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一种制造设备，包括： 装载室； 耦合到装载室的传送室； 耦合到传送室的多个膜形成室； 耦合到传送室的处理室； 其中多个膜形成室的每个耦合到真空排气处理室，用于使膜形成室内部形成真空； 其中多个膜形成室的每...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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