一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构及加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构及加工装置，包括顶部敞口设置的外壳，外壳顶部敞口设有透光盖，外壳内设有与外壳底面具有设定距离的第一夹钳和第二夹钳，第一夹钳和第二夹钳均与夹持驱动机构连接以实现相向或背离运动，外壳与喷嘴连接，喷嘴与保护气体供给机构连接以向第一夹钳和第二夹钳之间的空间吹入保护气体，喷嘴对侧设有开设在外壳的出气口，出气口与排气机构连接，采用本发明专利技术的固定机构避免了对工作台和工件基底的损伤，加工效果好。加工效果好。加工效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构及加工装置


[0001]本专利技术涉及柔性电子器件加工
，具体涉及一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构及加工装置。

技术介绍

[0002]这里的陈述仅提供与本专利技术相关的
技术介绍
，而不必然地构成现有技术。
[0003]柔性电子器件作为电子行业的新兴技术有着广阔的发展前景。柔性电子器件通常是将无机或有机涂层附着在柔性基底上形成薄膜材料，这就导致材料难以采用传统的机械加工方式进行加工。在柔性电子器件制备领域的诸多加工方法中，超快激光在柔性基底附着的材料上刻蚀出所需的电路图案是目前具有广阔应用前景的方法之一。其原因在于超快激光加工能实现非接触加工，且加工精度和效率高，能精准刻蚀出所需的复杂电路图案。
[0004]目前已经有用于激光加工柔性电子器件的加工装置，但加工过程中存在如下问题：激光刻蚀时，涂层材料(例如碳层、氧化铟锡等)被激光烧蚀产生的热效应导致柔性基底发生变形；柔性基底在工作台上不易展平导致加工误差较大；对于PET等透光基底，涂层材料被去除后，激光会透过基底损伤工作台，同时造成基底背面的热损伤。
[0005]专利申请CN11360417A公开了一种激光的气体辅助加工方法，利用辅助气体对工件进行加工，但是其应用于柔性电子器件加工时，其仍然存在激光损伤工作台、基底背面热损伤的现象，而且将工件直接放置在工作台上，不适合于柔性电子器件的激光刻蚀。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供了一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，不会损伤工作台，而且保证了加工质量。
[0007]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0008]第一方面，本专利技术的实施例提供了一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，包括顶部敞口设置的外壳，外壳顶部敞口设有透光盖，外壳内设有与外壳底面具有设定距离的第一夹钳和第二夹钳，第一夹钳和第二夹钳均与夹持驱动机构连接以实现相向或背离运动，外壳与喷嘴连接，喷嘴与保护气体供给机构连接以向第一夹钳和第二夹钳之间的空间吹入保护气体，喷嘴对侧设有开设在外壳的出气口，出气口与排气机构连接。
[0009]可选的，所述第一夹钳和第二夹钳均包括与外壳滑动连接的夹钳本体，夹钳本体上设有夹持组件，所述夹持驱动机构包括连接杆，连接杆一端与夹钳本体固定，另一端伸出至外壳外部，连接杆伸出至外壳外部的部分螺纹连接旋钮，旋钮与外壳的壳壁转动连接。
[0010]可选的，第一夹钳和第二夹钳的夹钳本体底面均通过连接件连接有滑块，滑块与设置在外壳底部壳壁的导轨滑动连接。
[0011]可选的，所述喷嘴通过喷雾管与外壳的侧部壳壁固定，喷雾管与保护气体供给机构连接；
[0012]进一步的，所述喷嘴采用鸭嘴式结构。
[0013]可选的，所述保护气体供给机构包括保护气体瓶，保护气体瓶内盛装有保护气体，保护气体瓶的出气口通过管路与喷嘴连接。
[0014]可选的，保护气体瓶与喷嘴之间的管路上安装有单向阀和节流阀，单向阀只允许保护气体由保护气体瓶流向外壳。
[0015]可选的，所述外壳安装有压力检测元件，用于检测外壳内部的气体压力。
[0016]可选的，所述排气机构包括排气管，排气管一端连接至排气口处，另一端与电磁换向阀的进气端连接，电磁换向阀的出气端连接并联设置的第一管路和第二管路，第一管路安装有只能使气体远离电磁换向阀流动的单向阀，第二管路安装有溢流阀。
[0017]可选的，所述排气管上安装有气体检测仪，气体检测仪与控制系统连接，控制系统与电磁换向阀连接以使得电磁换向阀根据气体检测仪的检测信息进行工作。
[0018]第二方面，本专利技术的实施例提供了一种用于激光刻蚀的柔性电子器件加工装置，包括激光刻蚀设备及第一方面所述的用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，外壳固定于激光刻蚀设备的工作台上。
