本发明专利技术涉及一种阴极电镀移动装置及其电镀方法，方法包括晶圆镀膜：用电子束蒸发台将LiNbO3晶圆表面蒸镀一层金属薄膜；晶圆光刻：将LiNbO3晶圆表面匀胶，再烘烤固化，把涂胶好的LiNbO3晶圆用掩膜版通过光刻机曝光，并对其进行显影出图形，检查其图形的完整性；晶圆装夹：把LiNbO3晶圆压针位置进行定位，然后装配压针进行压片，并检测其导通性；晶圆电镀：先将装夹好的LiNbO3晶圆预处理，再通过阴极移动装置进行电镀制作，最后将其腐蚀后处理，并检查其表面图形电镀质量。与现有技术相比，本发明专利技术具有使LiNbO3晶圆电镀电极附着力强；电极图形边缘平整、无锯齿；电镀表面致密、光滑，金丝可焊性好，改善多项电参数指标，提高工艺的一致性等优点。性等优点。性等优点。
【技术实现步骤摘要】
一种阴极电镀移动装置及其电镀方法
[0001]本专利技术涉及电镀领域，尤其是涉及一种阴极电镀移动装置及其电镀方法。
技术介绍
[0002]电镀就是利用电解的方式使金属或合金沉积在工件表面，以形成均匀、致密、结合力良好的金属层的过程，就叫电镀。电镀是属于化学变化，实质是一种电化学的过程。
[0003]目前，大部分电镀槽中，阴极都被固定，不能移动，不能保证阴极镀层的均匀性，为解决该问题，公开号为CN203007458U的专利技术公开了一种阴极可移动的PCB电镀槽，该PCB电镀槽包括长方形槽体，所述长方形槽体包括槽底和围设于槽底的两个宽侧壁和两个长侧壁，所述宽侧壁设有阳极插槽，所述两个长侧壁分别设有数个均匀分布的固定板卡槽，所述固定板卡槽外围设有阴极移动框，阴极移动框可平行于阳极来回移动，阴极移动框固定有阴极固定板，所述阴极固定板卡设于所述两个长侧壁的固定板卡槽内，阴极移动框平行于阳极来回移动可带动阴极固定板上的阴极板平行于阳极来回移动，使阴极板受镀均匀，能够实现填孔电镀，适用于通孔和盲孔填孔电镀。
[0004]但该方案结构复杂，需要对原有的电镀槽进行较大变动，制造成本高。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种阴极电镀移动装置及其电镀方法，在阴极移动装置的作用下前后移动作周期性机械运动对LiNbO3晶圆表面电极通过压针传导电流进行电镀，使LiNbO3晶圆电镀电极附着力强；电极图形边缘平整、无锯齿；电镀表面致密、光滑，金丝可焊性好，改善多项电参数指标，提高工艺的一致性。
[0006]本专利技术的目的可以通过以下技术方案来实现：
[0007]一种阴极电镀移动装置，包括固定电机、传动轴、偏心轮、伸缩杆、电镀件装夹组件和支撑整个装置的架体组件，所述固定电机、传动轴和偏心轮依次连接，偏心轮在固定电机的驱动下旋转；所述伸缩杆的一端连接在所述偏心轮的端部外环上，另一端连接所述电镀件装夹组件，在所述偏心轮旋转过程中，伸缩杆的一端随着偏心轮作椭圆形移动，另一端带动所述电镀件装夹组件前后移动，所述电镀件装夹组件用于装夹电镀阴极组件。
[0008]进一步地，所述阴极电镀移动装置还包括椭圆滑板，该椭圆滑板设置在所述偏心轮和伸缩杆之间，所述伸缩杆安装在所述椭圆滑板的长轴端部。
[0009]进一步地，所述架体组件包括隔板、导轨、导杆支架和支撑整个架体组件的主体，所述隔板设有通孔，供所述传动轴穿过，所述导杆支架交叉连接所述伸缩杆，所述导轨的数量为多个，分布在所述伸缩杆的两侧，供所述导杆支架移动。
[0010]进一步地，所述电镀件装夹组件包括锁扣和压针压片组件，所述伸缩杆通过锁扣固定所述压针压片组件。
[0011]进一步地，所述压针压片组件包括支架板和压针，所述支架板包括直柄部和装载部，所述压针固定在装载部，用于固定待电镀件，所述直柄部设有用于连接锁扣的固定孔。
[0012]进一步地，所述装载部还设有台阶槽，所述待电镀件安装在该台阶槽内。
[0013]进一步地，所述待电镀件为LiNbO3晶圆。
[0014]本专利技术还提供一种采用如上所述的一种阴极电镀移动装置的Y波导集成光学器件用晶圆电镀制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
[0015]晶圆镀膜步骤：获取待电镀晶圆，在该待电镀晶圆的表面蒸镀一层金属薄膜；
[0016]晶圆光刻步骤：将镀膜后的晶圆表面匀胶，再烘烤固化，把涂胶好的晶圆用掩膜版通过光刻机曝光，并进行显影出图形，检查图形的完整性；
[0017]晶圆装夹步骤：将经过所述晶圆光刻步骤且图形完整性满足标准的晶圆装夹到电镀件装夹组件中，进行导通性检测，调整装夹位置；
[0018]晶圆电镀步骤：对装夹好的晶圆预处理，启动阴极电镀移动装置在电镀槽内进行电镀制作，最后对电镀后的晶圆进行腐蚀后处理。
