一种单晶生长的温度调节装置及系统制造方法及图纸

本申请涉及晶体生长技术领域，具体而言，涉及一种单晶生长的温度调节装置及系统，一定程度上可以解决籽晶冷却过程温度调节差的问题。单晶生长的温度调节装置包括籽晶杆、水路转换组件和气体转换组件；籽晶杆包括主杆，主杆内设有进水内管、出水内管和进气内管；其中，进水内管的出水口与出水内管的进水口连通，进气内管的排气部设置在主杆的一端；水路转换组件活动套设在籽晶杆上，且可选择的绕籽晶杆旋转；气体转换组件活动套设在籽晶杆上，且可选择的绕籽晶杆旋转。在单晶生长的温度调节装置内部设有冷却循环水路和气路，水路用来降低籽晶杆和籽晶的温度，气路通过排气部输出，控制籽晶的温度，以及坩埚内的目标液体上方的温度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶生长的温度调节装置及系统


[0001]本申请涉及晶体生长
，具体而言，涉及一种单晶生长的温度调节装置及系统。

技术介绍

[0002]随着单晶形体的氧化物被广泛应用在科学技术、国防和民用工业等领域，对于晶体生长的工艺主要包括泡生法、提拉法、导模法以及热交换法；单晶生长是指原料在高温高压下溶解在溶剂中，由于温差对流，溶液在籽晶部位达到过饱和而使籽晶生长。
[0003]相关的单晶生长的温度调节装置，主要包括籽晶杆，该籽晶杆具有水冷结构，在籽晶杆的内部通过循环水来冷却籽晶。
[0004]然而，仅通过籽晶杆的内部的循环水冷却籽晶，冷却效果不明显，导致引晶过程温度调节差。

