一种磁悬浮转子真空计校准装置及方法制造方法及图纸

本申请涉及真空计校准技术领域，具体而言，涉及一种磁悬浮转子真空计校准装置及方法，所述装置包括校准室、前级压力室、真空泵组以及气瓶，其中：校准室上设置有参考标准真空计和待校准磁悬浮转子真空计；前级压力室上设置有前级标准真空计；气瓶与前级压力室连接，前级压力室与校准室连接；真空泵组分别与前级压力室和校准室连接。本申请以切向动量传递系数的压力相关特性表征磁悬浮转子真空计校准结果，通过3个压力点即可实现全量程的校准，并有效解决了现有校准装置无法反应压力相关特性、校准效率低、校准结果缺乏可实操性的问题。校准结果缺乏可实操性的问题。校准结果缺乏可实操性的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种磁悬浮转子真空计校准装置及方法


[0001]本申请涉及真空计校准
，具体而言，涉及一种磁悬浮转子真空计校准装置及方法。

技术介绍

[0002]技术规范“JJF1962
‑
2022磁悬浮转子真空计校准规范”，介绍了1
×
10
‑4Pa
‑
1Pa范围对磁悬浮转子真空计进行校准的方法，采用静态膨胀法真空标准装置在校准范围内至少建立6个压力校准点(且每个数量级内校准点不少于2个)，将被校磁悬浮转子真空计示值与标准压力依次由低至高逐次记录，最准获得被校磁悬浮转子真空计的适应系数。
[0003]采用该方法的优点在于逐一获得每一校准点所对应的适应系数。由磁悬浮转子真空计测量原理及其计量特性研究结果可知，在压力升高至10
‑2Pa量级及以上时，其适应系数偏离恒定，表现为随压力升高而减小的特性，故上述计量规范中以单点给出校准结果，不能有效反应其压力相关特性，此外，以上述方法校准为例，覆盖1
×
10
‑4Pa
‑
1Pa范围所需校准时间至少需1小时，时间及校准经济成本较高。

技术实现思路

[0004]本申请提供了一种磁悬浮转子真空计校准装置及方法，解决了现有磁悬浮转子真空计校准方法仅能获得相应校准点适应系数、无法反应压力相关特性、校准效率低、校准结果缺乏可实操性等问题。
[0005]为了实现上述目的，本申请提供了一种磁悬浮转子真空计校准装置，包括校准室、前级压力室、真空泵组以及气瓶，其中：校准室上设置有参考标准真空计和待校准磁悬浮转子真空计；前级压力室上设置有前级标准真空计；气瓶与前级压力室连接，前级压力室与校准室连接；真空泵组分别与前级压力室和校准室连接。
[0006]进一步的，气瓶与前级压力室之间的管道上设置有第一真空阀和针阀。
[0007]进一步的，前级压力室与校准室之间的管道上设置有第二真空阀。
[0008]进一步的，真空泵组与前级压力室之间的管道上设置有第三真空阀，与校准室之间的管道上设置有第四真空阀。
[0009]此外，本申请还提供了一种应用磁悬浮转子真空计校准装置的方法，包括如下步骤：步骤1：将待校准磁悬浮转子真空计与校准室连接；步骤2：打开真空泵组、第三真空阀以及第四真空阀，对前级压力室和校准室进行抽气；步骤3：前级压力室内压力低于前级标准真空计，校准室内压力低于参考标准真空计以及被校真空计测量上限时，通电开启各个真空计；步骤4：连续进行烘烤、抽气，使前级压力室和校准室至极限真空度；步骤5：对待校准磁悬浮转子真空计按使用要求进行预热，稳定后，关闭第三真空阀和第四真空阀；步骤6：打开第一真空阀和针阀，通过气瓶向前级压力室充入校准气体，根据真空计所需校准压力范围调节进气压力，并记录此时前级标准真空计的示值；步骤7：打开第二真空阀，气体由前级压力室中膨胀至校准室，稳定1min后，对待校准磁悬浮转子真空计的示值进行测量；步骤8：
计算校准室内的标准压力值；步骤9：在8
×
10
‑2Pa
‑
1 Pa范围内，选取校准压力点；步骤10：计算得到校准压力点的切向动量传递系数；步骤11：通过外推法至零点压力，计算与压力无关的切向动量传递系数；步骤12：根据切向动量传递系数确定斜率，根据斜率确定修正系数；步骤13：根据修正系数对待校准磁悬浮转子真空计的示值进行校准修正。
[0010]进一步的，步骤7中，对待校准磁悬浮转子真空计的示值进行测量时，需要重复进行测量，测量次数≥5次，每次测量时间间隔≤10s。
[0011]进一步的，步骤8中，校准室内的标准压力值可以通过参考标准真空计获得。
[0012]进一步的，步骤9中，选取校准压力点时，校准压力点的个数≥3个，并且校准压力点中最高压力和最低压力之比≥10。
[0013]本专利技术提供的一种磁悬浮转子真空计校准装置及方法，具有以下有益效果：
[0014]本申请以切向动量传递系数的压力相关特性表征磁悬浮转子真空计校准结果，通过3个压力点即可实现全量程的校准，并有效解决了现有校准装置无法反应压力相关特性、校准效率低、校准结果缺乏可实操性的问题。
附图说明
[0015]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0016]图1是根据本申请实施例提供的磁悬浮转子真空计校准装置的结构示意图；
[0017]图中：1
‑
前级标准真空计、2
‑
前级压力室、3
‑
第二真空阀、4
‑
参考标准真空计、5
‑
待校准磁悬浮转子真空计、6
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校准室、7
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第四真空阀、8
‑
真空泵组、9
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第三真空阀、10
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针阀、11
‑
第一真空阀、12
‑
气瓶。
具体实施方式
[0018]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0019]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0020]在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
[0021]并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。
[0022]另外，术语“多个”的含义应为两个以及两个以上。
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮转子真空计校准装置，其特征在于，包括校准室、前级压力室、真空泵组以及气瓶，其中：所述校准室上设置有参考标准真空计和待校准磁悬浮转子真空计；所述前级压力室上设置有前级标准真空计；所述气瓶与所述前级压力室连接，所述前级压力室与所述校准室连接；所述真空泵组分别与所述前级压力室和所述校准室连接。2.根据权利要求1所述的磁悬浮转子真空计校准装置，其特征在于，所述气瓶与所述前级压力室之间的管道上设置有第一真空阀和针阀。3.根据权利要求1所述的磁悬浮转子真空计校准装置，其特征在于，所述前级压力室与所述校准室之间的管道上设置有第二真空阀。4.根据权利要求1所述的磁悬浮转子真空计校准装置，其特征在于，所述真空泵组与所述前级压力室之间的管道上设置有第三真空阀，与所述校准室之间的管道上设置有第四真空阀。5.一种应用权利要求1
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4任一项所述的磁悬浮转子真空计校准装置的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将待校准磁悬浮转子真空计与校准室连接；步骤2：打开真空泵组、第三真空阀以及第四真空阀，对前级压力室和校准室进行抽气；步骤3：前级压力室内压力低于前级标准真空计，校准室内压力低于参考标准真空计以及被校真空计测量上限时，通电开启各个真空计；步骤4：连续进行烘烤、抽气，使前级压力室和校准室至极限真空度；步骤5：对待校准磁悬浮转子真空计按使用要求进行预热，稳定后，...

【专利技术属性】
技术研发人员：习振华，郭美如，李博文，成永军，赵蕾，贾文杰，任正宜，张虎忠，李刚，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：