一种晶圆的悬吊搬运机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆的悬吊搬运机构，包括安装在底板上的横向位移机构，横向位移机构上通过横向滑块连接有竖向位移机构，竖向位移机构上通过竖向滑块连接有直角连接轴，直角连接轴的一端固定连接有距离调节机构，距离调节机构上连接有延伸板，延伸板的一端固定连接有夹持机构。本实用新型专利技术通过夹持机构对晶圆进行夹持搬运，将晶圆夹起来通过横向位移机构和竖向位移机构进行不同工位的搬运，只要通过距离调节机构带动左夹持机构和右夹持机构进行左右距离的调节，将晶圆通过夹持柱底部的倒T形结构带起晶圆，保证不碰到晶圆的面上，只通过接触晶圆的圆周对晶圆进行搬运，大大减少了晶圆在搬运过程中，晶圆的面被碰到所产生的对晶圆的污染。对晶圆的污染。对晶圆的污染。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆的悬吊搬运机构


[0001]本技术涉及半导体加工
，特别是一种晶圆的悬吊搬运机构。

技术介绍

[0002]在半导体行业生产中，晶圆在制程中采用不同的生产工艺，而不同生产工艺的生产设备所使用的晶圆载盘不同，因此在整个制程中需要频繁地把晶圆在不同载盘之间周转。例如在PVD(物理气相沉积)和MOCVD(金属有机物化学气相沉淀)两个生产工艺之间，就需要将晶圆从半导体外延段原料仓搬运到PVD腔室，以及将晶圆从PVD腔室搬运到MOCVD腔室。如果不能对晶圆搬运进行合理调度，容易造成时间浪费以及制造效率低下的问题。
[0003]此外，晶圆分为正面和反面，晶圆正面要求不能接触，目前的生产模式是作业员手持吸笔将上个生产工艺完成的载盘中的晶圆的背面放置到下个制程的载盘中，作业强度大且效率非常低下。在放置晶圆时，由于晶圆在圆周方向有个平边，对于不同载具放片时平边的放置方向有要求，导致目前人工放片时效率低下。进一步的，人工周转晶圆仍然会带来晶圆微粒污染风险。
[0004]因此，需要提供一种高效、低污染风险的晶圆搬运装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决上述问题，设计了一种晶圆的悬吊搬运机构。
[0006]实现上述目的本技术的技术方案为，一种晶圆的悬吊搬运机构，包括安装在底板上的横向位移机构，所述横向位移机构上通过横向滑块连接有竖向位移机构，所述竖向位移机构上通过竖向滑块连接有直角连接轴，所述直角连接轴的一端固定连接有距离调节机构，所述距离调节机构上连接有延伸板，所述延伸板的一端固定连接有夹持机构。
[0007]作为对本技术的进一步说明，所述夹持机构包括左夹持机构和右夹持机构，所述左夹持机构和右夹持机构呈对称式分布，所述左夹持机构包括固定安装在左侧延伸板下端的夹持固定盘，所述夹持固定盘呈扇形。
[0008]作为对本技术的进一步说明，所述夹持固定盘的圆周位置固定安装有若干外夹持柱，所述外夹持柱均匀排列，所述外夹持柱的截面呈阶梯状，所述外夹持柱的底部呈倒T形，所述夹持固定盘上还固定安装有若干内夹持柱。
[0009]作为对本技术的进一步说明，所述内夹持柱均匀排列，所述内夹持柱设置于所述外夹持柱的圆心的一侧，所述内夹持柱与所述外夹持柱的外观相同，且所述内夹持柱的长度比所述外夹持柱的长度短。
[0010]作为对本技术的进一步说明，距离调节机构包括外壳，所述外壳内部固定安装有距离调节气缸，所述距离调节气缸上设置有距离调节滑轨，所述距离调节滑轨上通过左气爪和右气爪连接有左延伸板和右延伸板。
[0011]作为对本技术的进一步说明，所述竖向位移机构包括竖向定位板，所述竖向定位板上固定安装有竖向滑轨和竖向拖链，所述竖向拖链设置于所述竖向滑轨的一侧，所
述竖向滑轨的上端固定安装有安装件，所述竖向滑轨的相邻位置设置有竖向驱动电机，所述竖向驱动电机固定安装在安装件上。
[0012]作为对本技术的进一步说明，所述横向位移机构包括横向滑轨，所述横向滑轨上设置有横向滑块，所述横向滑块的一侧固定安装有安装板，所述安装板上固定安装有横向拖链，所述横向滑轨的一端固定安装有连接件，所述横向滑轨的相邻位置设置有横向驱动电机，所述竖向驱动电机固定安装在连接件上。
[0013]其有益效果在于，本技术通过夹持机构对晶圆进行夹持搬运，可以利用夹持柱对晶圆的圆周进行夹持，将晶圆夹起来通过横向位移机构和竖向位移机构进行不同工位的搬运，因为内夹持柱呈规律排列，只要通过距离调节机构带动左夹持机构和右夹持机构进行左右距离的调节，将晶圆通过夹持柱底部的倒T形结构带起晶圆，保证不碰到晶圆的面上，只通过接触晶圆的圆周对晶圆进行搬运，大大减少了晶圆在搬运过程中，晶圆的面被碰到所产生的对晶圆的污染。
附图说明
[0014]图1是本技术的结构示意图；
[0015]图2是本技术去掉外壳后的结构示意图；
