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一种用于单晶热场对中的炉底固毡制造技术
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下载一种用于单晶热场对中的炉底固毡的技术资料
文档序号:36974452
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本实用新型涉及一种用于单晶热场对中的炉底固毡,设置于单晶炉的炉底上,主要包括固毡本体,固毡本体上表面设有固定凹槽,固毡本体上还设有穿透固毡本体的排气孔、电极通孔及托杆通孔,固毡本体的四周均有定位块,其中:固毡本体为圆盘形结构,固毡本体位于单...
该专利属于包头美科硅能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头美科硅能源有限公司授权不得商用。
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