一种基于激光干涉仪的综合检测平台制造技术

本实用新型专利技术涉及综合检测平台技术领域，尤其涉及一种基于激光干涉仪的综合检测平台，其中包括：激光干涉仪、分光镜组、连接滑块、检测直线导轨和检测导轨钳制器，两个检测直线导轨平行设置在机台的台面上，激光干涉仪和分光镜组设置在连接滑块上，连接滑块设置在检测直线导轨上，连接滑块底部设置有用于对连接滑块限位的检测导轨钳制器，本实用新型专利技术通过激光干涉仪检测机构，克服了设置后检测到的定位精度和直线度等参数如果不符合设计要求，便需要进行拆机和退换货的问题，采用了本实用新型专利技术技术方案后，可通过一套的激光干涉仪组合一套线性镜组或直线度镜组便可以测量多种直线运动机构的定位精度或直线度数值，简化操作人员调节流程。程。程。

【技术实现步骤摘要】
一种基于激光干涉仪的综合检测平台


[0001]本技术涉及综合检测平台
，尤其涉及一种基于激光干涉仪的综合检测平台。

技术介绍

[0002]激光干涉仪与千分表对直线导轨、滚珠丝杠、单轴机器人和直线电机等直线运动机构进行定位精度和直线度的测量时，通常需要将以上四种直线运动机构设置在其使用设备上，通过设备的驱动装置带动其运动的同时进行直线度和定位精度的测量。
[0003]现有技术存在的问题是：如果测量得到的数据不符合设计要求时，需要对直线运动机构进行拆卸和退换货，会造成时间与人力的浪费，普通的技术人员在未经过培训时，不具备使用激光干涉仪的能力。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术中，存在的技术问题，本技术的目的在于提供一种基于激光干涉仪，可对直线导轨、滚珠丝杠、单轴机器人和直线电机等直线运动机构进行定位精度和直线度测量的综合检测平台。
[0005]为实现上述目的，解决以上技术问题，具体技术方案如下：一种基于激光干涉仪的综合检测平台，包括：机台、直线导轨检测机构、滚珠丝杠检测机构、单轴机器人检测机构和直线电机检测机构，直线导轨检测机构滚珠丝杠检测机构、单轴机器人检测机构和直线电机检测机构平行设置于机台的台面上，机台上设置有用于检测直线运动机构的定位精度或直线度数值的激光干涉仪检测机构，激光干涉仪检测机构设置在机台的台面上，激光干涉仪检测机构包括：激光干涉仪、分光镜组、连接滑块、检测直线导轨和检测导轨钳制器，两个检测直线导轨平行设置在机台的台面上，激光干涉仪和分光镜组设置在连接滑块上，连接滑块设置在检测直线导轨上，连接滑块底部设置有用于对连接滑块限位的检测导轨钳制器。
[0006]进一步，基于激光干涉仪的综合检测平台还包括用于与激光干涉仪检测机构配合的线性反射镜组。
[0007]更进一步，所述直线导轨检测机构包括：直线导轨、直线导轨滑块和直线度反射镜组，所述直线导轨设置在机台的台面上，直线度反射镜组设置在直线导轨滑块上，直线导轨滑块设置在直线导轨上。
[0008]更进一步，所述滚珠丝杠检测机构包括：滚珠丝杠、滚珠丝杠螺母、滚珠丝杠支撑座、滚珠丝杠伺服电机、滚珠丝杠导轨钳制器、伺服电机设置板、滚珠丝杠直线导轨和线性反射滑块，两个所述滚珠丝杠直线导轨平行设置于机台的台面上，滚珠丝杠伺服电机设置在伺服电机设置板上，滚珠丝杠伺服电机设置板上设置用于对其进行限位的滚珠丝杠导轨钳制器，伺服电机设置板设置在滚珠丝杠直线导轨上，伺服电机的输出端连接滚珠丝杠，滚珠丝杠的另一端通过滚珠丝杠支撑座固定在机台的台面上，线性反射镜组设置在线性反射
滑块上，线性反射滑块通过滚珠丝杠螺母在滚珠丝杠直线导轨做直线往复运动。
[0009]更进一步，所述单轴机器人检测机构包括：单轴机器人和单轴机器人伺服电机，所述单轴机器人与单轴机器人伺服电机设置在机台的台面上，单轴机器人伺服电机的输出端与单轴机器人连接，线性反射镜组设置在单轴机器人上。
[0010]更进一步，所述直线电机检测机构包括：定子和动子，所述定子设置在机台的台面上，定子上设置有可沿定子滑动的动子，动子上设置有线性反射镜组。
[0011]更进一步，激光干涉仪检测机构通过与线性反射镜组与直线度反射镜组配合对直线导轨检测机构滚珠丝杠检测机构、单轴机器人检测机构和直线电机检测机构进行测量。
[0012]更进一步，所述机台底部设置有用于对机台进行减震的支撑脚。
[0013]本技术的优点在于：
[0014]本技术通过增加激光干涉仪检测机构，克服了现有技术中的缺陷，产生的有益效果是，可通过一套的激光干涉仪组合一套线性镜组或直线度镜组便可以测量多种直线运动机构的定位精度或直线度数值，并且简化操作人员调节激光干涉仪、分光镜组、反光镜组三者的流程，设置定位装置，使得待检测直线运动机构，按要求设置即可保证与激光干涉仪轴线平行，避免出现直线运动机构与激光干涉仪轴线不平行导致产生测量误差，
附图说明
