制造设备制造技术

一种制造设备，包括： 装载室； 耦合到装载室的传送室； 耦合到传送室的多个膜形成室； 耦合到传送室的处理室； 其中多个膜形成室的每个耦合到真空排气处理室，用于使膜形成室内部形成真空； 其中多个膜形成室的每个包括： 用于进行掩模和衬底的位置对准的对准装置； 衬底固定装置； 蒸发源固定器；和 用于移动蒸发源固定器的装置； 其中蒸发源固定器包括： 密封蒸发材料的容器； 用于加热该容器的装置；和 形成在该容器上的挡板； 其中每个处理室耦合到真空排气处理室，用于提供真空状态； 其中多个片式加热器设置在处理室中，以便叠加和打开其间的缝隙；和 其中处理室可以在多个衬底上进行真空加热。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种设有用于淀积可通过蒸发进行淀积的材料(以下称为蒸发材料)的淀积装置的制造设备、以及利用该制造设备执行的发光器件的制造方法，该发光器件具有含有机化合物的层作为发光层。具体地说，本专利技术涉及一种真空蒸发方法和真空蒸发设备，通过从面向衬底设置的多个蒸发源蒸发蒸发材料而进行淀积。
技术介绍
近年来，已经对具有EL元件作为自发光元件的发光器件进行了研究。发光器件一般称为EL显示器或发光二极管(LED)。由于这些发光器件具有如适于移动显示的快响应速度、低压、低功耗驱动等特性，因此包括新一代移动电话和便携式信息终端(PDA)的下一代显示器吸引了人们的注意力。具有含有机化合物的层作为发光层的EL元件具有如下结构含有机化合物的层(以下称为EL层)夹在阳极和阴极之间。通过给阳极和阴极施加电场在EL层中产生电致发光。从EL元件获得的光包括从单态激发返回到基态时发射的光(荧光)和在从三态激发返回到基态时发射的光(磷光)。上述EL层具有以“空穴输送层、发光层、电子输送层”为代表的叠层结构。用于形成EL层的EL材料广义地说分为低分子(单聚物)材料和高分子(多聚物)材料。低分子材料采用蒸发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎舜平，村上雅一，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：