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层叠型静电致动器制造技术
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文档序号:37106272
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本发明以简单的构造实现在特定的驱动范围发挥足够的行程和收缩力,并且若要超过驱动范围地扩大电极间隔则急剧地变硬的层叠型静电致动器。层叠型静电致动器(1)通过经由第二连接区域连接并层叠多个致动器部(2a、2b、2c)而构成,该致动器部由在一个面...
该专利属于STRAWB股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过STRAWB股份有限公司授权不得商用。
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