基板保持装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板保持装置，能抑制在解除基板的吸附时因来自供气流路的供气而使灰尘排出并附着于基板。基板保持装置包括：具有供基板载置的保持面的保持部；设置于所述保持部，并用于将所述基板吸附于所述保持面的吸附孔；以及设置于所述保持部的抽吸流路和供气流路，在解除所述基板相对于所述保持面的吸附时，从所述供气流路向所述基板供气，接着，通过所述抽吸流路抽吸所述吸附孔附近的空气。所述抽吸流路抽吸所述吸附孔附近的空气。所述抽吸流路抽吸所述吸附孔附近的空气。

【技术实现步骤摘要】
基板保持装置


[0001]本专利技术涉及一种对基板进行保持的基板保持装置。

技术介绍

[0002]近年来，专利文献1～3中公开了一种机构：一边将基板吸附保持于保持面，一边对基板进行涂布等加工，之后，在通过升降销抬起基板之前，解除基板相对于保持面的吸附，接着，通过对基板施加空气压力以便于抬起基板。此外，专利文献4中公开了一种共用升降销的孔和用于吸附基板的吸附孔的机构。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本专利特开2006
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68592号公报专利文献2：日本专利特开2019
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83286号公报专利文献3：日本专利特开2009
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64950号公报专利文献4：日本专利特开2017
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174855号公报
[0004]然而，在上述所有机构中，均为了解除基板相对于保持面的吸附而仅通过由供气流路实现的供气来对基板施加空气压力，在这种情况下，存在如下担忧：若解除基板的相对于保持面的吸附，则存在于供气流路的内部的灰尘将与供气一起从吸附孔排出并附着于基板。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板保持装置，包括：保持部，所述保持部具有供基板载置的保持面；吸附孔，所述吸附孔设置于所述保持部，并用于将所述基板吸附于所述保持面；以及抽吸流路和供气流路，所述抽吸流路和所述供气流路设置于所述保持部，在解除所述基板相对于所述保持面的吸附时，从所述供气流路向所述基板供气，接着，通过所述抽吸流路抽吸所述吸附孔附近的空气。2.如权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，所述抽吸流路连接于所述吸附孔，所述供气流路在所述吸附孔的抽吸气流下游侧的汇流部位处与所述抽吸流路汇流。...

【专利技术属性】
技术研发人员：横山雅树，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：