使用可动光线路部件的切换器模块及多通道光谱系统技术方案

公开一种使用可动光线路部件的切换器模块及包括其的等离子体监控用多通道光谱系统。用于将腔体的多个监控部的光切换到分光仪进行传递的多通道光谱系统的切换器模块包括连接于所述腔体的多个监控部的多个第一光线路部件及与多个所述第一光线路部件相对且与多个所述第一光线路部件隔开排列的第二光线路部件。其中，随着所述第二光线路部件运动，多个所述第一光线路部件排列成与所述第二光线路部件选择性地相对，与所述第二光线路部件相对的第一光线路部件的光路径一致，在所述腔体内产生的光通过相应监控部、连接于所述监控部的第一光线路部件及所述第二光线路部件传递到所述分光仪。所述分光仪。所述分光仪。

【技术实现步骤摘要】
使用可动光线路部件的切换器模块及多通道光谱系统


[0001]本专利技术涉及使用可动光线路部件的切换器模块及包括其的等离子体监控用多通道光谱系统。

技术介绍

[0002]图1为示出现有半导体系统中OES结果值的示意图，图2为示出一般腔体的结构的示意图。
[0003]半导体系统为了监控等离子体工艺等而通过分光仪接收从腔体200产生的光并进行分析。其中，如图2所示，腔体200的多处形成有监控部210、212、214及216以便管理员从多处观察腔体200内部。
[0004]在这种半导体系统的结构中，一个光线路从腔体200的一个监控部连接到分光仪。因此仅腔体200的一处的光输入到所述分光仪。
[0005]然而，如图1所示，腔体200的各监控部210、212、214及216的OES结果值不同，因此在这种半导体系统的结构下无法准确地分析等离子体工艺等。
[0006]当然，也可以在各监控部210、212、214及216连接分光仪，但该情况下存在半导体系统的费用大幅上升的问题。并且，如图3所示，不同的分光仪在相同的光的情况下仍旧产生不同的OES结果值，从而难免降低分析准确度。
[0007]并且，需要分析各个腔体200的工艺的情况下，需要有与各腔体200连接的分光仪。其结果，所述半导体系统的费用大幅上升。
[0008]【现有技术文献】
[0009]【专利文献】
[0010](专利文献1)KR 10
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1602449 B

