一种气体质量流量控制器压嘴超镜面工装及加工方法技术

本申请涉及精密机械加工技术领域，具体而言，涉及一种气体质量流量控制器压嘴超镜面工装及加工方法，所述工装包括研磨抛光盘、研磨抛光挡板以及预紧螺母，其中：研磨抛光盘表面上设置有压嘴孔和磁铁孔；压嘴孔用于放置待加工压嘴和预紧螺母，磁铁孔用于放置磁铁柱；研磨抛光挡板通过磁铁柱吸附在研磨抛光盘的底面；研磨抛光挡板上设置有与压嘴孔对应的通孔。本申请采用结构独特的多孔压嘴超镜面工装进行气体质量流量控制器压嘴的镜面加工，对压嘴的边缘、研磨的压力以及压嘴的垂直度进行控制，能够解决传统的机械研磨抛光设备进行压嘴镜面加工时，压嘴边缘塌陷或磨成斜面导致的阀口漏气的问题。口漏气的问题。口漏气的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种气体质量流量控制器压嘴超镜面工装及加工方法


[0001]本申请涉及精密机械加工
，具体而言，涉及一种气体质量流量控制器压嘴超镜面工装及加工方法。

技术介绍

[0002]气体质量流量控制器广泛地应用于航空航天、半导体、仪器仪表、材料制备、生物医药等领域，是一种重要的气体质量流量测量和控制的仪器。在半导体等特殊领域，大量使用高端全金属动密封型流量控制器，“压嘴”是高端全金属动密封气体质量流量控制器的一个重要组件，金属动密封型电磁比例阀靠喷嘴与压嘴之间的开启距离来调节流量，喷嘴与压嘴之间的间距越大，流过气体质量流量控制器的流量就越大。当驱动信号为零时，压嘴靠平面弹簧向下的弹力，被紧紧地贴在了喷嘴上，此时，理论上，流过流量调节阀的流量为零。
[0003]但是，在实际气体质量流量控制器产品的生产中，由于要将压嘴加工成表面粗糙度在Ra0.008左右的超镜面，且要保证压嘴镜面的平面度和压嘴与衔铁柱之间的垂直度。传统的机械研磨抛光方法很难将压嘴和喷嘴加工得满足金属密封要求，即：压嘴的镜面存在塌陷或斜面时，会导致气体质量流量控制器关闭时，流过的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体质量流量控制器压嘴超镜面工装，其特征在于，包括研磨抛光盘、研磨抛光挡板以及预紧螺母，其中：所述研磨抛光盘表面上设置有压嘴孔和磁铁孔；所述压嘴孔用于放置待加工压嘴和所述预紧螺母，所述磁铁孔用于放置磁铁柱；所述研磨抛光挡板通过所述磁铁柱吸附在所述研磨抛光盘的底面；所述研磨抛光挡板上设置有与所述压嘴孔对应的通孔。2.根据权利要求1所述的气体质量流量控制器压嘴超镜面工装，其特征在于，所述压嘴孔为与所述研磨抛光盘的底面垂直的通孔，所述磁铁孔为与所述研磨抛光盘的底面垂直的盲孔。3.根据权利要求2所述的气体质量流量控制器压嘴超镜面工装，其特征在于，所述压嘴孔的直径大于待加工压嘴的直径。4.根据权利要求1所述的气体质量流量控制器压嘴超镜面工装，其特征在于，所述研磨抛光挡板的材料为导磁性材料，厚度小于待加工压嘴的高度。5.一种利用权利要求1
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4任一项所述的气体质量流量控制器压嘴超镜面工装的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将研磨抛光挡板贴在研磨抛光盘的底面上，将磁铁柱放入研磨抛光盘表面的磁铁孔内，使研磨抛光挡板吸附在研磨抛光盘的底面上；步骤2：将待加工压嘴放入研磨抛光盘表面的压嘴孔内；步骤3：将预紧螺母放入研磨抛光盘表面的压嘴孔内，使预紧螺母与待加工压嘴接触，调节预...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡向宇，王鹏，王钦惠，杨乐凯，张剑锋，王鹢，雷军刚，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：