一种上下钢带同步传动系统及半导体加工设备技术方案

本发明专利技术涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种上下钢带同步传动系统及半导体加工设备。该上下钢带同步传动系统主要包括第一钢带轮、第二钢带轮、第一驱动装置、第二驱动装置、第一传感器、第二传感器以及控制器。其中，第一钢带轮上张紧有第一钢带，第一钢带上夹持有板料，第二钢带轮上张紧有第二钢带，第二钢带支撑板料。第一驱动装置的输出轴与第一钢带轮连接，第二驱动装置的输出轴与第二钢带轮连接，第一传感器用于监控第一钢带的传动速度，第二传感器用于监控第二钢带的传动速度。控制器与第一驱动装置、第二驱动装置、第一传感器以及第二传感器电性连接。该上下钢带同步传动系统可降低板料破碎率，提升产品良率，节约成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种上下钢带同步传动系统及半导体加工设备


[0001]本专利技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种上下钢带同步传动系统及半导体加工设备。

技术介绍

[0002]在半导体产品的加工过程中，通常会使用到运行传动机构，使半导体产品从一个工艺段运行至下一个工艺段。在电镀陶瓷板料产品生产过程中，运行传动机构通常通过采用两个钢带轮带动钢带，钢带上夹持着板料的方式实现对板料的传输工作。但现有技术中的两个钢带轮难以保持同步传动，这样就会导致在板料的传输过程中对板料造成划伤、撕拉的风险，甚至导致板料发生破碎，降低作业效率和运行传动机构的稳定性，增加成本。
[0003]因此，亟需设计一种上下钢带同步传动系统及半导体加工设备，来解决以上技术问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的第一目的在于提出一种上下钢带同步传动系统，能够降低板料的碎片率，提高产品良率，提高上下钢带同步传动系统的稳定性和可靠性。
[0005]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0006]本专利技术提供一种上下钢带同步传动系统，包括：
[0007]第一钢带轮，所述第一钢带轮上张紧有第一钢带，所述第一钢带上夹持有板料；
[0008]第二钢带轮，所述第二钢带轮上张紧有第二钢带，所述第二钢带支撑所述板料，所述第二钢带轮与所述第一钢带轮同轴设置；
[0009]第一驱动装置，所述第一驱动装置的输出轴与所述第一钢带轮连接；
[0010]第二驱动装置，所述第二驱动装置的输出轴与所述第二钢带轮连接；
[0011]第一传感器，所述第一传感器用于监控所述第一钢带的传动速度；
[0012]第二传感器，所述第二传感器用于监控所述第二钢带的传动速度；
[0013]控制器，所述控制器与所述第一驱动装置、所述第二驱动装置、所述第一传感器以及所述第二传感器均电性连接，所述第一传感器能够将所述第一钢带的传动速度信号反馈至所述控制器，所述第二传感器能够将所述第二钢带的传动速度信号反馈至所述控制器，所述控制器通过计算所述第一钢带的传动速度和所述第二钢带的传动速度的差值，驱动所述第一钢带轮或所述第二钢带轮进行转动。
[0014]作为一种上下钢带同步传动系统的可选技术方案，所述第一钢带上开设有第一通孔，所述第二钢带上开设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔对应设置，所述第一传感器正对所述第一通孔设置，所述第二传感器正对所述第二通孔设置。
[0015]作为一种上下钢带同步传动系统的可选技术方案，所述第一通孔和所述第二通孔均设置为多个，且多个所述第一通孔等高设置，多个所述第二通孔等高设置。
[0016]作为一种上下钢带同步传动系统的可选技术方案，所述第一钢带上设置有夹具，
所述夹具用于夹持所述板料。
[0017]作为一种上下钢带同步传动系统的可选技术方案，所述夹具设置为多个，多个所述夹具等间隔设置，所述板料并排设置有多个，每一个所述板料被配置为至少有一个所述夹具夹持。
[0018]作为一种上下钢带同步传动系统的可选技术方案，所述第二钢带上设置有支撑件，所述支撑件与所述夹具对应设置，所述支撑件用于支撑所述板料。
[0019]作为一种上下钢带同步传动系统的可选技术方案，所述支撑件上开设有凹槽，所述板料远离所述夹具的一侧设置在所述凹槽中。
[0020]作为一种上下钢带同步传动系统的可选技术方案，所述凹槽的宽度大于所述板料的厚度。
[0021]作为一种上下钢带同步传动系统的可选技术方案，所述上下钢带同步传动系统包括架体，所述第一传感器和所述第二传感器均设置在所述架体上，所述第一钢带轮悬挂在所述架体的顶部，所述第二钢带轮安设在所述架体的底部。