技术实现思路

[0011]技术问题
[0012]本专利技术的目的是提供一种使用可动光线路部件的切换器模块及包括其的等离子体监控用多通道光谱系统。
[0013]技术方案
[0014]为了达到如上所述的目的，根据本专利技术的一个实施例的用于将腔体的多个监控部的光切换到分光仪进行传递的多通道光谱系统的切换器模块包括连接于所述腔体的多个监控部的多个第一光线路部件；以及与多个所述第一光线路部件相对且与多个所述第一光线路部件隔开排列的第二光线路部件。其中，随着所述第二光线路部件运动，多个所述第一光线路部件排列成选择性地与所述第二光线路部件相对，与所述第二光线路部件相对的第一光线路部件的光路径一致，在所述腔体内产生的光通过相应监控部、连接于所述监控部的第一光线路部件及所述第二光线路部件传递到所述分光仪。
[0015]根据本专利技术的另一实施例的多通道光谱系统包括连接于腔体的多个监控部的切
换器模块；以及连接于所述切换器模块的分光仪。所述切换器模块包括连接于多个所述监控部的多个第一光线路部件及与多个所述第一光线路部件相对且与多个所述第一光线路部件隔开排列的第二光线路部件。其中，随着所述第二光线路部件运动，多个所述第一光线路部件排列成选择性地与所述第二光线路部件相对，与所述第二光线路部件相对的第一光线路部件的光路径一致，在所述腔体内产生的光通过相应监控部、连接于所述监控部的第一光线路部件及所述第二光线路部件传递到所述分光仪。
[0016]根据本专利技术的另一实施例的切换器模块包括连接于第一腔体的多个监控部的第1
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1光线路部件；连接于第二腔体的多个监控部的第1
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2光线路部件；以及与所述第1
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1光线路部件及所述第1
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2光线路部件相对且相隔排列的第二光线路部件。其中，随着所述第二光线路部件运动，所述第1
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1光线路部件与所述第1
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2光线路部件选择性地与所述第二光线路部件相对，与所述第二光线路部件相对的第1
‑
1光线路部件或第1
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2光线路部件的光路径一致，在所述第一腔体或所述第二腔体内产生的光通过相应监控部、连接于所述监控部的第1
‑
1光线路部件或第1
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2光线路部件及所述第二光线路部件传递到所述分光仪。
[0017]技术效果
[0018]根据本专利技术的切换器模块能够通过光线路部件的排列将腔体的监控部的光选择性地传递到分光仪。其结果，能够用一个分光仪监控腔体工艺。
[0019]尤其，通过光线路部件运动的方法将腔体的光传递到分光仪，因此能够简化所述切换器模块的结构。
附图说明
[0020]图1为示出现有半导体系统中OES结果值的示意图；
[0021]图2为示出一般腔体的结构的示意图；
[0022]图3为示出根据本专利技术的一个实施例的多通道光谱系统的结构的示意图；
[0023]图4为简要示出根据本专利技术的一个实施例的切换器模块的结构的示意图；
[0024]图5为示出根据本专利技术的一个实施例的光线路选择过程的示意图；
[0025]图6为简要示出根据本专利技术的一个实施例的光线路部件的结构的示意图；
[0026]图7为示出本专利技术的另一实施例的多通道光谱系统的示意图。
[0027]附图标记说明
[0028]100：腔体
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102：切换器模块
[0029]104：分光仪
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400：第一光线路部件
[0030]402：第二光线路部件
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404：第三光线路部件
[0031]500：限位件
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600：光线路
[0032]602：驱动部
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800、802、804：腔体
具体实施方式
[0033]本说明书中使用的单数表述在文中无明确的其他含义的情况下还包括复数表述。关于本说明书中“构成”或“包括”等术语，不应理解为必须包括说明书上记载的所有构成要素或各步骤，而是应该理解为可以不包括其中部分构成要素或部分步骤，或者还可以包括其他附加构成要素或步骤。并且，说明书上记载的
“…
部”、“模块”等术语表示处理至少一个
功能或动作的单位，这些可以通过硬件或软件实现或通过结合硬件及软件实现。
[0034]本专利技术涉及半导体系统或显示器等多通道光谱系统中使用的切换器模块，可将在腔体的多处产生的光切换传递到分光仪。其中，所述多通道光谱系统表示使用具有多个通道的腔体执行工艺的所有系统。
[0035]根据一个实施例，所述腔体具有管理员能够观察内部的多个监控部，所述监控部与切换器模块连接到多个光线路部件，所述切换器模块可通过切换选择多个所述光线路部件中的一个，通过选择的所述光线路部件将输入的光传递到分光仪。
[0036]将连接于所述腔体的监控部的光线路分别连接到不同的分光仪的情况下多通道光谱系统的费用大幅上升，本专利技术的多通道光谱系统能够利用以往没有的新的切换器模块将多个所述光线路部件选择性地连接到一个分光仪。其结果，只需要一个分光仪，因此能够大幅降低所述多通道光谱系统的费用。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切换器模块，用于将腔体的多个监控部的光切换到分光仪进行传递的多通道光谱系统，其特征在于，包括：多个第一光线路部件，其连接于所述腔体的多个监控部；以及第二光线路部件，其与多个所述第一光线路部件相对且与多个所述第一光线路部件隔开排列；随着所述第二光线路部件运动，多个所述第一光线路部件排列成选择性地与所述第二光线路部件相对，与所述第二光线路部件相对的第一光线路部件的光路径一致，在所述腔体内产生的光通过相应监控部、连接于所述监控部的第一光线路部件及所述第二光线路部件传递到所述分光仪。2.根据权利要求1所述的切换器模块，其特征在于：所述第二光线路部件包括光线路及驱动部，所述驱动部连接于所述光线路的局部，所述驱动部被施加交流电压时所述光线路的末端中与所述第一光线路部件相对的末端向左右运动，随着所述运动，所述第二光线路部件与所述第一光线路部件的光路径选择性地一致，所述第一光线路部件不运动，而是固定设置。3.根据权利要求1所述的切换器模块，其特征在于：包括排列于所述第二光线路部件的两侧的限位件，所述限位件与所述第二光线路部件隔开排列，所述第二光线路部件在由所述限位件形成的空间内运动。4.根据权利要求3所述的切换器模块，其特征在于：所述第二光线路部件中与所述限位件碰撞的部分被硅塑料包覆。5.根据权利要求1所述的切换器模块，其特征在于：具有排列成与第一组的多个第一光线路部件相对的第二光线路部件、排列成与第二组的多个第二光线路部件相对的第二光线路部件及排列成与第三组的多个第一光线路部件相对的第二光线路部件，所述切换器模块还包括排列成与多个所述第二光线路部件相对的第三光线路部件，所述第三光线路部件的一端连接于所述分光仪，所述第三光线路部件的另一端排列成与多个所述第二光线路部件相对，所述第三光线路部件中与多个所述第二光线路部件相对的末端运动，随着所述运动，通过多个所述第二光线路部件行进的光选择性地入射到所述第三光线路部件。6.根据权利要求5所述的切换器模块，其特征在于：多个所述第二光线路部件的运动速度相同，所述第三光线路部件的运动速度与所述第二光线路部件的运动速度不同。7.一种多通道光谱系统，其特征在于，包括：切换器模块，其连接于腔体的多个监控部；以及分光仪，...

【专利技术属性】
技术研发人员：金学权，朴真奭，金廷珉，
申请(专利权)人：WGS有限公司，
类型：发明
国别省市：