[0019]本专利技术的有益效果：
[0020]1.本专利技术的固定机构，外壳内设置有与底面具有设定距离的第一夹钳和第二夹钳，在外壳内悬空设置，且与夹持驱动机构连接，通过第一夹钳和第二夹钳，能够将柔性电子器件张紧并保持水平状态，满足柔性电子器件的激光刻蚀需求，同时由于第一夹钳和第二夹钳在外壳内悬空设置，使得外壳底面能够脱离激光的聚焦范围，保证加工过程中不会对工作台及外壳底面造成损伤，也避免了柔性电子器件的基底背面造成损伤。
[0021]2.本专利技术的固定机构，通过喷嘴和保护气体供给机构的设置，能够将柔性电子器件置入保护气体环境中进行激光刻蚀，使得柔性电子器件的涂层材料不会在加工过程中与周围气体发生燃烧等化学反应，保证加工后的基底表面质量，减少热效应。
[0022]3.本专利技术的固定机构，喷嘴采用鸭嘴式结构，避免加工区域吹气不均匀对加工后表面质量的影响。
[0023]4.本专利技术的固定机构，通过溢流阀的设置，对整个固定机构内的气体压力起到稳定作用，加工区域外围能够获得稳定流量的气流，保证加工过程中具有良好的排屑效果，降低加工区域的温度。
[0024]5.本专利技术的固定机构，通过气体检测仪检测外壳及排气管内气体成分，然后通过控制系统控制电磁换向阀工作，自动化程度高，保证了外壳内保护气体浓度能够达到加工要求，进而保证了加工效果。
附图说明
[0025]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的限定。
[0026]图1为本专利技术实施例1整体结构示意图；
[0027]图2为本专利技术实施例1外壳内部俯视图；
[0028]图3为本专利技术实施例1夹钳结构示意图；
[0029]图4为本专利技术实施例1夹钳与夹持驱动机构配合示意图；
[0030]其中，1.保护气体瓶，2.单向阀，3.节流阀，4.外壳，5.喷嘴，6.工件，7.夹钳，8.旋
钮，9.导轨，10.压力表，11.气体检测仪，12.二位三通电磁换向阀，13.单向阀，14.溢流阀，15.连接杆，16.限位块，17.滑块。
具体实施方式
[0031]实施例1
[0032]本实施例提供了一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，如图1
‑
图4所示，包括外壳4，外壳4用于设置在激光刻蚀设备的工作台上。
[0033]本实施例中，所述外壳4采用顶部敞口设置的立方体结构，包括底部壳壁，底部壳壁的四个边缘处分别设置有第一侧部壳壁、第二侧部壳壁、第三侧部壳壁和第四侧部壳壁，其中第一侧部壳壁和第二侧部壳壁为相对的两个侧部壳壁，第三侧部壳壁和第四侧部壳壁为另外两个相对设置的侧部壳壁。
[0034]外壳4的顶部敞口可拆卸的连接有透明盖，利用透明盖进行封堵，所述透明盖采用透明玻璃盖，与外壳顶部通过螺栓连接或通过卡槽卡接。
[0035]外壳内部设置有两个夹钳7，两个夹钳均与夹持驱动机构连接，其中，第一侧部壳壁上通过第一夹持驱动机构连接有第一夹钳，第二侧部壳壁上通过第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，其特征在于，包括顶部敞口设置的外壳，外壳顶部敞口设有透光盖，外壳内设有与外壳底面具有设定距离的第一夹钳和第二夹钳，第一夹钳和第二夹钳均与夹持驱动机构连接以实现相向或背离运动，外壳与喷嘴连接，喷嘴与保护气体供给机构连接以向第一夹钳和第二夹钳之间的空间吹入保护气体，喷嘴对侧设有开设在外壳的出气口，出气口与排气机构连接。2.如权利要求1所述的一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，其特征在于，所述第一夹钳和第二夹钳均包括与外壳滑动连接的夹钳本体，夹钳本体上设有夹持组件，所述夹持驱动机构包括连接杆，连接杆一端与夹钳本体固定，另一端伸出至外壳外部，连接杆伸出至外壳外部的部分螺纹连接旋钮，旋钮与外壳的壳壁转动连接。3.如权利要求2所述的一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，其特征在于，第一夹钳和第二夹钳的夹钳本体底面均通过连接件连接有滑块，滑块与设置在外壳底部壳壁的导轨滑动连接。4.如权利要求1所述的一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，其特征在于，所述喷嘴通过喷雾管与外壳的侧部壳壁固定，喷雾管与保护气体供给机构连接；进一步的，所述喷嘴采用鸭嘴式结构。5.如权利要求1所述的一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，其特征在于，所述保护气...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡玉奎，郑淳益，黄志东，李佳航，宋清华，王兵，刘战强，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：