[0022]本专利技术的第二目的在于提出一种半导体加工设备，该半导体加工设备具有较好的稳定性和可靠性，能够提升产品良率，降低加工产品的破碎率，进而达到节约成本的目的。
[0023]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0024]本专利技术提供一种半导体加工设备，所述半导体加工设备包括以上所述的上下钢带同步传动系统。
[0025]本专利技术的有益效果至少包括：
[0026]本专利技术提供一种上下钢带同步传动系统，该上下钢带同步传动系统主要包括第一钢带轮、第二钢带轮、第一钢带、第二钢带、第一驱动装置、第二驱动装置、第一传感器、第二传感器以及控制器。其中，第一钢带轮上张紧有第一钢带，第一钢带上夹持有板料，第二钢带轮上张紧有第二钢带，第二钢带支撑板料，第二钢带轮与第一钢带轮同轴设置。第一驱动装置的输出轴与第一钢带轮连接，第二驱动装置的输出轴与第二钢带轮连接，第一传感器用于监控第一钢带的传动速度，第二传感器用于监控第二钢带的传动速度。控制器与第一驱动装置、第二驱动装置、第一传感器以及第二传感器均电性连接，第一传感器能够将第一钢带的传动速度信号反馈至控制器，第二传感器能够将第二钢带的传动速度信号反馈至控制器，控制器通过计算第一钢带的传动速度和第二钢带的传动速度的差值，驱动第一钢带轮或第二钢带轮进行转动。通过第一传感器、第二传感器以及控制器能够实现动态补偿速度，进而确保第一钢带轮和第二钢带轮可以实时保持同步转动速度，从而避免板料发生撕拉、破碎的风险，降低板料的破碎率，提升产品良率，提高上下钢带同步传动系统的稳定性和可靠性，达到节约成本的目的。
[0027]本专利技术还提供一种半导体加工设备，该半导体加工设备具有较好的稳定性和可靠性，能够提升产品良率，降低加工产品的破碎率，进而达到节约成本的目的。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本专利技术实施
例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本专利技术实施例提供的上下钢带同步传动系统的结构示意图；
[0030]图2为图1中的A处的局部放大图；
[0031]图3为图1中的B处的局部放大图。
[0032]附图标记
[0033]100、第一钢带轮；110、第一钢带；120、第一通孔；130、夹具；200、第二钢带轮；210、第二钢带；220、第二通孔；230、支撑件；2301、凹槽；300、第一传感器；400、第二传感器；500、板料；600、架体。
具体实施方式
[0034]为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。
[0035]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种上下钢带同步传动系统，其特征在于，包括：第一钢带轮(100)，所述第一钢带轮(100)上张紧有第一钢带(110)，所述第一钢带(110)上夹持有板料(500)；第二钢带轮(200)，所述第二钢带轮(200)上张紧有第二钢带(210)，所述第二钢带(210)支撑所述板料(500)，所述第二钢带轮(200)与所述第一钢带轮(100)同轴设置；第一驱动装置，所述第一驱动装置的输出轴与所述第一钢带轮(100)连接；第二驱动装置，所述第二驱动装置的输出轴与所述第二钢带轮(200)连接；第一传感器(300)，所述第一传感器(300)用于监控所述第一钢带(110)的传动速度；第二传感器(400)，所述第二传感器(400)用于监控所述第二钢带(210)的传动速度；控制器，所述控制器与所述第一驱动装置、所述第二驱动装置、所述第一传感器(300)以及所述第二传感器(400)均电性连接，所述第一传感器(300)能够将所述第一钢带(110)的传动速度信号反馈至所述控制器，所述第二传感器(400)能够将所述第二钢带(210)的传动速度信号反馈至所述控制器，所述控制器通过计算所述第一钢带(110)的传动速度和所述第二钢带(210)的传动速度的差值，驱动所述第一钢带轮(100)或所述第二钢带轮(200)进行转动。2.根据权利要求1所述的上下钢带同步传动系统，其特征在于，所述第一钢带(110)上开设有第一通孔(120)，所述第二钢带(210)上开设有第二通孔(220)，所述第一通孔(120)与所述第二通孔(220)对应设置，所述第一传感器(300)正对所述第一通孔(120)设置，所述第二传感器(400)正对所述第二通孔(220)设置。3.根据权利要求2所述的上下钢带同步传动系统，其特征在于，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩友生，袁晓波，朱锦平，方荣平，
申请(专利权)人：昆山东威科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：