供电部件以及加热装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供可提高装置的耐久性的供电部件以及使用了它的加热装置。该供电部件（１００）具备：与供电对象连接的第１棒状部件（１０１），与电源连接的第２棒状部件（１０３），以及在第１棒状部件（１０１）与第２棒状部件（１０３）之间设置的与第１棒状部件（１０１）与第２棒状部件（１０３）相比在轴向的截面积小并且表面积大的热功能部件（１０２）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及适合用于热CVD装置以及等离子体CVD装置等半导体制造装置的供电部件以及加热装置。
技术介绍
迄今为止，具备埋设有电阻发热体和电极的陶瓷基体、支撑陶瓷基体的管状的支撑部件、在支撑部件的空心部具备的对埋设在陶瓷基体的电阻发热体或电极供电的供电部件的加热装置(以下表述为陶瓷加热器)已广为人知(参照专利文献1-特开平5-326112号公报)。在原来的陶瓷加热器中，利用镍或镍基合金形成的供电部件的一端与埋设在陶瓷基体中的电阻发热体或电极连接，另一端通过连接器等与电源连接。然而，在与电源连接的供电部件的另一端侧为了保持供电部件而使用了用氟系耐热橡胶形成的O圈。此外，在供电部件的另一端，保持该供电部件的连接器由于需要具有弹性，从而用铜或铍铜做成。由于该O圈以及连接器耐热温度在200℃以下，所以，供电部件的另一端需要保持在O圈以及连接器的耐热温度以下。对此，供电部件的另一端通过向供电部件周围气体的热传导、向支撑部件的辐射散热、向固定有供电部件的另一端的冷却柱的热传导，与陶瓷基体侧的供电部件的一端相比保持在低温环境。然而，在供电部件的另一端的周围是接近真空的低压环境气体时，或者，覆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种供电部件，配备在管状的支撑部件的空心部，对支撑部件支撑的陶瓷基体中埋设的电阻发热体或电极的至少一者供电，其特征在于，具备：与供电对象连接的第１棒状部件，与电源连接的第２棒状部件，以及，在上述第１棒状部件与上述第２棒状部件之间设置的与第１棒状部件和第２棒状部件相比在轴向的截面积小并且表面积大的热功能部件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：后藤义信，鹤田英芳，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]