一种激光器贯流风机轴承的防尘结构和激光器制造技术

本发明专利技术提供了一种激光器贯流风机轴承的防尘结构和激光器，激光器贯流风机轴承的防尘结构包括放电腔腔体和贯流风机；所述贯流风机两端的轴体通过轴承可转动地设置在所述腔体上；轴体上靠近所述轴承外端面的外圆上设置有螺纹结构、齿牙结构或叶片结构，电机带动轴体和贯流风机转动时，螺纹结构、齿牙结构或叶片结构迫使所述轴承外的气体向背离所述轴承的方向移动，进而阻止腔体内的粉尘靠近和进入轴承。本发明专利技术结构简单，通过在轴体靠近轴承部位设置螺纹、齿牙或叶片结构，从而迫使气体向背离轴承方向运动，从而避免气体携带颗粒物进入轴承缝隙，污染轴承，影响其正常运转，提高了轴承的使用寿命，同时保证了贯流风机的正常工作和运转。和运转。和运转。

【技术实现步骤摘要】
一种激光器贯流风机轴承的防尘结构和激光器


[0001]本专利技术涉及激光器
，尤其是涉及一种激光器贯流风机轴承的防尘结构。

技术介绍

[0002]准分子激光器放电腔在放电过程中伴随电极损耗，不断产生粉尘，这些粉尘随着气流循环运动，分散到腔体内各个位置，尤其对于镜片激光器的出光窗片和贯流风机的轴承造成损害最大，需要设计专门的防护装置用以保护和延长镜片出光窗片和轴承的正差常工作和使用寿命。
[0003]图1和图2为现有技术中激光器放电腔腔体10内的工作气体污染贯流风机轴承的气体流向图，其中图2为图1中的局部放电图。
[0004]从图2中可看出因为贯流风机30的轴盘与放电腔10的内壁有一定的间隙，放电腔腔体10内的气体会通过该间隙进入放电腔腔体10与轴体32的缝隙流向轴承13而污染轴承13。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种激光器贯流风机轴承的防尘结构，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种激光器贯流风机轴承的防尘结构，包括：放电腔腔体和贯流风机；
[0007]所述贯流风机(具体而言为叶轮)两端的轴体通过轴承可转动地设置在所述腔体上；轴体上靠近所述轴承外端面的外圆上设置有螺纹结构、齿牙结构或叶片结构，电机带动轴体和贯流风机转动时，螺纹结构、齿牙结构或叶片结构迫使所述轴承外的气体向背离所述轴承的方向移动，进而阻止腔体内的粉尘靠近和进入轴承。
[0008]进一步地，还包括气体净化器和气体回路；
[0009]所述气体净化器用于对放电腔腔体内的工作气体进行净化处理；
[0010]所述贯流风机的两端设置有轴盘；
[0011]所述气体回路的进气端与所述气体净化器连接，所述气体回路的出气端面对轴盘设置，轴盘上设置有连通贯流风机(叶轮)中间空腔内外的通孔(或称为槽口)，自气体回路排出的工作气体经所述通孔进入贯流风机中间空腔，进而回流到腔体内。
[0012]进一步地，所述腔体上设置有安装孔，轴体上的螺纹结构、齿牙结构或叶片结构插装在安装孔内；贯流风机转动时，螺纹结构、齿牙结构或叶片结构与安装孔之间形成动密封结构。
[0013]安装孔内壁和螺纹结构、齿牙结构或叶片结构之间间隙较小，例如不大于0.5mm，当贯流风机高速转动时，螺纹结构、齿牙结构或叶片结构旋转产生气旋涡流，迫使使气体朝安装孔外、腔体方向流动，从而安装孔和螺纹结构、齿牙结构或叶片结构相互结合从而形成一个良好的动密封结构，阻止粉尘进入轴承。
[0014]进一步地，所述通孔螺旋倾斜设置，用于电机带动轴盘转动时倾向于迫使轴盘外的气体经通孔流入所述贯流风机的空腔内。
[0015]其中优选地，贯流风机叶轮通过连接筋板与中间轴体连接，相邻两个连接筋板之间构成所述通孔或槽口，其中连接筋板如叶片螺旋或倾斜设置，从而在转动过程中迫使气体从外向内流入空腔；进而利用负压迫使气体回路内的工作气体流出。
[0016]其中，所述气体回路可以是布设所述放电腔侧壁或底板等内部的气体流道，当然还可以采用放电腔外布设的管体。
[0017]进一步地，所述贯流风机的轴盘外侧端面上以及在轴体的周向上设置有多个叶片，电机带动所述轴承、轴盘转动时，叶片倾向于迫使轴承和轴体附近的气体向远离所述轴承和轴体的方向流动(即在轴承和轴体附近形成一个低压区)。
[0018]进一步地，所述轴盘外侧端面上，通孔设置在所述轴体和叶片之间；多个通孔在轴体周向上间隔布设。
[0019]进一步地，所述轴盘外侧端面上，所述通孔和叶片之间设置有环形的径向凸起的挡板。
