一种高转化率的六氟乙烷的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种高转化率的六氟乙烷的制备方法，包括以下步骤：将五氟一氯乙烷和氟化氢气体在含催化剂的反应器中进行氟氯交换反应。采用多反应器并联方式进行催化剂有效利用，反应之后的气体通过碱液处理尾气吸收，收集产品，未反应的五氟一氯乙烷进行循环使用。本发明专利技术提出的高转化率的六氟乙烷制备方法，通过并联反应器的方式重复利用催化剂活性，并大幅度的提高五氟一氯乙烷的转化率。幅度的提高五氟一氯乙烷的转化率。幅度的提高五氟一氯乙烷的转化率。

【技术实现步骤摘要】
一种高转化率的六氟乙烷的制备方法


[0001]本专利技术属于化工生产
，具体涉及一种高转化率的六氟乙烷的制备方法。

技术介绍

[0002]六氟乙烷(C2F6)R
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116，沸点
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78.2℃，密度0.6161g/cm3，在室温和大气压力下，六氟乙烷是惰性的及无色、不燃和无毒的气体。六氟乙烷无臭无味。
[0003]随着半导体与微电子工业的发展，对电子特气的要求也日益剧增，湿法腐蚀不能满足0.18
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0.25μm的深亚微米集成电路高精度细线蚀刻，而六氟乙烷具有边缘侧向侵蚀现象极微、高蚀刻率及高精准性的优点。
[0004]六氟乙烷作为超大规模集成电路所必须的介质，其制备方法，目前已知公开的的有以下几种：
[0005](1)以乙烷或乙烯为起始原料的电解氟化法，该方法由于电化学氟化发生在电极表面，因此只能根据电极表面积来计算原料的提供量，造成资源浪费。
[0006](2)四氟乙烯的热分解法，该方法需要热解温度高达1100℃，工艺能耗大，产品纯度和收率底。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高转化率的六氟乙烷的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、制备催化剂；S2、在多组并联的反应器中填充催化剂；S3、将原料气体通入一个反应器中进行氟氯交换反应；S4、切换反应器继续进行氟氯交换反应，对原反应器内的催化剂进行处理。2.根据权利要求1所述的一种高转化率的六氟乙烷的制备方法，其特征在于，所述S1中制备催化剂的具体方法为：S101、选择多种铬源；S102、对多种铬源进行负载：负载采用浸渍的方法，将多种铬源溶解混合搅拌，加入活性炭浸渍搅拌2小时以上；S103、负载完成后在氮气保护条件下使用马弗炉进行400℃煅烧蒸发多余的溶剂。3.根据权利要求1所述的一种高转化率的六氟乙烷的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚冰洁，罗雪薇，李绍波，吴昊俣，何硕，花莹曦，郭花花，姜世楠，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：