【技术实现步骤摘要】
一种超精密微量切割成形工作台
[0001]本专利技术属于机械加工
，具体涉及一种超精密微量切割成形工作台。
技术介绍
[0002]在高分子、电子设备和先进材料的研究领域，需要制备微小试件，其厚度一般为8μm～50μm，长宽尺寸为10μm～100μm，且对尺寸的精度要求一般为
±
1μm。由于微小试件尺寸过小，加工过程人眼不可见，形状多样且加工精度要求高，微小试件毛坯一般为柔软的超薄件，对工件的装夹、对刀、过程监测等提出了极高的挑战，现有常规机械加工设备难以满足微小试件加工形状多样、高精、高效和操作方便的需求。因此为了克服常规机械加工设备的不足，进而研发一种超精密微量切割成形工作台是很符合实际工作需要的。
技术实现思路
[0003]本专利技术为了解决现有机械加工设备无法满足微小试件加工形状多样、高精、高效和操作方便的需求，进而提供一种超精密微量切割成形工作台；
[0004]一种超精密微量切割成形工作台，所述工作台包括龙门架、床身、X轴直线工作导轨、Y轴直线工作导轨和Z轴直线工作导轨...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超精密微量切割成形工作台，所述工作台包括龙门架(1)、床身(2)、X轴直线工作导轨(3)、Y轴直线工作导轨(4)和Z轴直线工作导轨(8)，龙门架(1)沿竖直方向立设在床身(2)的上表面上，且龙门架(1)的底部与床身(2)的上表面固定连接，X轴直线工作导轨(3)设置在龙门架(1)的前方，且X轴直线工作导轨(3)固接在床身(2)的上表面上，Y轴直线工作导轨(4)固接在X轴直线工作导轨(3)的工作滑块上，且Y轴直线工作导轨(4)的轴线与X轴直线工作导轨(3)的轴线垂直设置，Z轴直线工作导轨(8)沿竖直方向设置在龙门架(1)的前侧，且Z轴直线工作导轨(8)的壳体与龙门架(1)的前侧固定连接，其特征在于：所述工作台还包括转动工作台组件、对刀显微单元(7)、斜向显微单元(9)、垂直显微单元(10)和刀具单元(11)；所述转动工作台组件沿竖直方向设置在Y轴直线工作导轨(4)中工作滑块的上表面上，且转动工作台组件与Y轴直线工作导轨(4)中的工作滑块固定连接，对刀显微单元(7)设置在转动工作台组件的前侧，且对刀显微单元(7)固定端与X轴直线工作导轨(3)的端部拆卸连接，对刀显微单元(7)的检测端朝向转动工作台组件中的工作台面设置，斜向显微单元(9)、垂直显微单元(10)和刀具单元(11)均通过固定立板固接在Z轴直线工作导轨(8)中的工作滑块上，垂直显微单元(10)设置在转动工作台组件的上方，且垂直显微单元(10)的固定端与固定立板固定连接，垂直显微单元(10)的检测端朝向转动工作台组件中的工作台面设置，斜向显微单元(9)设置在垂直显微单元(10)的一侧，且斜向显微单元(9)的固定端与固定立板固定连接，斜向显微单元(9)的检测端朝向转动工作台组件中的工作台面设置，刀具单元(11)设置在垂直显微单元(10)的另一侧，且刀具单元(11)固定端与固定立板固定连接，刀具单元(11)的执行端朝向转动工作台组件设置。2.根据权利要求1所述的一种超精密微量切割成形工作台，其特征在于：所述转动工作台组件包括旋转工作台(5)、真空吸盘(6)和吸盘支撑件(12)，所述旋转工作台(5)设置在Y轴直线工作导轨(4)中的工作滑块上，且旋转工作台(5)的固定端与Y轴直线工作导轨(4)中的工作滑块固定连接，吸盘支撑件(12)沿竖直方向设置在旋转工作台(5)的工作台面上，且吸盘支撑件(12)的底部与旋转工作台(5)的上表面固定连接，真空吸盘(6)固接在吸盘支撑件(12)的顶部。3.根据权利要求2所述的一种超精密微量切割成形工作台，其特征在于：所述对刀显微单元(7)包括磁力座(7.1)、一号工业变焦显微镜(7.2)和柔性支撑杆(7.3)，所述磁力座(7.1)通过磁力吸附在X轴直线工作导轨(3)的端部，柔性支撑杆(7.3)的一端与磁力座(7.1)固定连接，柔性支撑杆(7.3)的另一端与一号工业变焦显微镜(7.2)的壳体固定连接，一号工业变焦显微镜(7.2)的照射端朝向真空吸盘(6)设置。4.根据权利要求3所述的一种超精密微量切割成形工作台，其特征在于：所述斜向显微单元(9)包括一号导轨(9.1)、二号导轨(9.2)、一号升降台(9.3)、一号夹具块(9.4)和二号工业变焦显微镜(9.5)，所述一号导轨(9.1)固接在固定立板上，且一号导轨(9.1)的轴线与固定立板的竖直轴线之间呈倾斜设置，二号导轨(9.2)固接在一号导轨(9.1)中的工作滑块上，且二号导轨(9.2)的轴线与一号导轨(9.1)的轴线垂直设置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：高思煜，朱敏，高强，卢礼华，崔奇，刘进，刘哲，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。