一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构制造技术

本实用新型专利技术公开了光伏领域内的一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构，包括内腔体，内腔体与下极板配套，内腔体的腔体壁底部配套设置有绝缘屏蔽层，绝缘屏蔽层的上部设置有外卡槽，绝缘屏蔽层经外卡槽与腔体壁底部卡接；内腔体经绝缘屏蔽结构落在下极板上，进而形成紧密的腔体结构。本实用新型专利技术1.绝缘屏蔽层选用耐高温弹性导磁材料，弹性材料使内腔体的落下有缓冲，并使内腔体和下级板通过挤压绝缘屏蔽层形成高密闭空间，有效降低腔漏率，导磁性质能使腔体能将磁干扰导入大地。2.绝缘屏蔽层的开孔设计，能确定挤压下的形变中点，挤压下有规则的形变，使绝缘屏蔽层能在不同压力下，获得不同屏蔽密闭性，压力越强，屏蔽密闭性越强。屏蔽密闭性越强。屏蔽密闭性越强。

【技术实现步骤摘要】
一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构


[0001]本技术涉及一种光伏领域内的沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构。

技术介绍

[0002]双腔体沉积镀膜设备对于单腔体沉积镀膜设备而言，得益于双腔体的结构优点，能提高沉积镀膜设备的镀膜效率及所镀薄膜的质量。本技术为双腔体沉积镀膜设备的内反应腔体提供一种具有优秀耐热性、耐候性、弹性、导磁性、阻燃性的绝缘屏蔽结构，使内腔体升降在下级板时在绝缘屏蔽结构的缓冲下，进一步挤压形成密闭空间。使内腔体提供的反应空间更纯净，并有效减少腔漏率，并提供缓冲，减少以升降内腔体完成密闭空间的过程中，内腔体与下级板的磨损，同时在内腔体内部完成密闭空间的同时能保持内腔体外壳导磁整体性，接入大地，以起保护及屏蔽外磁场作用。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构，采用耐高温弹性导磁高分子聚合物材料，使内腔体密闭性好，能有效减少腔漏率，同时能够绝缘内反应电场，屏蔽外界磁场干扰，减少内腔体与下极板的金属碰撞。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构，包括内腔体，内腔体与下极板配套，内腔体的腔体壁底部配套设置有绝缘屏蔽层，绝缘屏蔽层的上部设置有外卡槽，绝缘屏蔽层经外卡槽与腔体壁底部卡接。
[0005]与现有技术相比，本技术的有益效果在于，绝缘屏蔽层具有耐热性、耐候性、弹性、绝缘屏蔽、阻燃性。内腔体的腔体壁底部插入外卡槽中，使得绝缘屏蔽层与内腔体的底部卡接，这样当内腔体落在下极板上后，内腔体与下极板构成了腔体结构，当内腔体落在下极板上后，内腔体与下极板构成了腔体结构，而绝缘屏蔽层一方面能够使得内腔体落在下极板表面时与下极板之间减少金属性摩擦，避免两者磨损，另一方面绝缘屏蔽层能够在内腔体与下极板的连接处建立密封防护，使得内腔体内的上极板和下极板之间产生密闭空间，从而保证沉积的效果和效率。
[0006]作为本技术的进一步改进，外卡槽内设置有凸条，凸条与开设在腔体壁底部的内卡槽相匹配；这样内腔体的腔体壁与绝缘屏蔽层之间的连接，除了通过外卡槽之外，还能通过内卡槽与凸条的镶嵌配合，进一步提高绝缘屏蔽层与腔体壁之间的连接牢固程度。
[0007]作为本技术的进一步改进，凸条加工为蘑菇形；这样凸条整体上宽下窄，在嵌设入内卡槽后，能够提高嵌设的牢固程度，进而避免绝缘屏蔽层反复使用后从腔体壁脱落。
[0008]作为本技术的进一步改进，绝缘屏蔽层的底部加工为波浪形；这样当内腔体落在下极板上后，绝缘屏蔽层的波浪形的底部受到挤压而发生形变，使得波谷面向两端拉伸变平，而波峰面则同样向两端拉伸变平，进而通过地面的波峰面和波谷面相互配合挤压，使得与下极板的接触面密封性更好，绝缘屏蔽的效果更佳。
[0009]作为本技术的进一步改进，绝缘屏蔽层的底部纵向贯穿开设有密封定位孔，
密封定位孔设置在波浪形底部的波谷处；这样在绝缘屏蔽层的底部受到挤压后密封定位孔同样受挤压而变形，密封定位孔上下面闭合，配合波浪形底部的波谷处的变形，进一步提升密封性，提高绝缘和屏蔽效果。
