【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】层叠型静电致动器
[0001]本专利技术涉及层叠型静电致动器。
技术介绍
[0002]以提供整体形状稳定化，对于输入与输出的关系能够得到较高的再现性，且能够得到较大的静电力和较大的位移的静电致动器作为课题，存在在相互对置的多个平板状的电极夹着通过包含与侧壁连续的空间而减小弹性模量的平板状的电介质并进行层叠一体化，层叠的电极以相互不同地施加第一电位和第二电位的方式电连接，电极间的距离根据电极间的电位而变化的层叠型静电致动器相关的公报公开的技术(专利文献1、图6、7)。
[0003]专利文献1：日本特开2007－259663号公报
[0004]然而，已知配置在电极间的电介质采用了
“く
字剖面高分子材料片材”或者“高分子材料软管(圆筒形状)”的层叠型静电致动器由于构造的弯曲弹性模量与材料主体的纵弹性模量(杨氏模量)相比较小，所以能够增大静电力作用给电介质时的变形量。
[0005]但是，在具有这样的构造的层叠型静电致动器中，有在制造上难以在电极间配置
“く
字构造”或者“圆筒...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种层叠型静电致动器，是层叠了多个致动器部(2a、2b、2c)的层叠型静电致动器(1)，其中，上述致动器部构成为具有：第一薄膜(3a1、3b1、3c1)，在一个面以规定图案形成多个第一连接区域(7a1、7b1、7c1)；以及第二薄膜(3a2、3b2、3c2)，是经由上述第一连接区域而与上述第一薄膜连接的第二薄膜(3a2、3b2、3c2)，在与该第一薄膜相反侧的面形成了与该第一连接区域的上述图案同一图案的多个第二连接区域(7a2、7b2、7c2)，在从层叠方向(Z)观察时，上述第一薄膜以及上述第二薄膜均在相邻的连接区域间形成宽度实质上恒定的非连接区域(15)，上述致动器部的上述第一连接区域与该致动器部的上述第二连接区域配置为在从层叠方向观察时相互不重叠，重叠的两个上述致动器部(2a、2b；2b、2c)经由上述第二连接区域(7b2；7c2)连接，上述连接的两个致动器部(2a、2b；2b、2c)层叠为这两个致动器部间的图案的轴线在从层叠方向观察时相互以规定角度(θ，除了θ＝0
°
之外)交叉。2.根据权利要求1所述的层叠型静电致动器，其中，在各上述致动器部中，上述第一连接区域的上述图案的轴线相互平行，上述第二连接区域的上述图案的轴线相互平行。3.根据权利要求1或者2所述的层叠型静电致动器，其中，在各上述致动器部中，上述第二连接区域的上述图案的轴线与上述第一连接区域的上述图案的轴线平行。4.根据权利要求1～3中任意一项所述的层叠型静电致动器，其中，上述第一连接区域以及上述第二连接区域的上述图案均形成为实质上具有均匀的宽度的直线状并等间隔地配置。5.根据权利要求1～4中任意一项所述的层叠型静电致动器，其中，在各上述致动器部中，配置为在从层叠方向观察时上述第一连接区域位于两个上述第二连接区域间的非连接区域的中央。6.根据权利要求1～5中任意一项所述的层叠型静电致动器，其中，在从层叠方向观察上述层叠的两个致动器部形成的平面时，层叠的上侧的上述致动器部(2a；2b)的上述第一连接区域(7a1；7b1)的上述图案的轴线与层叠的下侧的上述致动器部(2b；2c)的上述第二连接区域(7b2；7c2)的上述图案的轴线至少在一处位置交叉。7.根据权利要求6所述的层叠型静电致动器，其中，上述第一连接区域以及上述第二连接区域的上述图案均形成为实质上具有均匀的宽度(d)的直线状并等间隔地配置，在将层叠的上侧的上述致动器部的上述第一连接区域或者下侧的上述致动器部的上述第二连接区域中任意一方的连接区域的图案的轴线的、从层叠方向观察到的上述平面上的长度设为L，并将该一方的连接区域的从层叠方向观察到的上述非连接区域间的宽度设为2
×
l+d时，上述连接的两个致动器部间的上述图案的轴线的从层叠方向观察到的上述交叉角度θ
[rad]满足下式：8.根据权利要求1～7中任意一项所述的层叠型静电致动器，其中，在上述层叠型静电致动器伸长时，各致动器部中的上述第一薄膜与上述第二薄膜分离而在该第一薄膜以及该第二薄膜的上述非连接区域形成有空间(13)，层叠的上侧的上述致动器部的上述第一薄膜与下侧的上述致动器部的上述第二薄膜分离而在该第一薄膜以及该第...
【专利技术属性】
技术研发人员：实吉敬二，泉谷辉，伊藤诚，奥田一雄，内富男，今井裕一，
申请(专利权)人：STRAWB股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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