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一种光罩版治具制造技术
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下载一种光罩版治具的技术资料
文档序号:37015271
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本实用新型提供一种光罩版治具,包括架体、固定组件、对位组件,架体包括固定部,及位于固定部外侧的吸附部,固定部上开设有与光罩版对应设置的透光孔,固定组件包括设于固定部上的若干个夹持块,夹持块与固定部之间设有弹性件。通过设置架体,架体上设有用于...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。
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