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一种晶圆铁框堆叠防滑落装置制造方法及图纸
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下载一种晶圆铁框堆叠防滑落装置的技术资料
文档序号:36968937
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本实用新型公开了半导体加工制造领域内的一种晶圆铁框堆叠防滑落装置,包括若干堆叠放置的晶圆铁框,所述晶圆铁框的四周分别设置有前直线边、后直线边、左直线边和右直线边,所述前直线边与后直线边对称平行,所述左直线边与右直线边对称平行,对应所述晶圆铁...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。
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