防漏硅埚托,通过限位凹槽8的内壁最先对炉体进行支撑以及限位,确保炉体安装的稳定性,提高了锅托主体1在对炉体进行支撑的稳定性,使得锅托主体1能够通过上止口防护边2包裹炉体,同时也避免了上止口防护边2受到腐蚀与埚邦本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防漏硅埚托,其特征在于:包括由碳碳复合材料制成的锅托主体(1),所述锅托主体(1)上设置有上止口防护边(2),所述锅托主体(1)的外侧设置有加强外圈环(3),所述锅托主体(1)的底部设置有用于对锅托主体(1)进行支撑的支撑托底座(4);所述支撑托底座(4)的顶部且位于锅托主体(1)的底部设置有层叠设置用于支撑的第一支撑弧托(5)和第二支撑弧托(6);所述加强外圈环(3)的内部且位于第二支撑弧托(6)的外侧设...

【专利技术属性】
技术研发人员:段俊飞王楠张宇辉郭嘉伟董智慧
申请(专利权)人:乌海市京运通新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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