一种晶圆铁框堆叠防滑落装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了半导体加工制造领域内的一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，包括若干堆叠放置的晶圆铁框，所述晶圆铁框的四周分别设置有前直线边、后直线边、左直线边和右直线边，所述前直线边与后直线边对称平行，所述左直线边与右直线边对称平行，对应所述晶圆铁框的左直线边、后直线边、右直线边均设置有固定器，所述固定器为空心圆柱体结构，所述固定器上下侧均同轴设置有圆环限位板，所述圆环限位板内径与固定器的内径相同，所述圆环限位板的外径大于固定器的外径，所述下侧圆环限位板上设置有若干沉头孔。本实用新型专利技术能够固定晶圆铁框的摆放位置，限制晶圆铁框的叠放高度，可有效预防晶圆铁框滑落风险。圆铁框滑落风险。圆铁框滑落风险。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆铁框堆叠防滑落装置


[0001]本技术属于半导体加工制造领域，特别涉及一种晶圆铁框堆叠防滑落装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，晶圆铁框在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆铁框来搬运和储存晶圆，闲置的晶圆铁框通常堆叠放置在货架或工作桌面上，其不足之处在于：晶圆铁框的摆放位置无限制，晶圆铁框堆叠的高度无管控，当闲置的数量较多时，位于高处的晶圆铁框会出现滑落现象，有滑落砸到人员的风险。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，能够固定晶圆铁框的摆放位置，限制晶圆铁框的叠放高度，可有效预防晶圆铁框滑落风险。
[0004]本技术的目的是这样实现的：一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，包括若干堆叠放置的晶圆铁框，所述晶圆铁框的四周设置分别设置有前直线边、后直线边、左直线边和右直线边，所述前直线边与后直线边对称平行，所述左直线边与右直线边对称平行，其特征在于，对应所述晶圆铁框的左直线边、后直线边、右直线边均设置有固定器，所述固定器为空心本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，包括若干堆叠放置的晶圆铁框，所述晶圆铁框的四周分别设置有前直线边、后直线边、左直线边和右直线边，所述前直线边与后直线边对称平行，所述左直线边与右直线边对称平行，其特征在于，对应所述晶圆铁框的左直线边、后直线边、右直线边均设置有固定器，所述固定器为空心圆柱体结构，所述固定器上下侧均同轴设置有圆环限位板，所述圆环限位板内径与固定器的内径相同，所述圆环限位板的外径大于固定器的外径，所述下侧圆环限位板上设置有若干沉头孔。2.根据权利要求1所述的一种晶圆铁框堆叠防滑落装置，其特征在于，所述沉头孔的数量为2，两个所述沉头孔对称分布在下圆环...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈立梅，朱锦健，蒋菲菲，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：