[0015]图1本技术结构示意图；
[0016]图2本技术结构俯视图；
[0017]图3本技术激光干涉仪检测机构结构示意图；
[0018]图4本实用滚珠丝杠检测机构结构示意图；
[0019]图中标记说明：1、机台；11、支撑脚；2、直线导轨检测机构；21、直线导轨；22、直线导轨滑块；23、直线度反射镜组；3、滚珠丝杠检测机构；31、滚珠丝杠；32、滚珠丝杠螺母；33、滚珠丝杠支撑座；34、滚珠丝杠伺服电机；35、滚珠丝杠导轨钳制器；36、伺服电机设置板；37、滚珠丝杠直线导轨；38、线性反射滑块；4、单轴机器人检测机构；41、单轴机器人；42、单轴机器人伺服电机；5、直线电机检测机构；51、定子；52、动子；6、激光干涉仪检测机构；61、激光干涉仪；62、分光镜组；63、连接滑块；64、检测直线导轨；65、检测导轨钳制器；7、线性反射镜组。
具体实施方式
[0020]本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术的较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本专利技术保护范围的限制。
[0021]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第
一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0023]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、设置、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本专利技术中的具体含义。
[0024]实施例一：如附图1与附图2所示本技术提供一种基于激光干涉仪的综合检测平台包括：机台1、直线导轨检测机构2、滚珠丝杠检测机构3、单轴机器人检测机构4和直线电机检测机构5，直线导轨检测机构2滚珠丝杠检测机构3、单轴机器人检测机构4和直线电机检测机构5平行设置于机台1的台面上，所述机台1上设置有用于检测直线运动机构的定位精度或直线度数值的激光干涉仪检测机构6，激光干涉仪检测机构6设置在机台1的台面上，所述激光干涉仪检测机构6包括：激光干涉仪61、分光镜组62、连接滑块63、检测直线导轨64和检测导轨钳制器65，两个所述检测直线导轨64平行设置在机台1的台面上，激光干涉仪61和分光镜组62设置在连接滑块63上，连接滑块63设置在检测直线导轨64上，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于激光干涉仪的综合检测平台，包括：机台(1)、直线导轨检测机构(2)、滚珠丝杠检测机构(3)、单轴机器人检测机构(4)和直线电机检测机构(5)，直线导轨检测机构(2)滚珠丝杠检测机构(3)、单轴机器人检测机构(4)和直线电机检测机构(5)平行设置于机台(1)的台面上，其特征在于，所述机台(1)上设置有用于检测直线运动机构的定位精度或直线度数值的激光干涉仪检测机构(6)，激光干涉仪检测机构(6)设置在机台(1)的台面上，所述激光干涉仪检测机构(6)包括：激光干涉仪(61)、分光镜组(62)、连接滑块(63)、检测直线导轨(64)和检测导轨钳制器(65)，两个所述检测直线导轨(64)平行设置在机台(1)的台面上，激光干涉仪(61)和分光镜组(62)设置在连接滑块(63)上，连接滑块(63)设置在检测直线导轨(64)上，连接滑块(63)底部设置有用于对连接滑块(63)限位的检测导轨钳制器(65)。2.根据权利要求1所述一种基于激光干涉仪的综合检测平台，其特征在于，所述基于激光干涉仪的综合检测平台还包括用于与激光干涉仪检测机构(6)配合的线性反射镜组(7)。3.根据权利要求1所述一种基于激光干涉仪的综合检测平台，其特征在于，所述直线导轨检测机构(2)包括：直线导轨(21)、直线导轨滑块(22)和直线度反射镜组(23)，所述直线导轨(21)设置在机台(1)的台面上，直线度反射镜组(23)设置在直线导轨滑块(22)上，直线导轨滑块(22)设置在直线导轨(21)上。4.根据权利要求2所述一种基于激光干涉仪的综合检测平台，其特征在于，所述滚珠丝杠检测机构(3)包括：滚珠丝杠(31)、滚珠丝杠螺母(32)、滚珠丝杠支撑座(33)、滚珠丝杠伺服电机(34)、滚珠丝杠导轨钳制器(35)、伺服电机设置板(36)、滚珠丝杠直线导轨(37)和线性反射滑块...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁悦，吴大伟，梁金友，
申请(专利权)人：天津龙创恒盛实业有限公司，
类型：新型
国别省市：