一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法制造方法及图纸

本申请涉及测量仪器检漏技术领域，具体而言，涉及一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法，所述装置包括伺服机构、密封夹具、氦质谱检漏仪以及标准漏孔，其中：密封夹具设置多个，每个密封夹具内部设置一种电容薄膜真空计的零部件；每个密封夹具的一端通过电磁阀与伺服机构连接，另一端通过电磁阀和波纹管与氦质谱检漏仪连接；标准漏孔通过第一手动截止阀与氦质谱检漏仪连接。本申请伺服机构按照智能化设计，各部件具有自适应功能，各设定参数均通过多次试验获得，可靠性较高，通过伺服机构的操控实现密封夹具对零部件的锁紧和密封，避免了密封不严和漏气现象，避免了检漏过程中人工安装检漏工装的返工现象，极大地提高了检漏效率。高了检漏效率。高了检漏效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法


[0001]本申请涉及测量仪器检漏
，具体而言，涉及一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法。

技术介绍

[0002]热电容薄膜真空计作为真空测量仪器，主要用于半导体、镀膜、新能源等民用行业，以及核工业、高能物理、可控热核聚变等尖端科学研究领域。使用过程中，可以根据被测气体的压力大小、测量精度要求、使用环境特点等，选择不同量程范围的电容薄膜真空计，其作为低真空标准器具，是真空参数量值传递过程中的参考标准和传递标准。
[0003]在我国电容薄膜真空计的市场占比最大的半导体及核工业行业中，对电容薄膜真空计的精度及稳定性要求很高，半导体及核工业行业内将电容薄膜真空计作为一种耗材，使用2至3年后将会更替。当前诸多国防武器装备及尖端科学研究领域都需要利用电容薄膜真空计来进行真空度的精确测量，其测量数据的可靠性及准确性将直接影响这些领域相关科学目标的实现，后续，随着半导体行业的飞速发展，电容薄膜真空计的用量也将快速增加，市场前景广阔。
[0004]电容薄膜真空计主要由物理单元和电控单元组成，其生产过程主要涉及12个主要工艺环节，现有检漏工艺依靠人工安装检漏工装，实现各种零部件漏率指标的测试工作。由于人工安装、拆卸工装的过程十分缓慢，而且各种零部件和与之匹配的检漏工装较多，容易出现工装混淆、工装安装过程受力不均导致的密封不严和漏气现象。安装返工率高，密封效果不理想，检漏工艺环节进度严重滞后，达不到电容薄膜真空计产品小批量生产需求。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法，能够实现电容薄膜真空计四种零部件的快速密封和检漏，极大程度地提高了自动化检漏效率。
[0006]为了实现上述目的，本申请提供了一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置，包括伺服机构、密封夹具、氦质谱检漏仪以及标准漏孔，其中：密封夹具设置多个，每个密封夹具内部设置一种电容薄膜真空计的零部件；每个密封夹具的一端通过电磁阀与伺服机构连接，另一端通过电磁阀和波纹管与氦质谱检漏仪连接；标准漏孔通过第一手动截止阀与氦质谱检漏仪连接。
[0007]进一步的，多个电磁阀与氦质谱检漏仪相连之间的波纹管上设置有第二手动截止阀。
[0008]进一步的，伺服机构包括驱动电机、传动轴、机械臂、液压钳、压力表、控制电路以及触摸屏，其中：触摸屏与控制电路连接；控制电路与驱动电机连接；驱动电机通过传动轴与机械臂连接，通过多个液压钳与多个密封夹具对应连接；压力表与控制电路连接。
[0009]进一步的，每个密封夹具的结构与每个电容薄膜真空计的零部件的结构对应匹配。
[0010]进一步的，氦质谱检漏仪与伺服机构之间建立通讯连接。
[0011]进一步的，还包括安全围栏，安全围栏环绕机械臂设置。
[0012]此外，本申请还提供了一种应用用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置的方法，包括如下步骤：步骤1：进行快速检漏装置的安装，打开伺服机构与每个密封夹具之间的电磁阀，控制伺服电机，使密封夹具打开，通过传动轴和机械臂将电容薄膜真空计的零部件依次放置到对应的密封夹具中；步骤2：操作伺服机构的触摸屏，通过压力表设定压力钳的压力值，使得所有密封夹具闭合，对内部的零部件进行固定和夹紧；步骤3：将每个密封夹具通过电磁阀和波纹管与氦质谱检漏仪连接，在波纹管上设置第二手动截止阀，并且通过第一手动截止阀将标准漏孔与氦质谱检漏仪连接；步骤4：关闭伺服机构与所有密封夹具之间的电磁阀，打开第二手动截止阀，依次打开密封夹具与氦质谱检漏仪之间的电磁阀，用氦质谱检漏仪对快速检漏装置的管路抽真空；步骤5：打开第一手动截止阀，将标准漏孔与氦质谱检漏仪连通，对快速检漏装置的最小可检漏率进行标定，并对快速检漏装置的所有管路接头处、零部件与密封夹具的密封处喷氦气，检查快速检漏装置内部是否有漏；步骤6：如果有漏，可调整接头连接处，拧紧后再次进行检测，至氦质谱检漏仪信号无明显上升；步骤7：关闭第一手动截止阀，使用氦罩将密封夹具和零部件全部罩住，并往氦罩内引入氦气，观察氦质谱检漏仪显示值的变化，会自动同步记录、存储在伺服机构中的软件中，实现对所有密封夹具内部电容薄膜真空计的零部件的检漏；步骤8：检漏完成后，通过伺服机构触摸屏操控密封夹具，使所有密封夹具处于开启状态，取出零部件，关闭所有阀门，关闭氦质谱检漏仪，将所有零部件的漏率数据导出后关闭伺服机构，关闭总电源，根据零部件的漏率指标，挑选出合格的零部件。
[0013]本专利技术提供的一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法，具有以下有益效果：