[0019]进一步地，所述晶圆为LiNbO3晶圆。
[0020]进一步地，所述固定电机的电机转速在0
‑
120转/分范围以内，所述伸缩杆的伸距离在0
‑
200毫米范围以内。
[0021]与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
[0022](1)本专利技术阴极电镀移动装置通过伸缩杆带动电镀件装夹组件实现前后移动，只需将电镀件装夹组件放入电镀槽内即可，对原有的电镀槽改动小；对于驱动伸缩杆的伸缩，本专利技术为避免直接采用伸缩电机成本高、安装不便的缺陷，提出通过固定电机的传动轴带动偏心轮旋转，伸缩杆在偏心轮的驱动下做椭圆形移动，伸缩杆可调整至近似为前后移动的方案；该方案结构稳定性高，拆装方便。
[0023](2)偏心轮的设置，使得伸缩杆的一端作椭圆形移动，本专利技术进一步设置椭圆滑板，将伸缩杆安装在椭圆滑板的长轴端部，能使伸缩杆一端移动的椭圆形轨迹更接近偏平形状，使得伸缩杆的移动近似为前后伸缩移动，实现带动电镀件装夹组件前后移动的目的。
[0024](3)使用本专利技术的方法进行LiNbO3晶圆电镀制作，LiNbO3晶圆在阴极移动装置的作用下前后移动作周期性机械运动，对LiNbO3晶圆表面电极通过压针传导电流进行电镀，使LiNbO3晶圆电镀电极附着力强；电极图形边缘平整、无锯齿；电镀表面致密、光滑，金丝可焊性好，改善多项电参数指标，提高工艺的一致性。
附图说明
[0025]图1为本专利技术实施例中提供的一种Y波导集成光学器件用晶圆电镀制作方法的流程示意图；
[0026]图2为本专利技术实施例中提供的一种阴极电镀移动装置的结构示意图；
[0027]图3为本专利技术实施例中提供的一种电镀件装夹组件的结构示意图；
[0028]图4为本专利技术实施例中提供的LiNbO3晶圆电镀电极表面图；
[0029]图中，1、主体，2、固定电机，3、传动轴，4、隔板，5、偏心轮，6、椭圆滑板，7、伸缩杆，8、导杆支架，9、导轨，10、锁扣，11、支架板，12、压针，13、LiNbO3晶圆，14、电镀电极表面。
具体实施方式
[0030]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例
中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0031]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0032]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0033]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种阴极电镀移动装置，其特征在于，包括固定电机(2)、传动轴(3)、偏心轮(5)、伸缩杆(7)、电镀件装夹组件和支撑整个装置的架体组件，所述固定电机(2)、传动轴(3)和偏心轮(5)依次连接，偏心轮(5)在固定电机(2)的驱动下旋转；所述伸缩杆(7)的一端连接在所述偏心轮(5)的端部外环上，另一端连接所述电镀件装夹组件，在所述偏心轮(5)旋转过程中，伸缩杆(7)的一端随着偏心轮(5)作椭圆形移动，另一端带动所述电镀件装夹组件前后移动，所述电镀件装夹组件用于装夹电镀阴极组件。2.根据权利要求1所述的一种阴极电镀移动装置，其特征在于，所述阴极电镀移动装置还包括椭圆滑板(6)，该椭圆滑板(6)设置在所述偏心轮(5)和伸缩杆(7)之间，所述伸缩杆(7)安装在所述椭圆滑板(6)的长轴端部。3.根据权利要求1所述的一种阴极电镀移动装置，其特征在于，所述架体组件包括隔板(4)、导轨(9)、导杆支架(8)和支撑整个架体组件的主体(1)，所述隔板(4)设有通孔，供所述传动轴(3)穿过，所述导杆支架(8)交叉连接所述伸缩杆(7)，所述导轨(9)的数量为多个，分布在所述伸缩杆(7)的两侧，供所述导杆支架(8)移动。4.根据权利要求1所述的一种阴极电镀移动装置，其特征在于，所述电镀件装夹组件包括锁扣(10)和压针压片组件，所述伸缩杆(7)通过锁扣(10)固定所述压针压片组件。5.根据权利要求4所述的一种阴极电镀移动装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李俊伟，刘永勇，
申请(专利权)人：上海傲世控制科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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