[0016]图3是图1中A部分的局部放大结构示意图；
[0017]图4是图2中B部分的局部放大结构示意图。
[0018]图中，1、横向位移机；2、竖向位移机构；3、直角连接轴；4、距离调节机构；5、夹持机构；6、左夹持机构；7、右夹持机构；8、夹持固定盘；9、外夹持柱；10、内夹持柱；11、外壳；12、距离调节气缸；13、距离调节滑轨；14、左气爪；15、右气爪；16、左延伸板；17、右延伸板；18、竖向定位板；19、竖向滑轨；20、竖向拖链；21、安装件；22、竖向驱动电机；23、横向滑轨；24、安装板；25、横向拖链；26、连接件；27、横向驱动电机。
具体实施方式
[0019]下面结合附图对本技术进行具体描述，如图1
‑
4所示，一种晶圆的悬吊搬运机构，先来介绍一下主体结构的部分，包括安装在底板上的横向位移机1构，所述横向位移机1构上通过横向滑块连接有竖向位移机构2，所述竖向位移机构2上通过竖向滑块连接有直角连接轴3，所述直角连接轴3的一端固定连接有距离调节机构4，所述距离调节机构4上连接有延伸板，所述延伸板的一端固定连接有夹持机构5。通过夹持机构5对晶圆进行夹持搬运，可以利用夹持柱对晶圆的圆周进行夹持，将晶圆夹起来通过横向位移机1构和竖向位移机构2进行不同工位的搬运。
[0020]距离调节机构4包括外壳11，所述外壳11内部固定安装有距离调节气缸12，所述距离调节气缸12上设置有距离调节滑轨13，所述距离调节滑轨13上通过左气爪14和右气爪15连接有左延伸板16和右延伸板17。通过距离调节气缸12带动距离调节滑轨13上的左气爪14向左移动，右气爪15向右移动，使得左气爪14和右气爪15上连接的左夹持机构65和右夹持机构75进行同步移动。
[0021]所述夹持机构5包括左夹持机构65和右夹持机构75，所述左夹持机构65和右夹持机构75呈对称式分布，所述左夹持机构65包括固定安装在左侧延伸板下端的夹持固定盘8，
所述夹持固定盘8呈扇形。所述夹持固定盘8的圆周位置固定安装有若干外夹持柱9，所述外夹持柱9均匀排列，所述外夹持柱9的截面呈阶梯状，所述外夹持柱9的底部呈倒T形，所述夹持固定盘8上还固定安装有若干内夹持柱10。所述内夹持柱10均匀排列，所述内夹持柱10设置于所述外夹持柱9的圆心的一侧，所述内夹持柱10与所述外夹持柱9的外观相同，且所述内夹持柱10的长度比所述外夹持柱9的长度短。通过规律布置的外夹持柱9和内夹持柱10可以同步夹持两种不同直径的晶圆，极大的提高了搬运晶圆加工的效率。
[0022]所述竖向位移机构2包括竖向定位板18，所述竖向定位板18上固定安装有竖向滑轨19和竖向拖链20，所述竖向拖链20设置于所述竖向滑轨19的一侧，所述竖向滑轨19的上端固定安装有安装件21，所述竖向滑轨19的相邻位置设置有竖向驱动电机22，所述竖向驱动电机22固定安装在安装件21上。通过竖向驱动电机22驱动竖向滑轨19上的竖向滑块在竖直方向上进行移动，进而带本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆的悬吊搬运机构，其特征在于，包括安装在底板上的横向位移机(1)构，所述横向位移机(1)构上通过横向滑块连接有竖向位移机构(2)，所述竖向位移机构(2)上通过竖向滑块连接有直角连接轴(3)，所述直角连接轴(3)的一端固定连接有距离调节机构(4)，所述距离调节机构(4)上连接有延伸板，所述延伸板的一端固定连接有夹持机构(5)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆的悬吊搬运机构，其特征在于，所述夹持机构(5)包括左夹持机构(6)和右夹持机构(7)，所述左夹持机构(6)和右夹持机构(7)呈对称式分布，所述左夹持机构(6)包括固定安装在左侧延伸板下端的夹持固定盘(8)，所述夹持固定盘(8)呈扇形。3.根据权利要求2所述的一种晶圆的悬吊搬运机构，其特征在于，所述夹持固定盘(8)的圆周位置固定安装有若干外夹持柱(9)，所述外夹持柱(9)均匀排列，所述外夹持柱(9)的截面呈阶梯状，所述外夹持柱(9)的底部呈倒T形，所述夹持固定盘(8)上还固定安装有若干内夹持柱(10)。4.根据权利要求3所述的一种晶圆的悬吊搬运机构，其特征在于，所述内夹持柱(10)均匀排列，所述内夹持柱(10)设置于所述外夹持柱(9)的圆心的一侧，所述内夹持柱(10)与所述外夹持柱(9)的外观相同，且所述内夹持柱(10)的长度比所述外夹持柱(...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨杰，蒋君，
申请(专利权)人：拓思精工科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：