[0020]其中挡板尽可能地靠近腔体侧面，由此形成一个相对封闭的环腔，对所述气体回路排出的工作气体起到引流作用。
[0021]更优选地，所述腔体侧面上设置有环槽，挡板可转地插装在环槽内，挡板与环槽之间布设有动密封结构。即在通孔外形成环形密封结构，从而有助于工作气体全部回流到腔体内，避免泄漏。
[0022]其中，贯流风机为现有技术，其包括由叶栅呈环形围绕而成的叶轮，叶轮内部设置有中间空腔；叶轮两端设置有轴盘和轴体。
[0023]本专利技术还提供一种激光器，包括如上所述的贯流风机轴承的防尘结构。
[0024]采用上述技术方案，本专利技术具有如下有益效果：
[0025]本专利技术提供的一种激光器贯流风机轴承的防尘结构，结构简单，通过在轴体靠近轴承部位设置螺纹、齿牙或叶片结构，从而迫使气体向背离轴承方向运动，从而避免气体携带颗粒物进入轴承缝隙，污染轴承，影响其正常运转，提高了轴承的使用寿命，同时保证了风机的正常工作和运转。
[0026]以及，净化后的工作气体输送到贯流风机的轴盘处，通过轴盘上的通孔进入贯流风机，后由贯流风机输入腔体内，净化后的工作气体在轴盘两端的轴承结构周围形成较好的防尘环境，可有效减少颗粒物进入轴承结构内。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1为现有技术中激光器放电腔内的气体污染贯流风机轴承的气体流向示意图；
[0029]图2为图1的局部放大示意图；
[0030]图3为本专利技术实施例1提供的激光器贯流风机轴承的防尘结构的结构示意图；
[0031]图4为实施例1中轴承、轴体的局部结构示意图；
[0032]图5为实施例1中轴体和轴盘的结构示意图；
[0033]图6为实施例1中出光窗片、中间腔以及狭缝的局部结构示意图；
[0034]图7为工作气体经贯流风机流回腔体的原理图；
[0035]图8为气体回路的立体剖视图；
[0036]图9为实施例1中气体回路与中间腔的结构示意图；
[0037]图10为实施例1中安装孔的局部放大示意图；
[0038]图11为实施例1中的放电腔腔体内气体流向图。
[0039]图12为实施例2的激光器的示意图。
[0040]附图标记：
[0041]1‑
工作气体；10
‑
腔体；10a
‑
上腔体；10b
‑
下腔体；11
‑
气体回路；11a
‑
出气端；12
‑
中间腔；13
‑
轴承；14
‑
安装孔；20
‑
气体净化器；30
‑
贯流风机；31
‑
叶轮；32
‑
轴体；33
‑
轴盘；34
‑
螺纹结构；35
‑
叶片；36
‑
通孔；37
‑
挡板；40
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光器贯流风机轴承的防尘结构，其特征在于，包括：放电腔腔体(10)和贯流风机(30)；所述贯流风机(30)两端的轴体(32)通过轴承(13)可转动地设置在所述腔体(10)上；轴体(32)上靠近所述轴承(13)外端面的外圆上设置有螺纹结构(34)、齿牙结构或叶片结构，电机带动轴体(32)和贯流风机(30)叶轮转动时，螺纹结构(34)、齿牙结构或叶片结构迫使所述轴承(13)外的气体向背离所述轴承(13)的方向移动，进而阻止腔体(10)内的粉尘靠近和进入轴承(13)。2.根据权利要求1所述的激光器贯流风机轴承的防尘结构，其特征在于，还包括气体净化器(20)和气体回路(11)；所述气体净化器(20)用于对放电腔腔体(10)内的工作气体(1)进行净化处理；所述贯流风机(30)的两端设置有轴盘(33)；所述气体回路(11)的进气端与所述气体净化器(20)连接，所述气体回路(11)的出气端(11a)面对轴盘(33)设置，轴盘(33)上设置有连通贯流风机(30)叶轮中间空腔内外的通孔(36)，自气体回路(11)排出的工作气体(1)经所述通孔(36)进入贯流风机(30)叶轮中间空腔，进而回流到腔体(10)内。3.根据权利要求1所述的激光器贯流风机轴承的防尘结构，其特征在于，所述腔体(10)上设置有安装孔(14)，轴体(32)上的螺纹结构(34)、齿牙结构或叶片结构插装在安装孔(14)内；贯流风机(30)转动时，螺纹结构(34)、齿牙结构或叶片结构与安装孔(14)之间形成动密封结构。4.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴劲松，刘斌，陈文斌，马放，徐向宇，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：