技术实现思路

[0005]为了解决籽晶冷却过程温度调节差的问题，本申请提供了一种单晶生长的温度调节装置及系统。
[0006]本申请的实施例是这样实现的：
[0007]本申请实施例的第一方面提供一种单晶生长的温度调节装置，包括籽晶杆、水路转换组件和气体转换组件；
[0008]籽晶杆，籽晶杆包括主杆，主杆内设有进水内管、出水内管和进气内管；其中，进水内管的出水口与出水内管的进水口连通，进气内管的排气部设置在主杆的一端；
[0009]水路转换组件，水路转换组件活动套设在籽晶杆上，且可选择的绕籽晶杆旋转；其中，水路转换组件包括第一通孔和第二通孔，第一通孔与进水内管的进水部连通，第二通孔与出水内管的出水部连通；
[0010]气体转换组件，气体转换组件活动套设在籽晶杆上，且可选择的绕籽晶杆旋转；其中，气体转换组件包括第三通孔，第三通孔与进气内管的进气部连通。
[0011]结合第一方面，在一种可能的实现方式中，进气内管的排气部包括气体挡板和多个排气孔，排气孔均匀的设置在气体挡板上。
[0012]结合第一方面，在一种可能的实现方式中，进水内管的进水部设有进水环管和至少一个第一连接管；其中，第一通孔与进水环管连通，进水环管与进水内管的第一管体通过第一连接管连通；
[0013]出水内管的出水部设有出水环管和至少一个第二连接管；其中，第二通孔与出水环管连通，出水环管与出水内管的第二管体通过第二连接管连通；
[0014]进气内管的进气部设有进气环管和至少一个第三连接管；其中，第三通孔与进气环管连通，进气环管与进气内管的第三管体通过第三连接管连通。
[0015]结合第一方面，在一种可能的实现方式中，进气内管的第三管体内设有出水内管
的第二管体，出水内管的第二管体内设有进水内管的第一管体。
[0016]结合第一方面，在一种可能的实现方式中，水路转换组件具有防水密封圈，防水密封圈用于密封进水环管与第一通孔之间，以及出水环管与第二通孔之间的液体；
[0017]气体转换组件具有气体密封圈，气体密封圈用于密封进气环管与第三通孔之间的气体。
[0018]结合第一方面，在一种可能的实现方式中，水路转换组件还具有第一轴承，第一轴承用于水路转换组件可选择的绕籽晶杆旋转；
[0019]气体转换组件还具有第二轴承，第二轴承用于气体转换组件可选择的绕籽晶杆旋转。
[0020]结合第一方面，在一种可能的实现方式中，水路转换组件还包括第一紧固件，气体转换组件还包括第二紧固件；
[0021]第一紧固件用于将第一轴承的内圈与籽晶杆的主杆外侧固定；
[0022]第二紧固件用于将第二轴承的内圈与籽晶杆的主杆外侧固定。
[0023]结合第一方面，在一种可能的实现方式中，籽晶杆还包括第一连接件和第二连接件，第一连接件设置在主杆的一端，第二连接件设置在主杆的另一端；
[0024]第一连接件与籽晶夹可拆卸连接。
[0025]本申请实施例的第二方面提供一种单晶生长的温度调节系统，包括坩埚、传动模块和第一方面的单晶生长的温度调节装置；
[0026]单晶生长的温度调节装置的一端通过籽晶夹与晶体一端可拆卸连接，单晶生长的温度调节装置的另一端与传动模块连接；
[0027]其中，单晶生长的温度调节装置控制晶体的另一端位于坩埚内的目标液体中。
[0028]结合第二方面，在一种可能的实现方式中，传动模块包括联轴器、减速机、电机；
[0029]单晶生长的温度调节装置的另一端通过联轴器与减速机的一端连接，减速机的另一端与电机连接。
[0030]本申请的有益效果；单晶生长的温度调节系统包括坩埚、传动模块和单晶生长的温度调节装置，单晶生长的温度调节装置包括籽晶杆、水路转换组件和气体转换组件；籽晶杆包括主杆，主杆内设有进水内管、出水内管和进气内管；其中，进水内管的出水口与出水内管的进水口连通，进气内管的排气部设置在主杆的一端；水路转换组件活动套设在籽晶杆上，且可选择的绕籽晶杆旋转；其中，水路转换组件包括第一通孔和第二通孔，第一通孔与进水内管的进水部连通，第二通孔与出水内管的出水部连通；气体转换组件活动套设在籽晶杆上，且可选择的绕籽晶杆旋转；其中，气体转换组件包括第三通孔，第三通孔与进气内管的进气部连通。通过在单晶生长的温度调节装置内部设有冷却循环的水路和气路，水路用来降低籽晶杆和籽晶的温度，气路通过排气部输出，控制籽晶的温度，以及坩埚内的目标液体上方的温度。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以
根据这些附图获得其他的附图。
[0032]图1是本申请一示例性实施例示出的一种单晶生长的温度调节装置的结构示意图；
[0033]图2是本申请一示例性实施例示出的一种单晶生长的温度调节装置中籽晶杆的结构示意图；
[0034]图3a是本申请实施例图1的单晶生长的温度调节装置沿长度方向的截面图；
[0035]图3b是本申请实施例图3a中A处的放大图；
[0036]图3c是本申请实施例图3a中B处的放大图；
[0037]图3d是本申请实施例单晶生长的温度调节装置中图第一紧固件的结构示意图；
[0038]图4a示出了本申请实施例一种单晶生长的温度调节装置在图3a中Q处的截面图；
[0039]图4b示出了本申请实施例一种单晶生长的温度调节装置在图3a中T处的截面图；
[0040]图4c示出了本申请实施例一种单晶生长的温度调节装置在图3a中M处的截面图；
[0041]图4d示出了本申请实施例一种单晶生长的温度调节装置在图3a中N处的截面图；
[0042]图4e示出了本申请实施例一种单晶生长的温度调节装置在图3a中O处的截面图；
[0043]图5是本申请一示例性实施例示出的一种单晶生长的温度调节系统中坩埚和单晶生长的温度调节装置的结构示意图；
[0044]其中，100
‑
籽晶杆；110
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶生长的温度调节装置，其特征在于，包括：籽晶杆，所述籽晶杆包括主杆，所述主杆内设有进水内管、出水内管和进气内管；其中，所述进水内管的出水口与所述出水内管的进水口连通，所述进气内管的排气部设置在所述主杆的一端；水路转换组件，所述水路转换组件活动套设在所述籽晶杆上，且可选择的绕所述籽晶杆旋转；其中，所述水路转换组件包括第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与进水内管的进水部连通，所述第二通孔与所述出水内管的出水部连通；气体转换组件，所述气体转换组件活动套设在所述籽晶杆上，且可选择的绕所述籽晶杆旋转；其中，所述气体转换组件包括第三通孔，所述第三通孔与所述进气内管的进气部连通。2.根据权利要求1所述的单晶生长的温度调节装置，其特征在于，所述进气内管的排气部包括气体挡板和多个排气孔，所述排气孔均匀的设置在所述气体挡板上。3.根据权利要求1所述的单晶生长的温度调节装置，其特征在于：所述进水内管的进水部设有进水环管和至少一个第一连接管；其中，所述第一通孔与所述进水环管连通，所述进水环管与所述进水内管的第一管体通过所述第一连接管连通；所述出水内管的出水部设有出水环管和至少一个第二连接管；其中，所述第二通孔与所述出水环管连通，所述出水环管与所述出水内管的第二管体通过所述第二连接管连通；所述进气内管的进气部设有进气环管和至少一个第三连接管；其中，所述第三通孔与所述进气环管连通，所述进气环管与所述进气内管的第三管体通过所述第三连接管连通。4.根据权利要求1或3所述的单晶生长的温度调节装置，其特征在于，所述进气内管的第三管体内设有所述出水内管的第二管体，所述出水内管的第二管体内设有所述进水内管的第一管体。5.根据权利要求3所述的单晶生长的温度调节装置，其特征在于：所述水路转换组件具有...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永亮，孙磊，于海群，汪海波，姜恒，
申请(专利权)人：内蒙古恒嘉晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：