[0014]本申请伺服机构按照智能化设计，各部件具有自适应功能，各设定参数均通过多次试验获得，可靠性较高，通过伺服机构的操控实现密封夹具对零部件的锁紧和密封，无需安装和拆卸螺钉，避免了密封不严和漏气现象，避免了检漏过程中人工安装检漏工装的返工现象，极大地提高了检漏效率。伺服机构的软件可以自动采集氦质谱检漏仪在检漏过程中的所有数据，并通过软件中的公式计算、修正后得到零部件最终的漏率数据，保证漏率数据的完整性和准确性。此外，在装置的四周设置有安全围栏，避免操作人员进入机械臂摆动幅度范围内，确保了操作人员的人身安全。
附图说明
[0015]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0016]图1是根据本申请实施例提供的用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置的结构示意图；
[0017]图中：1
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伺服机构、2
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第一电磁阀、3
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第二电磁阀、4
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第三电磁阀、5
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第四电磁阀、6
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第一密封夹具、7
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第二密封夹具、8
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第三密封夹具、9
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第四密封夹具、10
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第五电磁阀、11
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第六电磁阀、12
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第七电磁阀、13
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第八电磁阀、14
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第一手动截止阀、15
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第二手动截止阀、
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标准漏孔、17
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氦质谱检漏仪。
具体实施方式
[0018]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0019]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置，其特征在于，包括伺服机构、密封夹具、氦质谱检漏仪以及标准漏孔，其中：所述密封夹具设置多个，每个密封夹具内部设置一种电容薄膜真空计的零部件；每个密封夹具的一端通过电磁阀与所述伺服机构连接，另一端通过电磁阀和波纹管与所述氦质谱检漏仪连接；所述标准漏孔通过第一手动截止阀与所述氦质谱检漏仪连接。2.根据权利要求1所述的用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置，其特征在于，多个电磁阀与氦质谱检漏仪相连之间的波纹管上设置有第二手动截止阀。3.根据权利要求1所述的用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置，其特征在于，所述伺服机构包括驱动电机、传动轴、机械臂、液压钳、压力表、控制电路以及触摸屏，其中：所述触摸屏与所述控制电路连接；所述控制电路与所述驱动电机连接；所述驱动电机通过所述传动轴与所述机械臂连接，通过多个所述液压钳与多个所述密封夹具对应连接；所述压力表与所述控制电路连接。4.根据权利要求3所述的用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置，其特征在于，每个所述密封夹具的结构与每个电容薄膜真空计的零部件的结构对应匹配。5.根据权利要求1所述的用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置，其特征在于，所述氦质谱检漏仪与所述伺服机构之间建立通讯连接。6.根据权利要求3所述的用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置，其特征在于，还包括安全围栏，所述安全围栏环绕所述机械臂设置。7.一种应用权利要求1
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6任一项所述的用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置的方法，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙雯君，丁栋，裴晓强，成永军，李刚，董猛，张虎忠，张瑞芳，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：