用于电子衍射图样分析的改进相机制造技术

提供了一种检测菊池衍射图的装置。该装置包括：电子柱，其适于在使用中提供指向样品的电子束，所述电子束具有在2keV至50keV范围内的能量，以及；成像探测器，用于接收和计数由于电子束与样品的相互作用而来自样品的电子，探测器包括像素阵列并且对于每个像素具有每秒至少2000个电子的计数率能力，其中：成像探测器适于提供接收电子的电子能量滤波，以便对代表所述衍射图样的接收电子进行计数，并且粒子探测器在电子朝向探测器的有源区进入的表面上具有惰性层，其中惰性层分散20keV入射电子的检测能量，该20keV入射电子具有小于3.2keV的半峰全宽的能散。还提供了一种检测菊池衍射图的方法。图的方法。图的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于电子衍射图样分析的改进相机


[0001]本专利技术涉及一种用于对样本(specimen)进行微衍射分析、特别是电子背散射衍射(EBSD)分析以检测菊池衍射图的装置和方法。

技术介绍

[0002]在微衍射分析中，电子束指向晶体样本，且电子束中的电子与样本的相互作用导致产生不同类型的粒子。源自源电子束的电子从样本中弹性背散射，然后由晶体的晶格平面衍射，在材料研究中受到特别关注。这些电子的能量接近主束的能量，构成了电子背散射衍射(EBSD)分析的基础。对于EBSD分析，衍射衬度由像素化探测器捕获为图像(衍射图样)，该图样用于测量样本的特性，例如晶体取向和应变。扫描电子显微镜(SEM)通常用于产生初级电子束和用于安装样本和探测器。
[0003]如US8890065中所述，粒子计数像素阵列可用作微衍射分析的成像探测器。在这样的系统中，将探测器处接收到的单个粒子产生的信号幅度与阈值进行比较，以区分信号和系统噪声，从而对单个粒子进行计数(counting)。此外，由于信号电平由入射粒子的能量控制，因此该阈值可用于区分不同能量的粒子，仅计数那些能量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.用于检测菊池衍射图的装置，该装置包括：电子柱，其适于在使用中提供指向样品的电子束，所述电子束具有在2keV至50keV范围内的能量，以及；成像探测器，其用于接收和计数由于所述电子束与所述样品的相互作用而来自所述样品的电子，所述探测器包括像素阵列并且对于每个像素具有每秒至少2,000个电子的计数率能力，其中：所述成像探测器适于提供接收电子的电子能量滤波，以便对代表所述衍射图样的接收电子进行计数，以及粒子探测器，其在所述电子朝向所述探测器的有源区进入的表面上具有惰性层，其中所述惰性层分散20keV入射电子的检测能量，所述20keV入射电子具有小于3.2keV的半峰全宽的能散。2.根据权利要求1所述的装置，其中各个像素处的电子放大器引入半峰全宽小于2keV且优选小于1keV的电子噪声能量当量。3.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述粒子探测器包括电路，所述电路用于检测和校正像素之间会发生的单个入射粒子的电荷共享。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述电路实现如下：将在给定像素中收集到的电子信号与在相邻像素中收集到的电子信号求和；对求和得到的电子信号进行电子能量滤波，以计数代表所述衍射图样的接收粒子；以及将计数后的粒子分配给单个像素。5.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述粒子探测器输出在每个像素中捕获的信号的到达时间和幅度，并且计算机算法用于：识别单个入射粒子在多个像素中产生一致电子信号的情况；对由单个入射粒子产生的多个像素中收集的多个电子信号求和；对求和得到的电子信号进行能量滤波，以计数代表所述衍射图样的接收粒子；以及将计数后的粒子分配给单个像素。6.根据前述权利要求中任一项所述的装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特，
申请(专利权)人：牛津仪器纳米技术工具有限公司，
类型：发明
国别省市：