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提供了一种检测菊池衍射图的装置。该装置包括：电子柱，其适于在使用中提供指向样品的电子束，所述电子束具有在2keV至50keV范围内的能量，以及；成像探测器，用于接收和计数由于电子束与样品的相互作用而来自样品的电子，探测器包括像素阵列并且对于...
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