复眼透镜、具备其的光照射装置以及复眼透镜的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种与以往相比容易进行使宽曝光区域的照度均匀地一致的调整的复眼透镜。通过在第一方向上排列多个透镜区段(20)来构成复眼透镜(10)。通过在与第一方向正交的第二方向上分别排列多个透镜(24)来构成各透镜区段(20)。各透镜区段(20)的表面和背面具有相互不同的光学特性，由透镜区段(20)的表面构成复眼透镜(10)的表面的一部分，由透镜区段(20)的背面构成剩余部分。背面构成剩余部分。背面构成剩余部分。

【技术实现步骤摘要】
复眼透镜、具备其的光照射装置以及复眼透镜的制造方法


[0001]本专利技术涉及使光照射区域中的照度分布均匀的复眼透镜、具备其的光照射装置以及复眼透镜的制造方法。

技术介绍

[0002]作为曝光装置等的光源而使用光照射装置。例如，如图8所示，该光照射装置由灯1、反射镜2、闸板3、复眼透镜4以及准直镜5构成。
[0003]从灯1放射的光被反射镜2反射而改变方向，通过闸板3入射到复眼透镜4。
[0004]复眼透镜4具有使入射的光在曝光面6上的照度分布均匀的作用。
[0005]从复眼透镜4射出的光通过由准直镜5反射而成为平行光，照射到曝光面6。
[0006]专利文献1中公开的复眼透镜由矩形状的透镜在一个方向上对接并相互熔接而成的长条状的多个透镜区段构成，通过将该透镜区段在与一个方向正交的方向上排列而形成。
[0007]由此，在各个透镜区段中相互相邻的透镜与透镜的连接面上难以产生间隙，并且即使在1个透镜上产生污垢或损伤，也能够容易地更换包含该透镜的透镜单元。现有技术文献专利文献
[0008]专利文献1：日本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复眼透镜，其通过在第一方向上排列多个透镜区段而构成，各所述透镜区段通过在与所述第一方向正交的第二方向上分别排列多个透镜而构成，各所述透镜区段的表面和背面具有相互不同的光学特性，所述复眼透镜的表面的一部分由所述透镜区段的所述表面构成，剩余部分由所述透镜区段的所述背面构成。2.一种光照射装置，其包括权利要求1所述的复眼透镜。3.一种复眼透镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：胜田哲也，渡边加名，谷田敏昭，
申请(专利权)人：凤凰电机公司，
类型：发明
国别省市：