一种光罩版治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种光罩版治具，包括架体、固定组件、对位组件，架体包括固定部，及位于固定部外侧的吸附部，固定部上开设有与光罩版对应设置的透光孔，固定组件包括设于固定部上的若干个夹持块，夹持块与固定部之间设有弹性件。通过设置架体，架体上设有用于固定光罩版的固定组件，架体包括固定部，及位于固定部外侧的吸附部，固定部上设有与光罩版对应设置的透光孔，上述透光孔便于曝光工艺中的光线照射，通过设置于机台上的真空负压机构对架体的吸附部进行固定，实现整个治具相对机台的快速拆卸，相当于将光罩版的拆装作业从机台内部转移到架体上，便于拆装作业，减少划伤风险。减少划伤风险。减少划伤风险。

【技术实现步骤摘要】
一种光罩版治具


[0001]本技术涉及半导体加工
，特别涉及一种光罩版治具。

技术介绍

[0002]半导体生产中包括曝光工艺，通过将光罩版的图形投影到芯片上得到需求图形，光罩版是玻璃材质，洁净度要求高，且易污染，需要频繁清洗光罩版。
[0003]现有技术中，通常光罩版加载装置位于机台内部，拆装不方便，耗费大量人力及时间，同时拆装空间有限，在拆装光罩版时易划伤光罩版，造成产品良率损失。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种光罩版治具，旨在解决现有技术中，光罩版拆装不便，易造成划伤的技术问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术是通过如下技术方案来实现的：一种光罩版治具，包括架体、固定组件、对位组件，所述架体包括固定部，及位于所述固定部外侧的吸附部，所述固定部上开设有与光罩版对应设置的透光孔，所述固定组件包括设于所述固定部上的若干个夹持块，所述夹持块与所述固定部之间设有弹性件，所述对位组件包括设于所述固定部上的若干个限位块，若干个所述限位块与所述光罩版的相邻两个侧边对应设置。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩版治具，其特征在于，包括：架体，所述架体包括固定部，及位于所述固定部外侧的吸附部，所述固定部上开设有与光罩版对应设置的透光孔；固定组件，所述固定组件包括设于所述固定部上的若干个夹持块，所述夹持块与所述固定部之间设有弹性件；对位组件，所述对位组件包括设于所述固定部上的若干个限位块，若干个所述限位块与所述光罩版的相邻两个侧边对应设置。2.根据权利要求1所述的光罩版治具，其特征在于，所述架体还包括由所述吸附部的外壁一侧向外延伸形成的对位部，所述对位部包括垂直所述吸附部设置的第一延伸部，及垂直所述第一延伸部设置的第二延伸部。3.根据权利要求2所述的光罩版治具，其特征在于，所述第二延伸部上设有对位柱，所述对位柱与所述第一延伸部对应设置。4.根据权利要求3所述的光罩版治具，其特征在于，所述对位柱包括柱体部及设...

【专利技术属性】
技术研发人员：段良勇，刘剑荣，段良飞，董国庆，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：