一种用于单晶热场对中的炉底固毡制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于单晶热场对中的炉底固毡，设置于单晶炉的炉底上，主要包括固毡本体，固毡本体上表面设有固定凹槽，固毡本体上还设有穿透固毡本体的排气孔、电极通孔及托杆通孔，固毡本体的四周均有定位块，其中：固毡本体为圆盘形结构，固毡本体位于单晶炉中护底压板的下端；固定凹槽在固毡本体上围成一个圆形结构；托杆通孔设置于固毡本体的中心，排气孔对称设置于托杆通孔的两侧，电极通孔均布与托杆通孔的四周，排气孔、电极通孔及托杆通孔均位于固毡本体上的固定凹槽内；定位块均布在固毡本体的圆周方向上，固毡本体通过定位块卡合在单晶炉炉底上该固毡结构简单，使用方便，有效解决热场装偏问题，提高热场安装效率，减少返工。减少返工。减少返工。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶热场对中的炉底固毡


[0001]本技术涉及一种固毡，具体涉及一种用于单晶热场对中的炉底固毡。

技术介绍

[0002]近年来，单晶硅片产量明显稳步增长，增长的原因是一方面来自国际上对低档和廉价硅材料需求的增加；另一方面是近年来装备制造发展迅速，各类信息家电和通信产品需求旺盛，因此半导体器件和硅材料的市场需求量都很大，单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料，随着单晶硅片需求量的快速增加，单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势。
[0003]在单晶硅棒制造过程中单晶炉是其主要设备，单晶硅棒直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响，其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶硅棒拉出后通过检测才能获知，温度分布合适的热场，不仅单晶硅棒生长顺利，而且品质较高。
[0004]目前单晶炉热场在对中安装时不好定位，容易装偏，有些在安装单晶炉热场中的下保温筒时，根据单晶炉中的护底压板去对中定位，但是由于护底压板有一定的活动空间，故经常会导致热场装偏，污染石英本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶热场对中的炉底固毡，设置于单晶炉的炉底上，其特征在于：主要包括固毡本体（1），所述固毡本体（1）上表面设有固定凹槽（2），所述固毡本体（1）上还设有穿透固毡本体（1）的排气孔（3）、电极通孔（4）及托杆通孔（5），所述固毡本体（1）的四周均有定位块（6），其中：所述固毡本体（1）为圆盘形结构，所述固毡本体（1）位于单晶炉中护底压板的下端；所述固定凹槽（2）在固毡本体（1）上围成一个圆形结构；所述托杆通孔（5）设置于所述固毡本体（1）的中心，所述排气孔（3）对称设置于所述托杆通孔（5）的两侧，所述电极通孔（4）均布与所述托杆通孔（5）的四周，所述排气孔（3）、电极通孔（4）及托杆通孔（5...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴婷，王军磊，王艺澄，
申请(专利权)人：包头美科硅能源有限公司，
类型：新型
国别省市：