本实用新型专利技术涉及一种用于晶圆切割环的传送装置，包括第一传送组件、第二传送组件、移动组件、支架、滑轨和驱动组件，所述第一传送组件和第二传送组件设置在支架两侧，支架设置在滑轨上方，第一传送组件和第二传送组件的滑轮设置在滑轨上，第一传送组件和第二传送组件上套设有传送带，所述移动组件设置在第一、第二传送组件之间且位于传送带下方，移动组件分别与第一传送组件和第二传送组件连接，所述驱动组件设置在支架上，驱动组件与移动组件连接，带动移动组件沿支架升降。本实用新型专利技术能够通过移动组件升降带动第一、第二传送组件立起或放平，避免第一、第二传送组件影响厂区通行，缩小传送装置的占地面积，操作便利性较好。操作便利性较好。操作便利性较好。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆切割环的传送装置
[0001]本技术涉及晶圆切割环加工设备
，特别涉及一种用于晶圆切割环的传送装置。
技术介绍
[0002]晶圆切割环在加工过程中需要通过传送装置进行输送，在不同加工工位之间转换。现有的传送装置通常采用皮带输送，晶圆切割环放置在输送带上输送。但是，当传送装置不使用时，其需要占用相当面积，若厂房面积较小时，对加工区域的人员通行，货物搬运等行动会造成阻碍。现有技术中提出了采用折叠的方式减小体积，例如公告号为CN109928148A的专利公开了一种可折叠输送机，但其需要人工进行操作折叠，且需要分别将支撑杆等部件进行折叠，操作便利性较差。
技术实现思路
[0003]本技术为了解决现有技术的问题，提供了一种能够快速折叠或展开，方便操作，有效降低占地面积的用于晶圆切割环的传送装置。
[0004]具体技术方案如下：一种用于晶圆切割环的传送装置，包括第一传送组件、第二传送组件、移动组件、支架、滑轨和驱动组件，所述第一传送组件和第二传送组件设置在支架两侧，支架设置在滑轨上方，第一传送组件和第二传送组件的滑轮设置在滑轨上，第一传送组件和第二传送组件上套设有传送带，所述移动组件设置在第一、第二传送组件之间且位于传送带下方，移动组件分别与第一传送组件和第二传送组件连接，所述驱动组件设置在支架上，驱动组件与移动组件连接，带动移动组件沿支架升降。
[0005]作为优选方案，所述滑轨设有弧形段，弧形段位于支架位置。
[0006]作为优选方案，所述弧形段包括第一弧形段和第二弧形段，第一、第二弧形段对称设置。
[0007]作为优选方案，所述移动组件包括滚筒和安装架，滚筒设置在安装架上。
[0008]作为优选方案，所述驱动组件包括驱动电机和链条传动组件，驱动电机通过链条传动组件与安装架连接。
[0009]作为优选方案，所述第一传送组件设有卡接臂，第二传送组件设有接头，卡接臂与接头连接。
[0010]作为优选方案，所述支架设有加强杆，加强杆倾斜设置。
[0011]作为优选方案，所述支架与滑轨之间设有横向连杆。
[0012]本技术的技术效果：本技术的一种用于晶圆切割环的传送装置能够通过移动组件升降带动第一、第二传送组件立起或放平，避免第一、第二传送组件影响厂区通行，缩小传送装置的占地面积，操作便利性较好。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本技术实施例的一种用于晶圆切割环的传送装置的示意图。
[0015]图2是本技术实施例的移动组件的示意图。
[0016]图3是本技术实施例的用于晶圆切割环的传送装置收纳状态时的示意图。
[0017]图4是本技术实施例的支架的示意图。
[0018]图5是本技术实施例的第一传送组件的局部示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。
[0023]如图1至图5所示，本实施例的一种用于晶圆切割环的传送装置，包括第一传送组件1、第二传送组件2、移动组件3、支架4、滑轨5和驱动组件6，所述第一传送组件1和第二传送组件2设置在支架4两侧，第一、第二传送组件用于输送晶圆切割环。支架4设置在滑轨5上方，第一传送组件1和第二传送组件2的滑轮7设置在滑轨5上，从而使第一、第二传送组件能够相对滑轨5滑动。第一传送组件1和第二传送组件2上套设有传送带8，所述移动组件3设置在第一、第二传送组件之间且位于传送带8下方。移动组件3分别与第一传送组件1和第二传送组件2连接，所述驱动组件6设置在支架4上，驱动组件6与移动组件3连接，带动移动组件3沿支架4升降。上述技术方案中，当传送装置在使用状态时，如图1所示，第一、第二传送组件带动传送带8运动，第一、第二传送组件可采用柱形滚轮带动传送带，其为本领域常规技术手段。当传送装置不使用时，通过驱动组件6带动移动组件3上升，移动组件3拉动输送带8，通过输送带8带动第一、第二组件分别向支架4方向靠拢，并立起，从而能够避免第一、第二
传送组件影响厂区通行，缩小传送装置的占地面积。
[0024]本实施例中，所述滑轨5设有弧形段51，弧形段51位于支架4位置，从而当第一、第二传送组件向支架4方向靠拢时，滑轮7能够通过弧形段51向上运动，使得第一、第二传送组件能够立起来。所述弧形段51包括第一弧形段511和第二弧形段512，第一、第二弧形段对称设置，从而第一、第二传送组件能够分别通过第一、第二弧形段立起来。
[0025]本实施例中，所述移动组件3包括滚筒31和安装架32，滚筒31设置在安装架32上，从而使滚筒31能够相对安装架32滚动。所述安装架32与第一、第二传送组件的连接部10连接，从而使移动组件3能够带动第一、第二传送组件，第一传送组件和第二传送组件可采用相同结构。所述驱动组件6包括驱动电机61和链条传动组件62，驱动电机61通过链条传动组件62与安装架32连接，从而通过驱动电机61提供动力，链条传动组件62带动安装架32升降。链条传动组件62可采用现有的链条升降机构，采用链条621套设在链盘622上，通过链盘622驱动链条滑动。所述第一传送组件1设有卡接臂11，第二传送组件2设有接头21，卡接臂11与接头21连接，从而能够避免第一、第二传送本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆切割环的传送装置，其特征在于，包括第一传送组件、第二传送组件、移动组件、支架、滑轨和驱动组件，所述第一传送组件和第二传送组件设置在支架两侧，支架设置在滑轨上方，第一传送组件和第二传送组件的滑轮设置在滑轨上，第一传送组件和第二传送组件上套设有传送带，所述移动组件设置在第一、第二传送组件之间且位于传送带下方，移动组件分别与第一传送组件和第二传送组件连接，所述驱动组件设置在支架上，驱动组件与移动组件连接，带动移动组件沿支架升降。2.根据权利要求1所述的用于晶圆切割环的传送装置，其特征在于，所述滑轨设有弧形段，弧形段位于支架位置。3.根据权利要求2所述的用于晶圆切割环的传送装置，其特征在于，所述弧形段包括第一弧形...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋松杰，
申请(专利权)人：苏州恩斯贝格精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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