[0010]作为本技术的进一步改进，密封定位孔加工为菱形或者椭圆形，密封定位孔整体变形特性与腔体壁底部波谷的变形特性一致性更好，能够进一步配合波谷的变形，从而提升密封性能，提高绝缘和屏蔽效果。
[0011]作为本技术的进一步改进，绝缘屏蔽层为耐高温弹性导磁材料；这样绝缘屏蔽层的绝缘屏蔽效果更好，并且弹性好，更耐磨损，同时也耐高温。
附图说明
[0012]图1为本技术中内腔结构的示意图。
[0013]图2为本技术中内腔体与绝缘屏蔽层的连接结构示意图。
[0014]图3为本技术中内腔体与绝缘屏蔽层的分解结构示意图。
[0015]图4为本技术中绝缘屏蔽层的底部结构示意图。
[0016]其中，1内腔体，2上极板，3下极板，4腔体壁，5绝缘屏蔽层，6内卡槽，7凸条，8外卡槽，9密封定位孔。
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本技术进一步说明：
[0018]如图1
‑
4所示一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构，包括内腔体1，内腔体1与下极板3配套，内腔体1的腔体壁4底部配套设置有绝缘屏蔽层5，绝缘屏蔽层5的上部设置有外卡槽8，绝缘屏蔽层5经外卡槽8与腔体壁4底部卡接；外卡槽8内设置有凸条7，凸条7与开设在腔体壁4底部的内卡槽6相匹配。
[0019]凸条7的截面为蘑菇形；绝缘屏蔽层5的底部加工为波浪形；绝缘屏蔽层5的底部纵向贯穿开设有密封定位孔9，密封定位孔9设置在波浪形底部的波谷处；密封定位孔9加工为菱形或者椭圆形；绝缘屏蔽层5为耐高温弹性导磁材料。
[0020]本技术中，绝缘屏蔽层5的上部开设外卡槽8，使得内腔体1的腔体壁4底部可以完全插入外卡槽8中，同时外卡槽8内设置截面为蘑菇形的卡条，与内腔体1腔体壁4底部的内卡槽6匹配，在腔体壁4底部插入外卡槽8中时，卡条也同时嵌入内卡槽6中，这样内外两重卡接，能够确保绝缘屏蔽层5与腔体壁4直接的连接牢固，而且绝缘屏蔽的外卡槽8能够包裹住腔体壁4底部，使得绝缘屏蔽与腔体壁4的连接处也被密封，处于绝缘屏蔽层5保护之中，避免电场的外溢。
[0021]而绝缘屏蔽层5的底部则加工为波浪形，其波谷的位置处均开设有一纵向贯穿绝缘屏蔽层5的密封定位孔9，在内腔体1压在下极板3上时，波浪形的底部受到挤压变形，能根据上下挤压力，以开孔处，即密封定位孔9为挤压变形中点，完成与下极板支撑力的密闭挤压，并具有弹性密闭特性。挤压力越强，密闭性越好，同时对外界磁场干扰的绝缘屏蔽就越强，从而在内腔体1与下极板3的连接处建立一周完整的绝缘屏蔽防护圈，有效地防止上极板2与下极板3之间的电场向外溢散，也同时能够防止外界的电场，如地磁场等对内腔体1内的电场进行干扰，而且还能够避免内腔体1与下极板3之间的金属碰撞，造成磨损。
[0022]使用时，上极板2设置在内腔体1内，当内腔体1落在下极板3上，和下极板3构成内腔结构时，电源系统通电，使得上极板2与下极板3之间形成电场，而内腔体1与下极板3的连接处可以通过绝缘屏蔽层5来建立防护圈，使得连接处没有缝隙，防止电场外溢，和外界电场的干扰起到良好的绝缘屏蔽效果，避免内腔体1与下极板3之间发生磨损。
[0023]本技术不局限于上述实施例，在本公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的
技术实现思路
，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构，包括内腔体，内腔体与下极板配套，其特征在于：内腔体的腔体壁底部配套设置有绝缘屏蔽层，绝缘屏蔽层的上部设置有外卡槽，绝缘屏蔽层经外卡槽与腔体壁底部卡接。2.根据权利要求1所述的一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构，其特征在于：外卡槽内设置有凸条，凸条与开设在腔体壁底部的内卡槽相匹配。3.根据权利要求2所述的一种用于沉积镀膜设备的绝缘屏蔽结构，其特征在于，凸条加工为蘑菇形。4.根据权利要求3所述的一种用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜国宏，马忠帅，
申请(专利权)人：江苏舜大新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：